${N_2}O$ 가스로 열산화된 게이트 유전체의 특성
(Properties of the gate dielectrics by thermal oxidation in ${N_2}O$ gas)
-
- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
- /
- 제6권1호
- /
- pp.55-62
- /
- 1993