• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 1999.10a
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• pp.55-55
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• 1999

산소 이온빔이 보조된 e-baem evporation증착법에 의해 상온에서 유리 기판위에 제조된 tin-doped indium oxide(ITO) 박막의 전기적 광학적 특성과 산소 이온빔의 조건 사이에 존재하는 상관관계에 대해서 연구하였다. ITO박막의 증착률이 고정된 상태에서 증착되는 ITO박막의 성질은 조사되는 이온의 flux 및 에너지에 의존하게 된다. 이온의 에너지는 이온 건의 grid에 걸리는 전압에 의해서, flux는 이온 건으로 유입되는 산소의 유량과 rf power에 의해서 조절될 수 있다. 본 실험에서는 증착변 수를 줄이기 위해서 ITO의 증착률과 rf power을 0.6A/sec, 100W로 각각 고정 시켰고, 이러한 조건에서 grid의 가속 전압을 400~2.1kV, 산소의 유업량을 3~10sccm으로 변화시켜가며 실험을 수행하였다. 유량 6sccm, 가속전압 2.1kV에서 최저 비저항 값인 $6.6{\times}l0^{-4}{\Omega}cm$와 90%의 광학적 투과성을 갖는 ITO 박막을 상온에서 증착할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.410-410
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• 2012

투명 전도성 TCO (Transparent Conductivity Oxide)박막 중 ITO (Indium Tin Oxide) 박막은 n-type의 전도특성을 갖는 산화물로서 가시광선 영역에서의 높은 투과율, 전기 전도도, 넓은 밴드갭을 나타내기 때문에 디스플레이 및 태양전지 분야에 널리 사용 되어 지고 있다. 이 실험에서는 ITO 증착시 산소 유량의 변화에 따라 특성의 변화를 관찰하고자 실험을 진행 하였다. 실험에서 산소 유량은 0 sccm에서 12 sccm까지 변화를 주었으며, ITO는 RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 유리위에 증착하였다. 실험에서 인가된 RF power는 2 kW, 13.56 MHz, 공정 압력은 $4.5{\times}10^{-6}torr$에서 진행하였다. 유리와 타겟 사이의 거리는 200 mm로 고정하였으며, 온도는 상온에서 공정을 진행하였다. 증착된 ITO의 전기전도도(${\sigma}$)는 3 sccm까지는 증가하는 경향을 보이다가 그 이후부터는 감소하는 것을 확인 할 수 있었다. 투과율과 이차전자방출계수의 결과 또한 전기전도도와 유사한 경향성을 보여 주었다. 이를 통해 3 sccm의 산소 유량으로 증착된 ITO의 전기적 특성이 가장 좋은 것으로 확인이 되었다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.1
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• pp.21-26
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• 1997

고주파 마그네트론 반응성 스퍼터링(rf magnetron reactive sputtering)으로 티타늄산화물 박막을 제조하여 산소비율에 따른 반응성 스퍼터링의 증착기구를 조사하고 산소비율 및 기판온도에 따른 산화물 조성의 변화, 미세조직, 광학적 특성의 변화를 연구하였다. 기존의 진공기상증착법으로 증착만 박막에 비해, 금속타겟을 사용하여 높은 증착속도를 얻을 수 있는 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 성막한 티타늄산화물 박막은 치밀도가 우수하여 높은 굴절률(2.06)과 높은 광투과율을 보였다. 상온에서 성막된 티타늄 산화물박막의 경우, 산소비율이 낮은 조건에서는 다결정형의조직을 보였으나 산소비율이 높은 경우에는 비정질조직을 나타냈으며, 기판온도가 30$0^{\circ}C$ 이상에서는 산소비율에 상관없이 다결정형의 조직을 나타냈다. 하지만 산소비율이 임계값이상에서는 박막의 조성, 증착속도 등이 거의 변하지 않는 안정된 증착조건을 보였다. 30% 이상의 산소비율의 반응성 스퍼터링의 조건에서는 TiO$_{2}$의 조성의 박막으로 성장하여 약 3.82-3.87 eV의 band gap을 나타냈으며 기판온도의 증가에 따라 비정질 TiO$_{2}$에서 다결정 TiO$_{2}$으로 조직의 변화를 보여 광투과도도 약간 증가하는 경향을 나타냈다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.7 no.5
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• pp.877-887
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• 1996

The ideal membranes for membrane-covered oxygen probes system should be selectively permeable for oxygen and chemically inert, and have good mechanical strength. Polysulfone(PSf) was selected to develop the membrane for membrane-covered oxygen electrodes system. PSf membranes have properties such as good reproducibility, good mechanical strength, chemical inertness, and high heat resistance. PSf membranes were cast from polymer solution on the glass plate at constant temperature, and casting solvents used were tetrahydrofuran(THF), methylene chloride, and N-methyl-2-pyrrolidone(NMP). Tricresyl phosphate(TCP) as plasicizer was added to PSf to increase the softness of membrane. The permeation characteristics were observed for pure oxygen and nitrogen through pure PSf membranes by variable volume method and membrane-covered electrode system. The permeability coefficients of oxygen and nitrogen measured by variable volume method were slightly decreased with increasing of upstream pressure. The permeation properties of PSf membrane using methylene choride as casting solvent were not affected by the PSf amount of polymer solution. The permeability coefficients of oxygen and nitrogen for PSf membrane containing TCP were very slightly lower than those for pure PSf membrane, but ideal separation factors were slightly higher. The flexibility of PSf membrane containing 2wt% TCP was better than that of pure PSf membrane. It was expected that this increase in flexibility would solve the difficulty of fixing the membrane to the cathode. The membrane-covered oxygen probes system was composed of anode, cathode and electrolyte. The type of the anode was Ag/AgCl half-cell, that of cathode was Ag, and the electrolyte was 4N KCl solution. The result of sampled current voltametry for PSf membrane showed the plateu region at -0.3V~-1.0V. The correlation coefficient of oxygen partial pressure versus current for PSf membrane was relatively high, 0.99949. It was concluded that PSf membrane was the good candidate for the membrane-covered oxygen probes system.

• Membrane Journal
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• v.23 no.2
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• pp.176-184
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• 2013

To investigate the performance of VOC separation, composite hollow fiber membrane was prepared which composed of poly (ether imide) support prepared by phase separation method and poly (dimethylsiloxane) coating active layer. The performances of the membranes for the application of recovery process in terms of their morphology, gas permeance test for $N_2$ and $O_2$ gases. Durability against benzene, toluene and xylene was also investigated. And permeation test for multi-component VOCS through the membrane with different feed concentration and stage-cut were investigated. Permeance of PEI supported membrane and the membranes coated with PDMS decreased from 45,000 GPU to 63 GPU and 49,450 to 30 GPU for $N_2$ and $O_2$, respectively. Recovery efficiency and concentration of VOCs in permeate increased with decreasing stage-cut. VOCs concentration in permeate proportionally increased with increasing feed concentration but concentration ratio and recovery efficiency showed any noticeable changes with feed concentration change.

• Membrane Journal
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• v.24 no.6
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• pp.431-437
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• 2014

To overcome the flux reduction due to the fouling by adsorption of foulants onto the porous hydrophobic polyethylene membrane surface, the oxyflorination was introduced to hydrophilize the hydrophobic membranes. After the hydrophilization through oxyfluorination, the contact angle decreased from $93^{\circ}$ to $50^{\circ}$ while the water flux increased to 60%. It was considered that for the model foulants dissolved in water, such as albumin (form bovine serum, BSA), humic acid sodium salt (HA), and alginic acid sodium salt (SA), the flux was enhanced since the adsorbed foulants decreased by the oxyfluorination. Particularly, it was obtained that the water flux was over twice more than the untreated polyethylene membrane in case of SA foulant.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1992.10a
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• pp.13-14
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• 1992

고분자막을 이용한 분리공정에서 본질적으로 요구되는 성능은 우수한 선택도와 투과속도인데, 이러한 특성들은 막의 화학구조 및 막의 두께 등에 의하여 영향을 받는다. 따라서 선택투과기체와 친화성이 좋은 물질을 박막화하여 제조한다면 분리막으로 우수한 성능을 지닐 수 있을 것이다.

• Proceedings of the Korean Society of Coastal and Ocean Engineers Conference
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• 2002.08a
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• pp.134-143
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• 2002

우리나라의 경우 항만 및 어항의 개발시 항내의 정온 및 가동률 확보를 위해서 설치되는 방파제 등 외곽시설이 외해로부터의 침입파랑을 효과적으로 차단하고 있으나 한편으로는 이러한 구조물이 해수에 대하여 비투과성이므로 항만의 폐쇄성을 증대시켜 해수순환성이 저하되어 항만 수질오염이 악화되는 경향이 있다. 일반적으로 비투과성 방파제가 설치되면 항내 외간의 해수교환력이 떨어져서 오염물질 등이 항내에 머무르는 시간이 길어지므로 항내의 오염이 가속될 뿐만 아니라 오염원에 포함됨 유기물이 분해됨에 따라 항내 해수의 용존산소가 다량 소모되어 빈 산소상태를 야기시켜 항내의 수질에 부정적인 영향을 미친다. (중략)

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.57 no.1
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• pp.11-16
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• 2019

$La_{0.6}Sr_{0.4}Ti_{0.3}Fe_{0.7}O_{3-{\delta}}$(LSTF) coated $Ba_{0.5}Sr_{0.5}Co_{0.8}Fe_{0.2}O_{3-{\delta}}$(BSCF) membranes which has properties of high oxygen permeability and stability to $CO_2$ were applied to a bench scale apparatus to conduct oxygen permeation experiments. Also, the membranes of the laboratory and the bench scale device were divided into three regions according to the temperature gradient in the membrane reactor for comparative analysis. While oxygen permeation experiment were conducted up to $900^{\circ}C$, temperature dependence of Cr deposition was investigated. As a result, it was confirmed that the oxygen permeability was $2.37ml/min{\cdot}cm^2$, which was significantly lower than $3.79ml/min{\cdot}cm^2$ measured in the laboratory apparatus. It was found through XRD and SEM/EDS analysis that the decrease in oxygen permeability was originated from the deposition of gaseous Cr on the membrane surface released from the alloy material of the housing. In particular, a large amount of Cr was found in the medium temperature region.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.168-168
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• 2012

Al doped ZnO (AZO)는 태양전지, 평판 디스플레이, OELD 등 광전자 소자에 적용되는 투명전도막용 재료인 ITO의 대체 재료로서 최근에 가장 각광받고 있는 물질이다. 하지만, $2.5{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$의 낮은 비저항과 90% 이상의 투과도를 갖는 ITO의 비해 AZO의 특성은 아직 부족한 상황이다. 수십 년간 많은 연구자들에 의해 다양한 제조 방법과 공정 조건들로 전기적, 광학적 특성을 향상시키기 위한 노력들이 진행되어 왔다. 하지만 실리콘 반도체와는 달리 II-VI족 물질의 정확한 근본적인 원리는 아직 불분명한 상태이다. 지금까지 AZO의 특성 향상의 원인을 결정립 크기, 주상구조의 우선 방위, 결정성, Zn-O 구조내의 산소 결핍 등의 메커니즘으로 설명해 왔다. 하지만, 본 연구에서는 지금까지 제안된 상기 요인의 변화 없이 전기적, 광학적 특성을 향상시키는 것이 짧은 열처리만으로도 가능했다. AZO 박막의 전기적, 광학적 특성에 큰 영향을 미치는 보다 근본적인 원인은 도핑 효율이다. ZnO 내에 도핑된 Al의 양보다 실제로로 활성화된 Al의 비율을 올리는 것이 중요하다. 본 연구에서 구조적, 조성적 변화 없이 도핑효율을 8.9%에서 66.7%까지 증가시켰으며, 이동도는 박막 표면의 및 결정립계 사이의 과잉산소를 줄임으로서 optical phonon scattering 감소를 통하여 증가시킬 수 있고, 이러한 과잉산소의 감소는 deep level emission을 감소시킴으로서 투과도 증가에도 영향을 준다. 본 연구에서 짧은 열처리를 통해 구조적 변화 없이 도핑효율의 증가만으로 $4.8{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$의 비저항과 90%의 투과도를 갖는 AZO 박막을 제조하였다.