• 제목/요약/키워드: 산소저항성

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사이클 화학 기상 증착 시스템에 의해 제조된 다층 무기 박막의 유기 발광 다이오드 박막 봉지

  • 이준혁;민석기;한영기;안재석;최범호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.397.2-397.2
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    • 2014
  • 유기 발광 다이오드 (OLED)의 상용화를 위해 해결해야할 기술적 문제 중하나는 장수명이다. OLED에 적용된 유기물 층은 수분과 산소에 취약하여 소자 수명을 단축하는 요소로 작용하는데, 이를 해결하기 위해 유기물을 보호하며, 유기물 내로 침투되는 수분과 산소를 제어하기 위한 보호 층의 증착이 필수적이다. 필수적이다. 본 연구에서는, 사이클 화학 기상 증착법(C-CVD)을 이용하여 SiN/SiCN/SiN 구조의 무기 박막을 증착하여 유기물 보호층으로서의 적용 가능성을 제시하고자 한다. 이 때 각층의 두께는 각 각 10 nm이다. 증착된 다층 무기 박막은 비정질 상으로 수분 침투 보호막으로서 적당하다. 다층 무기 박막의 수분에 대한 저항성은 칼슘을 이용한 투과도 변화를 이용하여 측정하였다. 칼슘을 이용한 투과도 측정을 위해 고분자 PEN 필름위에 칼슘을 60nm 두께로 증착 시키고, 이어서 무기물인 SiN/SiCN/SiN의 다층 박막을 확산 방지층으로 증착 하였다. 제작된 소자는 온도 $85^{\circ}C$, 상대습도 85%의 가혹 조건에서 시간에 따른 표면 변화 및 투과도의 변화를 측정하였다. SiN/SiCN/SiN 구조를 갖는 무기 박막 층의 투습도는 3000시간까지는 $3.2{\times}10-5g/m/day$를 유지하였다. 이는 OLED 소자의 상용화를 위한 요구 조건에 근접한 값이다. 그러나 투습도는 측정 시간이 6000시간이 지난 후에 급격 증가하는데 이것은 30nm 두께의 SiN/SiCN/SiN의 확산 방지층에 임계 수명이 존재 한다는 것을 의미 한다고 할 수 있다. C-CVD 기술에 의해 제조된 다층 무기 박막 보호 층의 경계면에서 각 층간의 intermixing 현상이 관측되었으며, 이는 무기물 층의 결함과 핀 홀을 통해 내부로 확산 되는 수분의 침투 경로를 효과적으로 제어할 수 있는 방법이다. 본 연구 결과는 유연 기판 상에 제작된 OLED 소자에 적용 가능한 기술로서 소자 수명의 연장 뿐만 아니라 경량화에도 기여할 수 있는 기술이다.

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ZnO-SnO2 co-sputtering 박막의 전기적, 광학적 특성 고찰

  • 김진수;성태연;김원목
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.73-73
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    • 2011
  • Zn-Sn-O (ZTO) 다성분계 산화물 박막은 일반적인 rf 스퍼터법으로 성막할 경우 비정질상으로 성장하여 결정질 산화물 박막에 비해 우수한 표면평탄도와 식각 단면을 제공한다. 비정질임에도 불구하고 넓은 자유전하 농도 범위에서 높은 Hall 이동도를 제공할 수 있는 것으로 보고되어 있어 비정질 산화물의 투명도전성 박막에 대한 관심이 높아지고 있다. 투명 TFT에 적용되는 또 다른 비정질계 산화물 박막인 In-Zn-O (IZO) 박막에 비해 ZTO 박막은 상대적으로 제한된 연구가 이루어졌으나, In의 함유되지 않아 경제적으로 유리하고, 특히 SnO2의 우수한 기계적 및 화학적 특성과 ZnO의 내환원성 특성을 잠재하고 있는 유망한 투명도전성 박막재료이다. 본 연구에서는 Zn-Sn-O계 박막을 통상의 rf 스퍼터법으로 성막하여 조성, 증착 온도, 그리고 열처리 온도에 따른 ZTO 박막의 구조적인 특성 변화와 이에 따른 전기적 및 광학적 특성 변화에 대하여 고찰하였다. ZnO 타겟과 SnO2 타겟을 사용하여 co-sputtering하여 ZnO의 부피 분률을 13~59 mol%까지 변화되도록 조절하여 증착하였다. 증착 온도는 상온, 150 및 $300^{\circ}C$로, 그리고 성막가스 중의 산소분률은 0%, 0.5% 및 1% 로 변화시켰다. 40 mol% 이상의 ZnO를 함유한 ZTO 박막은 가시광 영역에서의 평균 광투과도는 좋으나 전기적인 특성이 열악하였으며, ZnO 분율이 낮은 ZTO 박막은 10-2~10-3 ohm-cm 정도의 비교적 낮은 비저항을 나타내었으나 광투과도 면에서 떨어지는 단점을 보였다. 평균 광투과도는 증착 온도가 증가할수록, 그리고 산소의 양이 증가할수록 향상 되었다. 자유전하농도가 1017~1020 cm-3 정도의 넓은 범위에서 10 cm2/Vs 을 넘는 홀 이동도를 가지는 ZTO 박막의 증착이 가능함을 확인하였으며, 이로부터 투명 TFT 소자로 적용이 가능성이 있음을 보였다. EPMA를 이용한 정량분석 및 XRD를 이용한 구조분석과 연계한 ZTO 박막의 물성 및 최적 조건에 대한 논의가 이루어질 것이다.

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하악골 골절후 이차감염으로 인한 골수염시 유리 장골 이식술과 고압산소 요법을 이용한 재건 치험례 (RECONSTRUCTION COMBINED WITH HBO THERAPY AND ILIAC BONE GRAFT IN MANDIBULAR FRCTURE SITE OSTEOMYELITIS)

  • 김수남;이동근;임창준;윤성필
    • Maxillofacial Plastic and Reconstructive Surgery
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    • 제13권1호
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    • pp.110-116
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    • 1991
  • 하악골 골절시 감염으로 인한 합병증에는 비유합, 부정유합, 감염에 의한 골수염, 치아 및 지지골 상실, 국소부위로부터 인접부위로 감염확장 등이 있다. 그 원인으로는 크게 국소요인과 전신요인으로 분류되는데 국소요인으로는 부적절한 고정과 수복, 감염 및 개조된 혈액공급을 들 수 있고 전신 요인으로는 부적절한 고정과 수복, 감염 및 개조된 혈액 공급을 들 수 있는 전신요인으로는 환자의 나이 및 대상장애 질환이나 primary bone disease, 영양결핍을 들 수 있다. 악골골절과 관련된 골수염은 조기에 적절한 고정 및 치료, 항생제 요법, 골절선상의 치아에 대한 치료, 전신적 저항성을 항진 시킴으로서 예방할 수 있다. 본 저자들은 하악골 골절수 이차감염으로 인한 골수염에서 골 이식의 일반적인 원칙인 감염이 없는 부위가 아닌 염증이 존재한 부위에 유리장골 이식술과 고압산소 요법을 병행하여 양호한 결과를 얻었기에 이에 보고하는 바이다.

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산, 담즙산, 산소 노출에 대한 비피도박테리아의 생존에 관한 연구 (Viability of Bifidobacterial Strains against Acid, Bile Acid, and Oxygen Exposure)

  • 임광세;허철성
    • 한국축산식품학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.503-510
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    • 2006
  • 한국인 유아에서 분리한 13개 균주를 포함한 19개 bifidobacteria 균주를 대상으로 산, 담즙산 및 산소 노출시의 생균수의 변화를 측정하였다. 내산성은 pH 4.0, 3.0, 2.0에서 2시간까지 측정하였는데, 실험 균주마다 매우 상이한 결과를 나타내었으며, 실험 균주 중에서 B. bifidum B3, B. longum D6, B. adolescentis Fl이 우수한 생존력을 나타내었다. 실험 균주를 0.2% thioglycolic acid와 0.2% oxgall이 함유된 MRS 배지에서 생장을 측정한 결과, B. bififdum B3과 B. longum D6이 담즙산에 우수한 저항성을 나타냈으며, 균종간의 경향은 관찰되지 않았다. 호기 상태에서 48시간 노출시킨 후에 생균수의 변화를 측정한 결과, 실험 균주마다 상이한 결과를 나타내었으며 상대적으로 B. bifidum과 B. longum균주들의 생존력이 우수하였다. 산, 담즙, 산소 노출에 대한 생존력은 균종간의 경향을 나타내지 않고 균주마다 상이한 결과를 나타내었는데, 실험 균주 중에는 B. bifidum B3과 B. longum D6 균주가 모두 우수한 생존율을 나타내었다. 이들 균주는 현재 시판되는 상업용 종균과 비교해서도 동등한 성적을 나타내어 상업용 종균으로서의 사용 가능성을 시사하였다.

20대 젊은이들에 있어 1회성 유산소운동 시 염증 표지자와 혈액변인들 간의 상관관계 (An Association of Changed Levels of Inflammatory Markers with Hematological Factors during One-time Aerobic Exercise in Twenty-aged Young Men)

  • 현경예
    • 생명과학회지
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    • 제19권11호
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    • pp.1658-1665
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    • 2009
  • 15분간의 1회성 유산소 운동 시 염증성 표지자들의 변화와 여러 생리학적 변수들 간의 상관관계를 밝히기 위해 30명의 젊은 남성을 대상으로 연구를 실시하였다. 운동 후 인터루킨-6(IL-6) 농도, 평균적혈구 혈색소 농도, 심박수, 수축기혈압, 중대뇌동맥 박동지수(PI) 및 저항지수(RI)는 운동 전 보다 증가하였다. 총백혈구수, 혈소판 수, 저밀도콜레스테롤은 운동후 약간 감소되는 경향이 있었다. 운동 전 IL-6농도와 수축기 혈압 간에 양의 상관성이, 운동 후 IL-6농도와 PI 및 RI 사이에 각각 양의 상관관계를 보였다. 운동 후 시기에 고민감도 C-반응단백 농도와 수축기혈압 또는 심박수와 각각 음의 상관성을 보였고, 운동 전 시기에 활성산소 농도와 수축기혈압, 이완기 혈압, 또는 심박수와 각각 양의 상관성을 나타내었다. 운동후 활성산소 농도와 중대뇌동맥의 혈류속도 간에 음의 상관성이 있었다. 운동 전 적혈구 지수(적혈구 수, 평균적혈구 용적, 평균적혈구혈색소, 평균적혈구 혈색소 농도)와 IL-6농도 사이에 반비례적 상관성이 있었다. 운동 후 활성산소 농도와 운동후 총백혈구수, 림프구수, 단구수 간에 음의 상관관계가 있었다. 운동 전, 마그네슘 농도와 IL-6, 고민감도 C-반응단백, 활성 산소 농도 사이에 음의 상관성이 있었다. 그리고 그 외 일부 생화학적 변수 및 전해질 농도와 염증성 표지자들 사이에 양혹은 음의 상관성이 있었다. 이러한 결과들은 짧은 시간 동안의 1회성 경도 유산소 운동역시 염증성 표지자들과 혈액변인 사이에 유의한 상관관계를 미칠 수 있으나 향후 좀 더 많은 연구를 통해 일회성 혹은 규칙적인 운동에 따른 성별 간 혹은 연령대별 생리학적 차이를 함께 규명할 필요 역시 있다.

기관지 내시경 검사에 따른 산소 포화도, 폐기능 및 동맥혈 가스의 변화 (The Change of $SaO_2$, PFT and ABGA During the Bronchofiberscopy)

  • 김종선;신정은;김태희;장종현;천선희
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제45권3호
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    • pp.574-582
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    • 1998
  • 연구배경: 기관지 내시경은 기도를 통하여 내시경을 삽입한 후 약 10-30분 가량의 시술을 포함하기 때문에 호흡기계에 병태 생리학적 변화를 동반할 가능성이 있다. 이에 저자들은 기관지내시경 검사에 따른 경피적 산소 포화도의 변화와 검사 전후 동맥혈 가스 및 폐기능의 변화를 보고자 하였다. 방 법: 144명의 환자를 대상으로 기관지 내시경을 입으로 삽입하여 실시하였으며 내시경 전과정을 통하여 pulse oximetry를 사용하여 왼쪽 검지 손가락 끝에서 l 분 간격으로 산소 포화도를 측정하였다. 16명의 환자를 대상으로 내시경 시행전과 직후에 폐기능과 동맥혈 가스검사를 시행하였다. 결 과: 기관지내시경의 평균 시술시간은 14.5분이었고, $SaO_2$는 평균 8.4분후에 최저로 떨어져 $89.0{\pm}5.54%$로 기저치보다 8% 저하되었으나 종결시 회복되었다. 산소 공급군과 비공급군에서 시술시간은 산소공급군에서 유의하게 길었으나, $SaO_2$의 감소는 산소비공급군에서 8.4%로, 산소 공급군의 6.4%보다 컸으나 통계적 유의성은 없었다. 산소 비공급군에서 Biopsy군와 BAL군이 Washing군에 비하여 $SaO_2$ 저하가 더 큰 경향을 보였으나 종결시에는 유사하게 회복되었다. 기관지내시경 시행전 $PaO_2$$FEV_1$의 정도는 기관지내시경중의 $SaO_2$ 감소정도에 큰 영향을 미치지 않았다. 기관지내시경을 전후하여 시행한 ABG상 경미한 $PaO_2$의 감소와 $PaCO_2$의 증가를 보였으며, vP기능 검사상 $FEV_1$의 감소(P<0.05)와 RV의 증가를 보였으나 기도 저항과 폐확산능의 변화는 없었다. 기관지내시경을 전후하여 비교하였을 때 Washing군은 폐기능의 큰 변화가 없었으나, Biopsy군과 BAL군은 기관지내시경후 $FEV_1$이 감소하고 RV가 증가하였으며, 통계적으로 유의하진 않았으나 BAL군에서 더욱 두드러졌다.

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OG POSS의 첨가가 DGEBA/DDM의 열적, 기계적 물성에 미치는 영향 (Thermal and Mechanical Properties of OG POSS Filled DGEBA/DDM)

  • 최충현;김윤호;사라스 쿠마 사티시 쿠마;김천곤
    • Composites Research
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    • 제30권6호
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    • pp.379-383
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    • 2017
  • 복합재료의 우주환경에서의 사용이 증가하면서 복합재료의 우주환경저항성에 대한 연구가 수행되어 왔다. 우주환경 중에서도 원자 산소는 복합재료의 기지재료와 반응하고 표면을 침식하여 이에 대한 보호는 필수적이다. 본 연구에서는 원자 산소 저항성 향상을 위해 연구되고 있는 POSS(Polyhedral Oligomeric Silsesquioxane)의 하나인 OG POSS(Octaglycidyldimethylsilyl POSS)를 DGEBA/DDM 에폭시에 첨가하여 OG POSS/에폭시 나노복합재료를 제작하였고 OG POSS로 인하여 발생하는 열적, 기계적 물성의 변화를 확인하였다. FT-IR 분광기를 통하여 경화도와 나노복합재료 내의 OG POSS를 확인하였다. 나노복합재료의 열물성을 측정하기 위하여 열중량분석과 시차주사열량분석을 수행한 결과, 초기 질량감소온도가 향상되었고 char yield가 증가하였다. OG POSS의 함량이 증가하면서 Tg는 OG POSS 5 wt.%까지 증가하는 추세를 보였지만, 10 wt.%에서 크게 감소하는 것을 알 수 있었다. OG POSS 나노복합재료에 대하여 수행된 인장시험에서는 OG POSS가 10 wt.% 함유되었을 때까지 에폭시의 인장물성을 유지함을 확인하였다.

교류형 플라즈마 방전 표시기 방전유지 전압의 전압 상승 시간의 변화에 따른 방전 현상의 변화

  • 김중균;양진호;윤차근;황기웅
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.229-229
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    • 1999
  • 교류형 플라즈마 방전 표시기(AC Plasma Display Panel, AC PDP)의 구동에서의 방전 현상은 기입방전, 유지방전, 소거 방전이 있다. 이중 유지 방전은 표시장치로서의 휘도와 계조의 표현을 위한 방전으로 표시기로서의 효율을 결정하게 된다. 본 연구에서는 유지 방전 전압의 상승 시간의 변화에 따른 방전현상과 휘도, 효율의 변화를 살펴 보았다. 방전 현상에서의 가장 큰 변화는 교류형 플라즈마 방전 표시기의 방전 개시 전압과 방전 유지 전압의 변화이다. 유지 전압의 상승시간이 증가할수록 방전 개시 전압과 방전 유지 전압의 변화이다. 유지 전압의 상승 시간이 증가할수록 방전 개시 전압과 방전 유지 전압의 차(sustain margin)는 감소하여 상승 시간이 1$\mu$s/100V 이상의 영역에서는 방전 개시 전압과 방전 유지 전압이 차이가 없어지게 된다. 이는 방전 유지 전극 위의 유전체에 쌓이게 되는 벽전하(wall charge) 양의 감소에 의한 방전 약화의 영향을 보여질 수 있다. 그러나 방전 유지 전압의 형태와 전류의 시간적인 변화를 살펴보면 이러한 약한 방전은 벽전하의 감소에 의한 방전 시의 전계 감소보다는 방전 전류의 발생 시간이 방전 전압이 증가하여 최고점에 이르지 못한 시간에 위치하여 방전이 형성될 때의 전계가 강하지 못하기 때문인 것을 알 수 있다. 방전 전류를 측정한 결과에 의하면 방전 전류의 시작은 변위 전류가 흐르고 난 후부터 시작되며 그 결과 방전 전류가 최고점에 도달하는 시간은 방전 전압 상승 시간이 길어질수록 낮은 전압에서 형성되게 된다. 또한 방전 유지 전압의 상승 시간이 길어질수록 플라즈마 방전표시기의 휘도와 효율은 낮아지고 이 결과 또한 약한 전계에서의 방전에 의한 결과로 생각되어진다.플라즈마의 강도값을 입력하여 플라즈마의 radiation을 검출하고, 스퍼터링 공정중 실질적인 in-situ 정보로 이용하였다. PEM을 통하여 In/Sn의 플라즈마 강도변화를 조사하였다. 초기 In/Sn의 플라즈마 강도(intensity)는 강도를 100하여, 산소를 주입한 결과, plasma intensity가 35 줄어들었고, 이때 우수한 ITO 박막을 얻을 수 있었다. Pulsed DC power를 사용하여 아크 현상을 방지하였다. PET 상에 coating 된 ITO 박막의 표면저항과 광투과도는 4-point prove와 spectrophotometer를 이용하여 분석하였고, AES로 박막의 두께에 따른 성분비를 확인하였다. ITO 박막의 광투과도는 산소의 유량과 sputter 된 In/Sn ion의 plasma emission peak에 따라 72%-92%까지 변화하였으며, 저항은 37$\Omega$/$\square$ 이상을 나타내었다. 박막의 Sn/In atomic ratio는 0.12, O/In의 비율은 In2O3의 화학양론적 비율인 1.5보다 작은 1.3을 나타내었다.로 보인다.하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인 모양을 가지는 성장의 경우도 cluster 밀도, cluster 모양, cluster의 양 축 방향 길이 비, 양 축 방향의 평균 팔 넓이로부터 각 축 방향의 분산 장벽을 얻어낼 수 있을 것으로 보인다. 기대할 수 있는 여러 장점들을 보고하고자 한다.성이 우수한 시

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쵸크랄스키법에 의한 $Bi_4Ge_3O_{12}$ 단결정 육성에서 온도구배와 회전속도가 미치는 영향 (The influence of temperature gradient and rotation rate on Bi4Ge3O12 crystal growth by czochralski method)

  • 배인국;황진명
    • 한국결정성장학회지
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    • 제9권6호
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    • pp.585-589
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    • 1999
  • 자동직경제어방식이 부착된 쵸크랄스키법에 의해 $Bi_4Ge_3O_{12}$(BGO) 단결정을 육성하기 위해 저항발열식로를 자체설계로 제작하여 사용하였다. 로 내의 온도 구배는 열적구조를 변화하면서 측정하였다. 각각의 변화된 온도구배와 평평한 계면을 갖는 임계 회전속도의 의존성에 대해 연구하였고 또한 저항발열식 가열에서 수직온도구배의 중요성을 지적하였다. 그것은 RF 가열방식을 사용하였을 때 다른 저자들에 의해 얻어진 결과와 비교되었다. 단결정 육성을 위한 최적조건은 다음과 같다. 산소 분위기하에서 2mm/h로 인상속도를 고정하고 성장이 진행함에 따라 회전속도를 30에서 23rpm으로 변화하였고, 수평 및 수직 온도구배는 융액근처에서 각각 50과 $40^{\circ}C$/cm이었고, 조성은 화학양론 조성이었다.

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산화물 반도체의 결정입도가 가스감도와 표면특성에 미치는 영향 (Effects of Crystallite Size on Gas Sensitivity and Surface Property of Oxide Semiconductor)

  • 송국현;박순자
    • 한국재료학회지
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    • 제3권4호
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    • pp.319-326
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    • 1993
  • Hydroxide법으로 ${\alpha}$-주산산(stannic acid)을 만든후, 하고온도를 $500^{\circ}C$~$1100^{\circ}C$로 조정하여 일차입자(Crystallite)크기가 8-54nm인 $SnO_2$ 분말을 제작하였다. 분말의 입자(drystalite)클기에 따른 분말특성와 $H_2$, CO가스(0.5v/o)에 대한 감응성 미치공기중에서의 저상변화특성에 미치는 영향을 조사하였다. 입자크기가 감소함에 따라, 분말의 FTIR 흡습특성은 증가하였으나, 격자상수는 일정하였다. 후막소자에서, $H_2$가스에 대해 최대감도를 나타내는 온도와 공기중에서 최소저항을 나타내는 온도는 입자크기가 미세해짐에 따라 점차 낮아졌다. 최소저항점과 최대감도점의 온도저하를 산소흡착종의 활성화에너지의 감소라고 유추하였고, 이러한 에너지의 감소가 미세입자에 의한 감도향상요인 중의 한가지라고 제의하였다.

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