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Metal-induced Crystallization of Amorphous Ge on Glass Synthesized by Combination of PIII&D and HIPIMS Process

  • Jeon, Jun-Hong;Kim, Eun-Kyeom;Choi, Jin-Young;Park, Won-Woong;Moon, Sun-Woo;Lim, Sang-Ho;Han, Seung-Hee
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.144-144
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    • 2012
  • 최근 폴리머를 기판으로 하는 고속 Flexible TFT (Thin film transistor)나 고효율의 박막 태양전지(Thin film solar cell)를 실현시키기 위해 낮은 비저항(resistivity)을 가지며, 높은 홀 속도(carrier hall mobility)와 긴 이동거리를 가지는 다결정 반도체 박막(poly-crystalline semiconductor thin film)을 만들고자 하고 있다. 지금까지 다결정 박막 반도체를 만들기 위해서는 비교적 높은 온도에서 장시간의 열처리가 필요했으며, 이는 폴리머 기판의 문제점을 야기시킬 뿐 아니라 공정시간이 길다는 단점이 있었다. 이에 반도체 박막의 재결정화 온도를 낮추어 주는 metal (Al, Ni, Co, Cu, Ag, Pd, etc.)을 이용하여 결정화시키는 방법(MIC)이 많이 연구되어지고 있지만, 이 또한 재결정화가 이루어진 반도체 박막 안에 잔류 금속(residual metal)이 존재하게 되어 비저항을 높이고, 홀 속도와 이동거리를 감소시키는 단점이 있다. 이에 본 실험은, 종래의 MIC 결정화 방법에서 이용되어진 금속 증착막을 이용하는 대신, HIPIMS (High power impulse magnetron sputtering)와 PIII&D (Plasma immersion ion implantation and deposition) 공정을 복합시킨 방법으로 적은 양의 알루미늄을 이온주입함으로써 재결정화 온도를 낮추었을 뿐 아니라, 잔류하는 금속의 양도 매우 적은 다결정 반도체 박막을 만들 수 있었다. 분석 장비로는 박막의 결정화도를 측정하기 위해 GIXRD (Glazing incident x-ray diffraction analysis)와 Raman 분광분석법을 사용하였고, 잔류하는 금속의 양과 화학적 결합 상태를 알아보기 위해 XPS (X-ray photoelectron spectroscopy)를 통한 분석을 하였다. 또한, 표면 상태와 막의 성장 상태를 확인하기 위하여 HRTEM(High resolution transmission electron microscopy)를 통하여 관찰하였다.

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A study on system improvement to utilization of underground space for the right complementary - Focused on land of exceeding the depth limit - (지하공간 활용의 권리보완을 위한 제도적 개선에 관한 연구 - 한계심도 초과 토지를 중심으로 -)

  • Seo, Yong-Su;Choi, Seung-Young
    • Journal of Cadastre & Land InformatiX
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    • v.44 no.1
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    • pp.97-111
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    • 2014
  • As urbanization and industrialization develops, the necessity of utilizing scarce land in three dimensions is raising. The issue of utilizing underground space is being actively discussed particularly when Geyeonggi-do announced GTX(Great Train Express) construction plan which aims to relieve traffic congestion in metropolitan areas. The current regulation on compensation of underground space is based on "Regulations on compensation standard complied by using underground space for construction of urban railway" but it is difficult for covering the whole rights to protect a three-dimensional right. In this context, the study is to propose the improvement plans of land right's problem and compensation issues to utilization of underground space for the right complementary. To do this, the study reviews the use situation of the classification surface right and using adjudication which defines the effect scope of underground space extending land ownership. As well as it analyzes issues about compensation standard for utilizing of underground space.

Design and Implementation of www-based Electronic Payment Protocol using PGP (PGP를 이용한 WWW 기반에서의 전자지불 프로토콜 설계 및 구현)

  • 박현동;강신각;박성열;류재철
    • Proceedings of the Korea Institutes of Information Security and Cryptology Conference
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    • 1996.11a
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    • pp.122-132
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    • 1996
  • WWW(World Wide Web)은 미래의 쇼핑수단으로 자리를 잡아가고 있다. 하지만, 현재 사용하고 있는 지불형태는 구매자의 신용카드 정보가 평문으로 네트워크를 통해 전송되는 것과 같은 보안상의 문제점을 가지고 있다. 이러한 문제점들은 개인정보에 대한 침해 딸만 아니라 정제범죄 등의 사회적 문제를 야기할 수 있다. 이러한 문제점을 재결하기 위하여 본 논문에서는 신용카드를 사용하는 새로운 전자지불 프로토콜인 SCCP(Secure Credit Card payment)를 소개한다. SCCP의 적합성을 확인하기 위하여 IBM에서 제시한 기준에 따라 수행한 결과, 본 논문에서 제시하는 방법은 안전한 전자지불 프로토콜로 판단된다.

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Design and fabrication of a zoom optics having 20 magnification range for mid-IR(3.7-4.8$\mu$m) FLIR system (3.7-4.8$\mu$m 파장대역 FLIR 시스템을 위한 20:1 줌 렌즈 광학계 설계 및 제작)

  • 김현숙;김창우;홍석민
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.10 no.6
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    • pp.462-467
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    • 1999
  • This paper describes the design and fabrication of mid-IR $(3.7-4.8{\mu}m)$ zoom optics which is used for FUR (Forward Looking Infra-Red) system with 320 $\times$ 240 focal plane arrays. The zoom optics has 20 magnification range and maximun 40$^{\circ}$$\times$30$^{\circ}$ of super wide field of view. The locus of zoom is almost linear, which gives easy access of mechanical and electro-mechanical design. The on-axis MTF of zoom optics has been measured and it shows diffraction limited optical performance. For example, it gives 0.692 at 24 cycles/mm at highest magnification, and 7.6 cycles/mradof resolving power is achieved with the operation of attached micro-scanning system.system.

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Analysis on the Responsibility and Exemption Clause of COLREG Rule 2 (국제해상충돌예방규칙 제2조에 따른 책임과 면책에 관한 분석)

  • Kim, Inchul
    • Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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    • v.28 no.1
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    • pp.54-63
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    • 2022
  • The Marine Accident Investigation and Tribunal System is intended to provide a credible solution to prevent the recurrence of similar accidents. When a marine accident occurs, the Korea Maritime Safety Tribunal seeks to find its root causes through an analysis of what provoked the accident. It also contributes to the development of safety policies or practices by making a decision based on the findings. However, if the decision presented as the root cause of a marine accident is ambiguous or unclear, it may be difficult to achieve its intended goal. Hence, if we read some of the decisions of the Maritime Safety Tribunal, it is selective to directly apply the cause of an accident as a source of the measures that can prevent its recurrence. A typical example of this is the expression: "when a seafarer neglects ordinary practice of seaman." The term "ordinary practice of seaman" has been criticized for being used in some decisions like a master key where it is not easy to determine which specific rules or regulations were violated or blame the involved seafarers. Such term is present in Article 2 of the International Regulations for Preventing Collisions at Sea 1972. For the proper use of the term, this paper seeks to compare and establish the concepts of "ordinary practice of seaman" and the duty of care by providing a systematic interpretation of the original text. In addition, the duty of care was reviewed from the perspective of administrative, civil, and criminal laws. Furthermore, relevant legal precedents were reviewed and presented in the study. Accordingly, it is expected that the term "ordinary practice of seaman" would be properly used in decisions that contribute to the prevention of the recurrence of similar marine accidents.

Preparation of Boron Compounds from Colemanite Ore : Application of Microwave in Preparation of Boric Acid (II) (Colemanite 광물로부터 붕소화합물의 제조 : 붕산 제조에 있어서 마이크로파 적용 (II))

  • Lim, Hyung-Mi;Jae, Mi-Jung;Jang, Jae-Hun;Paik, Jong-Hoo;Lee, Mi-Jai;Choi, Byung-Hyun
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.41 no.11
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    • pp.804-811
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    • 2004
  • We have studied microwave extraction process of boric acid from one of calcium borate ores, colemanite. Calcium and boron have separated by addition of sulfuric acid, and calcium has been separated out as calcium sulfate. It was possible to extract boron with the smaller amount of sulfuric acid and with short heating time in microwave heating compared to conventional heating process. The products of boric acid was the same purity and thermal characteristic, but smaller in particle size.

Characteristics analysis of Si recrystallization using Laser (레이저를 이용한 Si 재결경화 특성평가)

  • Ahn, Hwanggi;Kim, Il;Kim, Ki Hyung
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.11a
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    • pp.44.1-44.1
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    • 2010
  • 레이저 가공기술은 공정 적용이 용이하고 응용 분야가 넓어 산업 전반에 걸쳐 널리 사용되고 있다. 특히, 태양전지 제조공정에서는 cutting, grooving, doping, ablation등의 분야에 활발하게 적용되고 있으며 최근에는 다양한 종류의 레이저를 기술을 이용하여 효율 향상과 원가 절감을 위해 많은 기관에서 활발하게 연구를 진행하고 있다. 본 연구에서는 실리콘웨이퍼에 특정 파장의 레이저를 조사하여 실리콘웨이퍼 표면의 용융과 고상화를 통해 구조적, 전기적 특성 변화를 확인하였다. Si wafer의 표면은 레이저 조사 조건에 의해 다결정화 하며 레이저의 power와 frequency, scan speed등을 조절하여 다결정 실리콘 영역의 형성 깊이를 조절 할 수 있다. 다결정화 된 부분의 구조적 특성은 SED과 XRD를 이용하여 측정하였으며, 전기적 특성은 면저항 측정을 통하여 실시하였다. 또한 이러한 특성을 이용하여 태양전지 제조 공정의 적용가능성을 평가하였다.

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카메라 모듈용 IR Cut filter 코팅 및 열처리 공정 연구

  • Sin, Gwang-Su;Park, Chang-Mo;Kim, Hyo-Jin;Kim, Seon-Hun;Gi, Hyeon-Cheol;Han, Myeong-Su
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.49-49
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    • 2009
  • 카메라 모듈용 적외선 차단 필터를 설계하고 이온빔 증착 장비를 이용한 코팅 공정 후 특성을 조사하였다. 코팅 실험에 앞서 Macleod 프로그램을 이용하여 640nm 차단 필터를 설계하였으며, 실험은 Ion-Assisted Deposition 장비를 사용하여 $TiO_2/SiO_2$ 유전층을 다층 박막으로 증착하였다. 투과도 분석에서 640nm 차단 필터는 설계 곡선과 약 8nm 이내에서 일치하였으며, 갓 성장된 박막 투과도는 400~600nm에서 약 80% 이었으며, 급속열처리 및 열처리 후 약 5% 증가된 투과도를 보였다. 표면거칠기 또한 감소하였다. 따라서 열처리로 인한 재결정화 및 결함감소에 의해 필터특성이 향상되었음을 알 수 있었다.

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Hot Forging of Gas Turbine Components (가스터빈 부품 단조 기술)

  • 박노광;염종택;나영상;김인수
    • Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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    • 1999.06b
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    • pp.51-64
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    • 1999
  • 가스터빈에 사용되는 소재는 여타 금속소재에 비하여 고온 기계적 특성은 우수한 반면 상대적으로 단조성이 떨어지기 때문에, 금속소재의 단조성에 대한 이해와 단조 공정별 장단점을 파악하여 단조공정 설계에 반영하여야 한다. 가스터빈용 Ni합금의 경우 고온기계적 성질은 결정립 크기에 크게 의존한다. 결정립 크기는 기계적 성질에 직접적으로 영향을 미치는데, 동적재결정의 경우 초기 결정립크기, 변형률, 변형속도, 온도 뿐만 아니라 결정립계에 석출된 제2상에 의해서 크게 영향을 받기 때문에 이들 상의 고용온도를 파악하여 단조공정 설계에 반영하여야 한다. 유한요소법으로 변형률과 온도분포를 해석함으로써 단조품 내의 결정립 분포를 효과적으로 예측할 수 있다. 다단계 단조 경우, 최종 단조품의 결정립 크기는 단계별 단조 온도 및 변형률 배분 등에 따라 변하므로 이를 고려하여야 한다.

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Anodic Oxide Membrane Formation of Hexagonal Pore Arrarys on Aluminium (다공성 알루미나 박막의 나노 스케일 구조 제어)

  • Jung, Kyung-Han;Shin, Hoon-Kyu;Kwon, Young-Soo
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2002.07b
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    • pp.830-833
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    • 2002
  • 최근 나노 구조 (nano structure)를 만들기 위한 시도 중 하나로서 스스로 조직화(self organization)하여 나노 구조를 형성하는 물질을 나노 소자 제작을 위한 형틀 (template)로 이용하려는 시도가 활발히 진행되고 있다. 이러한 물질로서 주목을 받고있는 것 중 하나가 전해질 용액에서 알루미늄을 양극산화(anodization) 시켰을 때 형성되는 다공성 알루미나 박막이다. 본 연구에서는 고 순도 알루미늄을 기계적으로 연마(mechanical polishing)하고 공기 분위기에서 어닐링 (annealing)하여 알루미늄을 재결정화(recrystallization) 시키고 인가 전압이 40 V인 정 전압하에서 0.3 M의 수산(oxalic acid)을 전해질로 사용하면서 양극산화를 수행하여 평균 직경이 65 nm인 고도로 배열된 육방밀집구조의 나노 다공성 박막을 제작하였다. 또한 같은 방향의 육방밀집 배열은 크기가 수 ${\mu}m$인 영역(grain)을 형성하고 있었으며, 평균적인 pore의 밀도는 $1.1{\times}10^{10}/cm^2$였다.

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