최근 폴리머를 기판으로 하는 고속 Flexible TFT (Thin film transistor)나 고효율의 박막 태양전지(Thin film solar cell)를 실현시키기 위해 낮은 비저항(resistivity)을 가지며, 높은 홀 속도(carrier hall mobility)와 긴 이동거리를 가지는 다결정 반도체 박막(poly-crystalline semiconductor thin film)을 만들고자 하고 있다. 지금까지 다결정 박막 반도체를 만들기 위해서는 비교적 높은 온도에서 장시간의 열처리가 필요했으며, 이는 폴리머 기판의 문제점을 야기시킬 뿐 아니라 공정시간이 길다는 단점이 있었다. 이에 반도체 박막의 재결정화 온도를 낮추어 주는 metal (Al, Ni, Co, Cu, Ag, Pd, etc.)을 이용하여 결정화시키는 방법(MIC)이 많이 연구되어지고 있지만, 이 또한 재결정화가 이루어진 반도체 박막 안에 잔류 금속(residual metal)이 존재하게 되어 비저항을 높이고, 홀 속도와 이동거리를 감소시키는 단점이 있다. 이에 본 실험은, 종래의 MIC 결정화 방법에서 이용되어진 금속 증착막을 이용하는 대신, HIPIMS (High power impulse magnetron sputtering)와 PIII&D (Plasma immersion ion implantation and deposition) 공정을 복합시킨 방법으로 적은 양의 알루미늄을 이온주입함으로써 재결정화 온도를 낮추었을 뿐 아니라, 잔류하는 금속의 양도 매우 적은 다결정 반도체 박막을 만들 수 있었다. 분석 장비로는 박막의 결정화도를 측정하기 위해 GIXRD (Glazing incident x-ray diffraction analysis)와 Raman 분광분석법을 사용하였고, 잔류하는 금속의 양과 화학적 결합 상태를 알아보기 위해 XPS (X-ray photoelectron spectroscopy)를 통한 분석을 하였다. 또한, 표면 상태와 막의 성장 상태를 확인하기 위하여 HRTEM(High resolution transmission electron microscopy)를 통하여 관찰하였다.
도시화 및 산업화가 발달하면서 한정된 토지를 입체적으로 이용하고자 하는 필요성이 점점 대두되고 있다. 특히 수도권의 교통난을 해소하기 위하여 경기도가 GTX(Great Train Express, 광역급행철도) 건설계획을 발표하면서 이에 따른 지하공간 활용논의가 활발해지고 있다. 현행 지하공간 보상은 "도시철도 건설을 위한 지하부분 토지의 사용에 따른 보상기준에 관한 조례"에 의한 보상기준에 의거하여 산정하고 있으나, 입체적 권리에 대하여 완전한 권리보호가 어려운 점이 있다. 이에 본 연구에서는 토지소유권이 미치는 지하공간의 효력범위를 설정하는 구분지상권 및 사용재결 이용 현황을 검토하고 지하공간 활용에 따른 보상기준에 관한 쟁점을 분석하여 지하공간 활용의 권리보완을 위한 개선방안을 제시하였다.
WWW(World Wide Web)은 미래의 쇼핑수단으로 자리를 잡아가고 있다. 하지만, 현재 사용하고 있는 지불형태는 구매자의 신용카드 정보가 평문으로 네트워크를 통해 전송되는 것과 같은 보안상의 문제점을 가지고 있다. 이러한 문제점들은 개인정보에 대한 침해 딸만 아니라 정제범죄 등의 사회적 문제를 야기할 수 있다. 이러한 문제점을 재결하기 위하여 본 논문에서는 신용카드를 사용하는 새로운 전자지불 프로토콜인 SCCP(Secure Credit Card payment)를 소개한다. SCCP의 적합성을 확인하기 위하여 IBM에서 제시한 기준에 따라 수행한 결과, 본 논문에서 제시하는 방법은 안전한 전자지불 프로토콜로 판단된다.
중적외선 파장대역$(3.7-4.8{\mu}m)$에서 20:1의 줌 비(zoom ratio)를 가지며 최저배율에서는 40$^{\circ}$$\times$30$^{\circ}$의 광시계를 갖는 연속 줌렌즈 광학계를 설계, 제작하였다. 설계된 줌 렌즈 광학계는 F/2.5에 총 7매의 렌즈로 구성되며 실리콘(Si)과 게르마늄(Ge)이 광학재질로 사용된다. 줌 광학계는 적외선 검출기를 최종 상면에 놓을 때 비네트(vignett)에 의한 광학적 errors를 줄이면서도 줌 대물렌즈의 크기를 최소화하기 위한 릴레이 형태의 재결상계(reimaging system)로 설계하였으며, 줌 렌즈의 배율 변화와 1차적인 결상을 담당하는 줌 대물부와 이를 다시 검출기에 재결상 시켜주는 결상부는 구성된다. 줌 대물부는 기계보정식 4군 줌 렌즈 형태로 구성되며 각 군을 구성하는 렌즈 매수를 최소화하여 광학계의 질량 및 크기를 줄이면서도 광학적 성능은 우수하게 유지되도록 설계하였으며 결상부는 1개의 렌즈군으로 구성하였다. 제작된 줌 렌즈 광학계의 축상 MTF를 측정한 결과 최고 배율인 20배에서 공간주파수가 24cycle/mm일 때 4.0$\mu$m파장에 대한 MTF 측정값이 0.692로 회절한계에 가까운 성능을 보였으며, 분해능은 7.6 cycles/crad까지 분해되는 것을 확인하였다.
해양사고의 조사 및 심판 제도는 유사 사고의 재발을 방지하기 위한 공신력 있는 해결책을 제공하기 위한 것이다. 우리나라의 경우 해양사고가 발생하면 해양안전심판원은 사고의 과정을 정밀하게 분석하여 사고 원인을 공표함으로써 재발방지대책 개발에 기여하고 있다. 그러나 해양사고의 원인으로 제시된 내용이 모호하다면 소기의 목적을 달성하는 데는 어려움이 있을 수 있다. 이러한 관점에서 해양안전심판원의 재결을 살펴보면 일부 사고의 원인으로 적시한 내용을 재발방지대책으로 직접 대입하기 곤란한 몇 몇 경우가 있다. 대표적으로 '선원의 상무로서 준수하여야 할 주의의무를 태만히 한 경우'라는 표현을 들 수 있다. 또한 '선원의 상무'가 정확한 사고원인을 밝히기 어려운 경우에도 선원의 책임으로 돌리기 위하여 관용적으로 사용되고 있다는 비판도 있다. 선원의 상무는 국제해상충돌예방규칙 제2조에 나오는 용어로서 그 사용을 엄격히 하고자, 이 연구에서는 원문에 대한 체계적인 분석을 제공함으로써 선원의 상무와 주의의무에 대한 개념을 비교·정립하고자 한다. 이를 위해 주의의무를 행정적, 민사적, 형사적 시각에서 살펴보고 관련된 판례를 제시하였다. 이에 따라 선원의 상무가 유사 해양사고 재발방지에 기여하는 합목적적인 재결을 위한 용도로 사용되기를 기대하였다.
본 연구는 colemanite원광을 출발원료로 하여 붕산을 추출하는 공정에서 마이크로파 적용에 대한 연구로, 황산을 첨가하고 가열하여 colemanite의 칼슘 성분을 황산칼슘으로 분리하여 내고, 액상에 존재하는 붕소 성분은 붕산으로 재결정화 하여 제조하였다 Colemanite에 황산을 첨가해 가열하는 공정에 마이크로파를 적용하면, 일반 가열원을 사용하였을 때와 비교하여 적은 양의 황산을 사용하여 추출이 가능하고, 가열시간을 단축하는 것이 가능하였다. 생성된 붕산의 순도는 일반 가열원을 사용하였을 때와 동등한 수준이고 열 특성 또한 동일하였으나, 입자의 크기는 작아졌다.
레이저 가공기술은 공정 적용이 용이하고 응용 분야가 넓어 산업 전반에 걸쳐 널리 사용되고 있다. 특히, 태양전지 제조공정에서는 cutting, grooving, doping, ablation등의 분야에 활발하게 적용되고 있으며 최근에는 다양한 종류의 레이저를 기술을 이용하여 효율 향상과 원가 절감을 위해 많은 기관에서 활발하게 연구를 진행하고 있다. 본 연구에서는 실리콘웨이퍼에 특정 파장의 레이저를 조사하여 실리콘웨이퍼 표면의 용융과 고상화를 통해 구조적, 전기적 특성 변화를 확인하였다. Si wafer의 표면은 레이저 조사 조건에 의해 다결정화 하며 레이저의 power와 frequency, scan speed등을 조절하여 다결정 실리콘 영역의 형성 깊이를 조절 할 수 있다. 다결정화 된 부분의 구조적 특성은 SED과 XRD를 이용하여 측정하였으며, 전기적 특성은 면저항 측정을 통하여 실시하였다. 또한 이러한 특성을 이용하여 태양전지 제조 공정의 적용가능성을 평가하였다.
카메라 모듈용 적외선 차단 필터를 설계하고 이온빔 증착 장비를 이용한 코팅 공정 후 특성을 조사하였다. 코팅 실험에 앞서 Macleod 프로그램을 이용하여 640nm 차단 필터를 설계하였으며, 실험은 Ion-Assisted Deposition 장비를 사용하여 $TiO_2/SiO_2$ 유전층을 다층 박막으로 증착하였다. 투과도 분석에서 640nm 차단 필터는 설계 곡선과 약 8nm 이내에서 일치하였으며, 갓 성장된 박막 투과도는 400~600nm에서 약 80% 이었으며, 급속열처리 및 열처리 후 약 5% 증가된 투과도를 보였다. 표면거칠기 또한 감소하였다. 따라서 열처리로 인한 재결정화 및 결함감소에 의해 필터특성이 향상되었음을 알 수 있었다.
가스터빈에 사용되는 소재는 여타 금속소재에 비하여 고온 기계적 특성은 우수한 반면 상대적으로 단조성이 떨어지기 때문에, 금속소재의 단조성에 대한 이해와 단조 공정별 장단점을 파악하여 단조공정 설계에 반영하여야 한다. 가스터빈용 Ni합금의 경우 고온기계적 성질은 결정립 크기에 크게 의존한다. 결정립 크기는 기계적 성질에 직접적으로 영향을 미치는데, 동적재결정의 경우 초기 결정립크기, 변형률, 변형속도, 온도 뿐만 아니라 결정립계에 석출된 제2상에 의해서 크게 영향을 받기 때문에 이들 상의 고용온도를 파악하여 단조공정 설계에 반영하여야 한다. 유한요소법으로 변형률과 온도분포를 해석함으로써 단조품 내의 결정립 분포를 효과적으로 예측할 수 있다. 다단계 단조 경우, 최종 단조품의 결정립 크기는 단계별 단조 온도 및 변형률 배분 등에 따라 변하므로 이를 고려하여야 한다.
최근 나노 구조 (nano structure)를 만들기 위한 시도 중 하나로서 스스로 조직화(self organization)하여 나노 구조를 형성하는 물질을 나노 소자 제작을 위한 형틀 (template)로 이용하려는 시도가 활발히 진행되고 있다. 이러한 물질로서 주목을 받고있는 것 중 하나가 전해질 용액에서 알루미늄을 양극산화(anodization) 시켰을 때 형성되는 다공성 알루미나 박막이다. 본 연구에서는 고 순도 알루미늄을 기계적으로 연마(mechanical polishing)하고 공기 분위기에서 어닐링 (annealing)하여 알루미늄을 재결정화(recrystallization) 시키고 인가 전압이 40 V인 정 전압하에서 0.3 M의 수산(oxalic acid)을 전해질로 사용하면서 양극산화를 수행하여 평균 직경이 65 nm인 고도로 배열된 육방밀집구조의 나노 다공성 박막을 제작하였다. 또한 같은 방향의 육방밀집 배열은 크기가 수 ${\mu}m$인 영역(grain)을 형성하고 있었으며, 평균적인 pore의 밀도는 $1.1{\times}10^{10}/cm^2$였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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