• Title/Summary/Keyword: 빔 설계

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IMPROVEMENT OF LINEAR ACCELERATORY CONTROL SYSTEM FOR COOPERATION (통합운전을 위한 선형가속기 제어시스템의 개선)

  • Yoon, J.C.;Kim, J.M.;Kim, S.C.;Lee, J.W.;Lee, T.Y.;Nam, S.Y.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2000.07d
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    • pp.2504-2506
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    • 2000
  • 포항가속기(PLS) 제어시스템은 선형가속기와 저장 링 제어시스템으로 분산 독립형으로 운영되어 왔다. 각각의 제어시스템의 구성상 상이한 H/W, S/W구조로 인하여 통합제어의 실현을 구현하지 못하여, 빔 운영상의 두 곳의 운전 감시업무로 인한 인력소요의 낭비를 초래하였다. 이러한 점을 개선하기 위한 선형가속기 및 저장 링 제어시스템의 제어알고리즘의 장점만 살려, 통합운전에 필수적으로 필요한 제어 분야만 새롭게 설계된 개선된 제어시스템에 적용하였다. 개선된 제어시스템의 구성은 디바이스제어에서 GUI(Graphic User Interface)단계까지의 3단계의 제어구조에서 SCC(Subsystem Computer Control System)를 생략한 디바이스 제어 컴퓨터와 GUI실현을 위한 상위 컴퓨터로 운영되고 있다. 디바이스 제어 컴퓨터는 VMEbus 구조의 OS-9 ver3.03 real-time OS가 적용되어 있으며, 상위는 SUN Workstation 환경에 UNIX 운영체제에 Rtworks가 적용되었다.

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A Feasibility Study on the Abdomen Immobilization with Air Injected Balloon Blanket (공기 주입형 풍선 담요를 이용한 복부 고정 가능성 연구)

  • 서예린;안승도;이상욱;김종훈;신승애;최은경;서태석;이병용
    • Progress in Medical Physics
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    • v.13 no.3
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    • pp.176-180
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    • 2002
  • The demand for a better immobilization device has been increased in the radiation oncology field. Especially, it is essential to have a reliable and practical immobilization tool for the whole body radio-surgery and the IMRT(intensity modulated radiation therapy). A new method to immobilize the abdomen for the external beam radiation treatment was developed. The air-injected balloon blanket (AIBB) was designed as an immobilization device. As the air was injected into the AIBB, it pressed down the patient's abdomen and fixed the patient. The AIBB played a useful role to grab the patients' motion. Displacement of the abdomen in the anterior-posterior direction, which showed moving most during the respiration, reduced by more than 5 mm. Patients' movements from the breathing were reduced. The experimental results revealed that the AIBB could be used for the clinic.

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Design and Measurement of Nano-pattern for FIB Reliability Assessment (FIB 신뢰성 평가를 위한 나노패턴의 설계 및 측정)

  • Kang Hyun-Wook;Lee Seung-Jae;Cho Dong-Woo
    • Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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    • 2005.05a
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    • pp.24-29
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    • 2005
  • Fm (Focused ion beam) system is one of the most important equipments for the nano-scale machining. Various researches have been performed, since it can etch the material and deposit 3-D structure with high-aspect-ratio in the nanometer scale. In spite of those researches, the definite method for the reliability of FIB system has not been reported. In this paper, we proposed the reliability assessment method through nano-pattern fabrication. In the fabricated nano-pattern, the characteristics of FIB system are included. Using this effect, we tried to assess the FIB reliability. First, we suggested reliability assessment items and nano-patterns. And, to know the suitableness of the proposed method, we fabricated several nano-patterns using Nova200(FEI Company) and SMI2050(SEIKO) which are FIB apparatuses. The fabricated nano-patterns are measured with SEM (Scanning Electron Microscope) and compared with designed dimensions. And the compared results showed that the proposed method is suitable for the assessment of FIB system reliability.

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Refraction angle of the transverse wave near the longitudinal critical angle in angle beam transducer (종파 임계각 근처에서 사각 탐촉자의 횡파굴절각)

  • Lee Jeong-Ki;Lim Seong-Jin
    • Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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    • autumn
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    • pp.303-306
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    • 2000
  • 복잡한 형상을 지닌 터빈 블래이드의 결함을 검사하기 위해 현재 $35^\circ,\; 38^\circ,\; 40^\circ$의 횡파 굴절각을 지닌 탐촉자를 사용하고 있다. 이와 같은 굴절각은 초음파 빔의 경로를 Snell의 법칙에 의해 설정하고 있다. 그러나 터빈 블래이드 검사용 초음파 탐촉자를 제작하는 과정에서 $35^\circ$의 횡파 굴절각을 갖는 경사각 탐촉자는 제작이 어려움을 알았다. 이러한 원인은 철강재료의 종파임계각이 $33.2^\circ$의 횡과굴절각에 대응되며, 종파임계각 근처에서는 전반사 현상 때문에 에너지 투과율이 매우 작아 실제 시험대상체에 입사되는 에너지가 거의 없으며 또한 횡파굴절각이 약 $37.5^\circ$ 일때에 휭파의 에너지 투과율이 최대가 되어 wedge를 $37.5^\circ$ 이하의 횡파굴절각을 갖도록 설계하더라도 측정을 하면 $37.5^\circ$ 근처의 횡파굴 절각을 갖게된다. 즉, 종파임계각 근처에서는 전반사 현상에 의해 경계면에서의 에너지 투과가 매우 작아 횡파 굴절각은 Snell의 법칙이 아닌 초음파 에너지의 투과 정도를 나타내는 echo transmittance의 크기에 의해 결정된다.

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Antenna for Wireless home network service (무선 홈 네트워크 서비스 수용을 위한 무선랜용 안테나)

  • Kim, Wan-Ki;Ryu, Myung-Joo;Ki, Ho-Young;Woo, Jong-Myoung;Hong, Sung-Yong;Eun, Chang-Soo
    • 한국정보통신설비학회:학술대회논문집
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    • 2005.08a
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    • pp.120-123
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    • 2005
  • 본 논문에서는 무선 홈 네트워크에 사용될 홈 내 무선 LAN(Local Area Network)용 안테나에 대해 연구하였다. 홈 내의 천장 부근에 안테나를 설치할 경우, 전파의 외부 노출을 피하고 최소한의 전력이 각 홈 별로 공급되어야하며, 각 홈 내에서의 전파를 홈 내 위치마다 균등하게 분배되어야 한다. 이를 위하여 모노폴 안테나와 다이폴 안테나 및 마이크로스트립 패치 안테나를 무선랜 주파수 2.4GHz를 중심으로 설계 제작하여 그 특성들을 고찰하였다. 그 결과 브로드사이드 방향으로 최대 또는 null 지점 발생, 좁은 빔폭 등 무선랜용 안테나로 사용하기 적합하지 않았다. 따라서, 구조적 변형 등을 통한 방사 빔의 개선 연구가 필요하다.

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Theory Refinement using Hidden Nodes Connected from Relevant Input Nodes in Knowledge-based Artificial Neural Network (지식기반인공신경망에서 관련있는 입력노드만 연계된 은닉노드를 이용한 여역이론정련화)

  • Shim, Dong-Hee
    • The Transactions of the Korea Information Processing Society
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    • v.4 no.11
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    • pp.2780-2785
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    • 1997
  • Although KBANN(knowledge-based artificial neural network) has been shown to be more effective than other machine learning algorithms, KBANN doesn't have the theory refinement capability because the topology of the network can't be altered dynamically. Although TopGen algorithm was proposed to extend the ability of KABNN in this respect, it also had some defects due to the connection of hidden nodes from all input nodes and the use of beam search. An algorithm, which could solve this TopGen's defects by adding the hidden nodes connected from only related input nodes and using hill-climbing search with backtracking, is proposed.

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Holosymmetric 4-Mirror Optical System(Unit Maginification) for Deep Ultraviolet Lithography Obtained from the Exact Solution of All Zero Third Order Aberrations (모든 3차 수차를 제거하여 얻은 극자외선 Lithography용 4-반사경 Holosymmetric System(배율=1))

  • 조영민
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.4 no.3
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    • pp.252-259
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    • 1993
  • A holosymmetric four-mirror system with unit magnification is designed for use in the micro-lithography using a deep ultraviolet wavelength of $0.248 {\mu}m$(KrF excimer laser line). In the holosymmetric system all orders of coma and distortion are zero. By applying this principle to the 4-spherical mirror system, we have obtained only one exact solution for the unit magnification holosymmetric four-spherical mirror system with all zero third order aberrations. For correction of the residual higher order aberrations of the system, aspherization is introduced keeping the holosymmetric properties. We have obtained near diffraction-limited performance for the wavelength of 0.248 pm within N.A. of 0.33 and image field diameter of 7.6 mm.

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ICP소스를 이용한 FIB용 가스 이온원 개발

  • Lee, Seung-Hun;Yun, Seong-Hwan;Gang, Jae-Uk;Kim, Do-Geun;Kim, Jong-Guk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.99-99
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    • 2010
  • 최근 집속이온빔을 이용한 미세회로 교정, MEMS 공정 및 이온 도핑 등에 대한 연구개발이 활발히 이루어지고 있다. 기존에 널리 사용되었던 액체 금속 이온 소스의 경우 비교적 큰 angular divergence 및 Ga 이온 소스에 의한 오염이 문제시 되고 있어 이를 대체할 수 있는 가스 이온 소스에 대한 연구를 진행하였다. 본 연구에서 사용된 가스 이온 소스는 2 turn 안테나(1/4 inch Cu tube)가 감긴 반경 4 cm 석영관 내부에 Ar 가스를 주입 후 RF(13.56MHz)-ICP 타입 방전을 이용하였다. 운전 압력은 $10^{-5}\;Torr$ 범위이며 인가된 RF 전력은 최대 150 W이다. 석영관 내 발생된 플라즈마로부터 Ar 이온을 인출하기 위해 2단 인출 전극 구조가 사용되었으며 상단 전극에 고전압이 인가되고 하단 전극이 접지되는 형태이다. 2단 인출 전극의 최대 인출 전압은 10 kV, 상단 및 하단 전극의 구멍 크기는 각각 0.3 mm, 2 mm이다. 이온빔의 퍼짐을 최소화하기 위해 전극 간 공간 내 이온 거동 전산모사를 통해 전극 구조를 설계하였으며 이를 통해 최대 $30\;mA/cm^2$의 이온 전류 밀도 값을 얻을 수 있었다.

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초고진공 Schottky Emitter 전자총의 개발

  • Jo, Bok-Rae;An, Jong-Rok;Sin, Jung-Gi;Bae, Mun-Seop;Kim, Ju-Hwang;Jo, Yang-Gu;Lee, Deuk-Jin
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.105.1-105.1
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    • 2013
  • Schottky Emitter (SE)는 미국 FEI의 L. W. Swanson 그룹이 개발하여 상용화시킨 전자원이며, 고분해능 전자현미경용 전자원 시장에서 가장 큰 점유율을 차지하고 있다. 상온에서 작동하는 cold field emitter (CFE)에 비해 휘도(brightness)가 10~100배 정도 낮으나, 10-10 Torr 영역의 초고진공에서도 수시간 미만의 방출전류 안정성을 가진 CFE에 비해 수개월이상 안정된 방출전류를 전자현미경에 제공하므로, 반도체 측정, 검사 등과 같이 고분해능과 안정성이 동시에 요구되는 분야에서는 SE전자원은 필수 요소가 되어있다. 현재 SE 전자원은 일본, 미국, 영국의 4개사가 과점하고 있는 상태이다. SE 전자원이 안정되게 작동하기 위해서는 10~10 Torr 영역의 초고진공 환경이 요구된다. 한국 전자현미경 업체는 국책과제 등을 통해 SE 전자총을 개발해 왔으나, 진공기술과 광학계 설계기술이 부족하여 안정된 SE 전자총의 개발에 성공하지 못하였다. 본 발표에서는 10~10 Torr 영역에서 200 microA 이상의 전류를 안정되게 방출하는 SE 전자총의 전자빔 방출 및 진공특성을 보고한다. 시뮬레이션을 통해 구한 전차총의 전자원 위치 변화, 건렌즈 초점거리, 수차 등의 광학특성을 보여준다. 전자총을 전자현미경 경통에 탑재하고 제어하기 위해서는 전자총뿐만 아니라 전자현미경 전체의 광학특성을 이해할 필요가 있다. 전자총을 현미경에 통합 제어하기 위한 기술과제에 대해서도 간략히 보고한다.

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Bed Change Monitoring for Downstream of Gangjeong-Goryeong Weir (강정고령보 하류 하상변동 모니터링)

  • Ko, Joo Suk;Kwak, Sunghyun;Cho, Hanil;Lyu, Siwan
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2015.05a
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    • pp.369-373
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    • 2015
  • 본 연구에서는 낙동강 강정고령보에서 달성보 구간에 대한 지속적 지형조사를 통해 다기능보 건설 및 운영으로 인한 하천지형의 변화양상과 정도를 파악하고자 하였다. 이를 위하여 4대강살리기사업 이전의 측량성과(낙동강하천기본계획, 2009년)를 기준으로 보 건설 및 하도정비 이후인 2013년과 2015년에 실측한 지형자료와 비교하였다. 2013년과 2015년 지형자료 취득은 대상구간(강정고령보~달성보: 23 km) 내 하도와 홍수터에 대해 각각 단일 및 다중빔 음향측심기와RTK-GPS 등의 측량장비를 이용하여 40 m 이상의 평면공간해상도를 가지도록 수행하였다. 대상구간 내 하천기본계획 지정 횡단측선에 대해 2013년과 2015년 지형정보를 비교함으로써 보 건설 및 하도정비로 인한 지형변화양상과 정도를 파악하고자 하였다. 특정 측선에서의 횡단지형자료인 2009년 측량성과와 비교하여 2013년과 2015년 실측자료는 전체 대상구간에 대한 3차원 공간정보를 제공함으로써 이들 간의 정성, 정량적 비교를 통하여 보 건설 및 운영을 통한 하도내 국부적 지형변화의 정도와 양상을 파악할 수 있었다. 이를 통해 하천의 지형학적, 수리학적 특성뿐만 아니라 보 건설 및 하도정비 등의 물리적 여건변화에 따른 특정 하천구간에 대한 시 공간적 지형변화특성을 파악할 수 있었으며, 이는 향후 하천관리 및 설계를 위한 연구와 실무에 널리 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

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