• Title/Summary/Keyword: 부품가공

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전자선 가공(리소그라피)장비의 개발 현황

  • 조양구
    • Journal of the KSME
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    • v.44 no.12
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    • pp.45-50
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    • 2004
  • 이 글에서는 현재 반도체산업 및 전자부품산업 등에서 폭 넓게 사용하고 있는 전자선 가공장비의 역사 및 국내외 개발 현황에 관하여 소개하고자 한다.

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