• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.32.2-32.2
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• 2011

반도체 생산공정에서 CMP (Chemical-mechanical planarization) 공정은 우수한 전기전도성 재료인 Cu의 사용과 다층구조의 소자를 형성하기 위해서 도입되었으며, 최근 소자의 집적도가 증가함에 따라 CMP 공정 비중은 점점 높아지고 있다. Cu CMP 공정에서 연마제인 슬러리는 금속 표면과의 물리적 화학적 반응을 동시에 사용하여 표면을 연마하게 되며, 연마특성을 향상시키기 위해 산화제, 부식방지제, 분산제 및 다양한 계면활성제가 첨가된다. 하지만 슬러리는 Cu 표면을 평탄화하는 동시에 오염입자, 유기오염물, 스크레치, 표면부식 등을 발생시키며 결과적으로 소자의 결함을 야기시킨다. 특히 부식방지제로 사용되는 BTA (Benzotriazole)은 Cu CMP 공정 중 Cu-BTA 형태로 표면에 흡착되어 오염원으로 작용하며 입자오염을 증가시시고 건조공정에서 물반점 등의 표면 결함을 발생시킨다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 Cu 표면에서 식각과 부식반응을 최소화하며, 오염입자 제거 및 유기오염물을 효과적으로 제거하기 위한 Post-CMP 세정 공정과 세정액 개발이 요구된다. 본 연구에서는 오염입자 및 유기물 제거와 동시에 표면 거칠기와 부식현상을 제어할 수 있는 post Cu CMP 세정액을 개발 평가하였다. 오염입자 및 유기오염물을 제거하기 위해서 염기성 용액인 TMAH 사용하였으며, Cu 이온을 용해할 수 있는 Chelating agent와 표면 부식을 억제하는 부식 방지제를 사용하여 세정액을 합성하였다. 접촉각 측정과 FESEM(field Emission Scanning Electron Microscope) 분석을 통하여 CMP 공정에서 발생하는 유기오염물과 오염입자의 흡착과 제거를 확인하였으며 Cu 웨이퍼 세정 전후의 표면 거칠기의 변화와 식각량을 AFM(Atomic Force Microscope)과 4-point probe를 사용하여 각각 평가하였다. 또한 세정액 내에서의 연마입자의 zeta-potential을 측정 및 조절하여 세정력을 향상시켰다. 개발된 세정액과 Cu 표면에서의 화학반응 및 부식방지력은 potentiostat를 이용한 전기화학 분석법을 통해서 chelating agent와 부식방지제의 농도를 최적화 시켰다. 개발된 세정액을 적용함으로써 Cu-BTA 형태의 유기오염물과 오염입자들이 효과적으로 제거됨을 확인하였다.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.31 no.1
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• pp.66-73
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• 2014

In this work, the current-voltage curves for stainless steel in the ethanolamine solution containing alkyl group were measured using the conventional three electrodes of cyclic voltammetry. Stainless steel as working electrode, Ag/AgCl electrode as reference electrode and Pt wire as counter electrode were used respectively. As a result, the C-V characteristics of stainless steel were to be for an irreversible process due to the oxidation current from cyclic voltammogram, using N-ethylethanolamine and N,N-dimethylethanolamine solutions. Effective diffusivity of corrosion inhibitors was decreased with increasing concentration. It was found from SEM images of the metal that the electrolyte (specific name ?)(0.5 N) as corrosion inhibitor was added into a N, N-diethylethanolamine solution ($1.0{\times}10^{-3}M$) containing copper and nickel, the corrosion inhibiting effect was enhanced.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1996.05c
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• pp.259-264
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• 1996

상용 Zircaloy-4보다 성능이 우수한 고연소도용 Zr 신합금을 개발하는 것을 목표로 외국에서 개발중인 12종의 신합금 피복관에 대한 특성평가, 부식기구 규명 연구, 국내에서 제조된 Zr 신합금의 특성평가를 실시하였다. 외국 피복관의 부식특성 평가로 부터 Sn을 0.6-1.0 wt.% 첨가하고 Nb을 0.4 wt.% 첨가하는 것이 내식성 관점에서 바람직함을 알 수 있었다. 여러 가지 LiOH용액에서의 부식기구 연구를 통해 수소화물이 부식가속의 원인임을 알 수 있었으며 수소화물 형성을 억제하는데는 Nb첨가가 효과적인 것으로 나타났다. 이와 같은 연구결과를 토대로 신합금의 개발방안을 수립하였으며 예비적으로 합금을 설계. 제조하여 특성시험을 실시한 결과, Zr-Sn-Nb-FeCr 합금이 우수한 내식성을 보이며 Fe, Mo는 강도 증가 효과가 큰 것으로 나타났다. 이러한 연구결과를 종합적으로 평가하여 신합금을 설계하고 노외성능 평가를 통해서 신합금을 선정한후, 단계적으로 하나로를 이용한 노내성능 평가를 실시할 예정이다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1995.05b
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• pp.591-596
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• 1995

핵융합로 제1벽재로서 주목받고 있는 저방사화 Cr-Mn-W계 오스테나이트 스테인리스강에 소량의 V을 첨가하고 그 기본 조성에 시그마상의 생성억제와 합금의 고온강도 향상에 효과가 있는 질소함량을 변화시켜 미세 조직 특성 및 부식 저항성에 미치는 영향을 살펴보았다. 질소함량의 변화에 의한 영향과 더불어 소둔열처리 온도의 영향도 살펴보았다. 부식저항성 평가를 위해서는 양극분극시험, 침지시험, Huey시험을 행하였으며, 기계적 성질 평가를 위해서는 경도시험 및 인장 시험을 행하였다 그 결과 질소량이 증가할수록 오스테나이트상이 안정화되어 그 양이 증가하며 고용강화에 의해 경도치도 함께 증가함을 알 수 있었다 경도치는 또한 소둔온도가 증가함에 의해 감소함을 알 수 있었다. 한편 소둔온도가 증가할수록 페라이트량이 증가함을 확인하였다. 부식저항성은 질소량이 증가할수록 소둔온도가 증가할수록 향상됨을 알 수 있었다.

• Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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• v.19 no.4
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• pp.320-328
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• 2007

The durability of marine concrete structures is severely degraded by corrosion due to seawater attack and diffusion of chloride in concrete. The deduction of durability causes high repair cost for maintenance of marine concrete structure. So, the applicability of high-durable materials is investigated to improve the durability in marine concrete structures. For these, the characteristics of corrosion prevention of marine concrete structures mixed with the mineral admixtures(SF, FA and BFS), the modified steel(stainless and coating steel), and corrosion inhibitors are evaluated using electro-chemical methods. As a results of this study, it is quantified for the effect of promotion of durability by high-durability materials in marine concrete structures.

• Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
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• 1998.10a
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• pp.229-232
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• 1998

Recently it has become general to use the inhibitor with a view to protecting corrosion of rebars in concrete. As the inhibitors used in construction works are almost made in America or Japan, we immediately need to begin home production of inhibitors. In this paper, to estimate the domestic anodic inhibitor of nitrite in comparison with foreign made inhibitor we made some fundamental experiments of setting time, slump and compressive strength. Besides, we analysed the effect of corrosion protection of inhibitor on the ground of corrosion current, resistance to chloride penetration and diffusion of chloride ingress in concrete.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1996.11b
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• pp.515-520
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• 1996

원자력 발전소 증기발생기의 1차측 및 2차측 응력부식균열에 대한 온도감소 효과를 고리 1호기의 현장 데이터를 근간으로 분석하였다. 고리 1호기의 경우 출력을 100%에서 85%로 감소시키므로써, 고온관 온도는 320.5$^{\circ}C$에서 313.5$^{\circ}C$로 7$^{\circ}C$ 감소하였으며, 이와 같은 온도감소 효과로 PWSCC 손상률은 약 40%, ODSCC 손상률은 약 33% 감소하는 것으로 산출되었다. PWSCC의 경우 Weibull 기울기는 b = 5.6 에서 b : 3.8로 감소한 것으로 나타났다. PWSCC의 억제방안으로는 출력감발에 의한 온도감소가 가장 효과적이지만, ODSCC의 경우에는 틈새 분위기의 변환이 큰 역할을 하는 것으로 나타났다.

• Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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• v.4 no.3
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• pp.243-249
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• 2016

The present work is for an evaluation of resistance to corrosion in steel coated with cementitious repair material, so that 3 cases of steel plate(Normal, Welding, Welding & coating case) are subjected to ICM(Impressed Current Method) for acceleration of corrosion for 7days. Tested and estimated corrosion ratio through Faraday's Law are compared, and the related flexural strength are evaluated. In Normal and Welding cases, similar level of corrosion ratio(70%) is evaluated, however only 17% level of corrosion ratio is evaluated in the Welding & coating case, which indicates that cementitious repair material is effective to anti-corrosion due to a block of chloride penetration. The flexural test results are consistent with those in accelerated corrosion test, which shows a significant flexural strength in Welding & coating case by 3.4times greater than the others. The cementitious material repair coating is evaluated to be effective to anti-corrosion in welding of steel plate.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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• v.23 no.4
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• pp.23-30
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• 2019

Fiber-Reinforced Cement Composite (FRCC) is known to be effective in mechanical effects such as cracking width control as well as steel anticorrosive effect. In this study, we examined about steel anticorrosive effect by using metal fibers including zinc fibers by accelerated corrosion test. Moreover, it was examined for salt penetration, sacrificial anode effect and formation of electric circuit that was significant effect on the steel anticorrosive effect. As a result, Steel anticorrosive effect was confirmed with mixed metal fibers on FRCC. Especially, In the case of zinc fibers with a high sacrificial anode effect, it was confirmed that the suppression of penetration and corrosion resistance were improved.

• Journal of Urban Science
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• v.7 no.1
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• pp.23-27
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• 2018

This research was carried out to investigate the corrosion prevention effect in the water distribution system by galvanized zinc-brass pipe which is using potential between brass and zinc. As a result of this study, pH and conductivity of influent were constant in spite of its installation, and it was difficult to estimate the effect of the installation with temporary increased and reduced concentration of Zn and Fe ions, respectively. However, since the corrosion rate of the steel coupon with galvanized zinc-brass pipe was relatively low, it has an effect of inhibiting corrosion.