• 한국정보통신학회논문지
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• 제16권11호
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• pp.2525-2531
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• 2012

반도체에 사용되는 금속 배선으로써 Al-Cu 합금은 낮은 저항과 제조 공정의 용이성으로 인해 CMOS제조 공정에 있어 수년간 사용되어 왔다. 그러나 금속은 근본적으로 부식에 취약하기 때문에 금속 배선 제조 공정에 있어 부식은 오랜 숙제로 남아 있다. 부식은 칩의 신뢰성 문제를 유발하기 때문에 이를 제어할 보다 효과적인 방법이 요구 되고 있다. 부식을 유발하는 다양한 항목 중에 금속 배선 식각 후 PR 스트립과 후속 세정 조건은 조절 가능한 파라미터이며, 또한 부식을 방지할 수 있는 마진을 향상할 수 있는 요소이다. 본 연구는 부식을 방지하기 위해 PR 스트립 공정 조건 및 후속 세정 조건을 최적화함으로써 금속 배선 식각 후 염소 잔유물과 플라즈마 charge up을 제거해야 함을 제안 하였다.

• 대한조선학회 특별논문집
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• 대한조선학회 2015년도 특별논문집
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• pp.46-49
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• 2015

Common Structural Rules (CSR) about bulk carriers and double-hull oil tankers of International Association of Classification Societies (IACS) has been applied to ships contracted for construction since April 2006. By unifying each society's rules, the difference of opinion in the between shipyard and ship owners, classification was reduced, and CSR has been evaluated by rules the safety structure more enhanced. However, The CSR about the bulk carriers and double hull oil tankers, important design content standards, such as the local scantling calculation, static/dynamic load case and corrosion margin and etc., are different. Therefore in order to combine the CSR, the Harmonized CSR for bulk carriers and double hull oil tankers (H-CSR) was issued on 1, January, 2014, and will be apply to ships contracted for construction after 1st July 2015. It is necessary to verify the H-CSR to optimize the structural arrangement because effective date is not far off. In this study, we compared the impact by rule change for the hull girder shear strength of bulk carriers between CSR and H-CSR in respect of the yielding and buckling strength.