• 제목/요약/키워드: 보조 이온빔

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브릴루앙 산란 실험을 이용한 이온빔 보조 증착법의 Cr 박막의 탄성특성 (Elastic properties of ion-assisted Cr films measured by brillouin light scattering)

  • 이석목;황보창권;최동철
    • 한국광학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.50-55
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    • 1995
  • Ar이온빔의 보조 증착법으로 soda-lime유리판에 증착한 Cr박막을 브릴루앙 산란 실험을 통하여 박막의 탄성특성을 조사하였다. 박막증착시 사용된 이온의 전류 밀도가 증가할 수록 박막의 탄성계수가 증가하였으며 박막의 탄성특성이 bulk의 특성에 근접하였다. $400\muA/cm^{2}$의 이온전류밀도의 이온빔의 보조 증착으로 제작된 Cr박막의 탄성계수는 $c_{11}=296, c_{13}=83, c_{33}=289$, 그리고 $c_{55}=c_{44}=108(\times10^9/N/m^{2}}$이 었으며 이는 bulk의 값들에 비해 5% 감소한 것이다.

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