한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

이온빔 보조증착에 의한 DLC 박막의 특성

  • 박형국 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 문종호 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 손영호 ((주)포스콘 기술본부) ;
  • 황도원 ((주)포스콘 기술본부)
  • 발행 : 1998.06.01
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