광/엑스선 복합간섭계를 이용한 나노미터 영역의 변위 측정 및 trnasducer의 비선형 교정 (Displacement measurement in nanometer region and calibration of transducers using combined optical and x-ray interferometer)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.515-518
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- 2005