• 제목/요약/키워드: 베이크 아웃

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잔류가스분석기를 활용한 베이크아웃 시험 종료조건 수립 검토 결과

  • 박성욱;서희준;조혁진;임성진;손은혜;문귀원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.103.1-103.1
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    • 2015
  • 위성체 개발에 있어서 지상에서 위성체의 부품에 대한 고온($85^{\circ}C$ 이상)과 고진공($5.0{\times}10-3Pa$ 이하)의 상태를 모사하여 오염물질을 제거하는 베이크아웃 시험이 필수적이다. 일반적으로 베이크아웃 시험의 종료여부는 TQCM (Thermoelectric Quartz Crystal Microbalance)을 이용한 탈기체(outgassing)의 흡착률을 측정하여 결정한다. 측정된 흡착률을 통해 시험 대상 표면에서 발생하는 탈기체량을 추정할 수 있으며, 결국 시험 대상의 우주 부품으로써의 적합성을 판단할 수 있다. TQCM을 적용하지 못하는 경우, 베이크아웃 시험 종료여부를 판단하기 위해 잔류가스분석기(Residual Gas Analyzer: RGA)를 활용하는 것을 고려하였다. 베이크아웃 시험 중 잔류가스분석기를 활용하여 시편에서 방출되는 오염물질을 측정하였으며, 그 중 측정량이 가장 많은 40-45 amu 범위의 측정값 추이를 관찰하여, 베이크아웃 시험 종료조건 수립 가능성을 검토하였다.

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조합펌프와 이온펌프의 초고진공 배기 성능 비교

  • 박종도;하태균;나동현;김세현;강건욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.120-120
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    • 2016
  • 가속기 진공시스템은 대형 초고진공장치로 운전 중 10-9 mbar 유지를 목표로 하고 있다. 이 같은 수준의 초고진공은 배기시스템을 적절히 설계하고 베이크아웃을 함으로서 얻을 수가 있다. 베이크아웃은 보통 1~3일 소요되므로 운전 중 빠른 복원을 힘들게 하는 원인중 하나이므로 최근에는 베이크아웃 하지 않도록 설계하는 추세이다. 이 연구에서는 네그펌프-이온펌프를 조합하여 설계하고 베이크아웃하지 않으면서 초고진공을 원하는 시간 내에 달성 하도록 목표로 하고 있다. 이 발표에서는 대형 이온펌프를 사용하고 베이크아웃하는 전통적인 방법과 조합펌프를 사용했을 때 진공배기를 비교 실험하여 그 결과를 보고하고자 한다.

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자동 베이크 아웃 시스템을 이용한 휘발성유기화합물 및 포름알데히드 저감효과 (Reduction Effect of VOCs and Formaldehyde Using Auto Bake-Out System)

  • 김형진;이갑수;조진규;이준범;노형래;윤홍수
    • 공업화학
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    • 제22권3호
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    • pp.291-295
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    • 2011
  • 초등학교의 신축된 실내체육관을 대상으로 자동 개폐장치를 이용하여 실내의 휘발성유기화합물 및 포름알데히드 농도 저감효과를 평가하기 위하여 5일간 베이크 아웃을 진행하였다. 베이크 아웃을 실시한 결과 베이크 아웃 실시 전의 농도에 비해 벤젠의 경우 38.2%, 톨루엔은 64.2%, 에틸벤젠은 86.3%, 자일렌은 80.2%, 스티렌은 71.5%의 저감률을 보였으며, 환경부의 신축공동주택의 실내공기질 기준치를 만족하는 것으로 나타났다. 총휘발성유기화합물의 저감률은 67.0%이었으며 포름알데히드의 경우 24.7%의 저감률을 보여 자동 개폐장치를 이용한 베이크 아웃이 실내오염물질을 제거하는 데 유용함을 확인하였으며, 자동 베이크 아웃 시스템을 이용할 경우 효과적인 베이크 아웃이 가능함을 확인하였다.

얇고 긴 알루미늄 진공용기의 진공 특성

  • 박종도;하태균;홍만수
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.135-135
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    • 2012
  • 차세대 가속기에 적용할 얇고 매우 긴 알루미늄 진공용기를 제작하고 그 진공특성을 조사하고 있다. 진공용기 내부단면의 크기는 4.8 mm, 두께 0.5 mm (${\pm}50u{\mu}m$), 길이 6,000 mm이며 정밀압출방법으로 제작하였다. 진공용기의 재료는 알루미늄합금 6063이며 베이크아웃하지 않고 $1{\times}10^{-7}$ mbar 이하의 평균진공도를 얻어야한다. 압출제작 직후, 박판 가공 후 진공특성(진공도 변화, 진공용기 변형, 견줌탈기체율, 압력분포)을 베이크아웃 유무에 대하여 조사하였으며 해석적으로 계산한 진공도분포도와 비교하였다.

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내벽에 게터를 장착한 진공용기의 도달진공도 측정

  • 양소희;박석준;박종도;하태균;김세현
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.139.2-139.2
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    • 2014
  • 방사광 가속기의 저장링 진공용기처럼 콘덕턴스가 배기성능을 좌우하는 진공용기에서는 Strip NEG를 사용하여 분산 배기를 함으로서 원하는 평균진공도를 확보할 수가 있다. 일부 연구소에서는 진공용기 자체를 게터로 코팅하여 사용하고 있으나 그 제작비용이 만만치가 않다. 이 연구에서는 쉽게 구할 수 있는 동전모양의 작은 게터를 진공용기 내부에 길이 방향으로 일렬로 배치하여 분산배기가 실제 가능한 지 평가하였다. 게터는 진공용기 자체를 $180^{\circ}C$ 이상 베이크아웃할 때 활성화되도록 하였다. 실험은 단면적 $13cm^2$, 3 m 길이의 압출형 알루미늄 진공용기로 베이크아웃 온도에 따른 진공도 변화를 측정하여 그 성능을 평가하여 보고하고자 한다.

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