HDP PECVD로 증착된 수소화된 나노결정립과 비정질 실리콘 박막의 전기적, 광학적 특성 (Electrical and optical properties of hydrogenated nano-crystalline and amorphous silicon thin films deposited by HDP PECVD)
-
- 한국재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
- /
- pp.41-41
- /
- 2003