• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.28-28
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• 2011

우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 이들 산업 분야에서는 우리나라가 세계 최고의 생산 기술을 가지고 있으므로 자체적인 기술 개발 확보가 중요하다. 최근에는 기존에 개발되어 있는 장비의 성능을 뛰어넘어야 하는 공정 기술력이 요구되면서, 진공 공정 기술 개발이 매우 중요한 이슈가 되었다. 반도체나 디스플레이 산업 등 기존 주력산업의 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서뿐 아니라 태양전지, LED 등 진공기술을 이용한 신성장 동력 산업의 생산 시스템 경쟁력 확보 측면에서도 진공 공정 기술 개발 중요성은 매우 크다. 지금까지 양산에 적용되는 증착, 식각, 확산 등 진공 공정 운영은, 사전 시험을 통해 얻은 최적 공정의 입력 파라미터들을 정해 놓고 그대로 공정을 진행한 뒤, 생산되어 나오는 제품의 상태를 사후 측정하여 공정 이상 여부를 점검하고 미세 조정하는 형태로 진행되고 있다. 실질적으로 현재 진행 중인 진공 공정에 대한 직접적인 정보가 없으므로 공정 중 발생되는 문제들에 대한 대처는 그 공정이 끝난 후에 이루어지는 상황이다. 공정 미세화 및 대구경화에 따라 기존의 wafer to wafer 제어 개념 보다 발전된 개념으로 센서 기반 실시간 공정 진단 제어 기술의 필요성이 대두되었으며 이를 위한 오류 인식 및 예지기술 (Fault Detection & Classification, FDC) 그리고 이 정보를 이용한 첨단 제어 기술(Advanced Process Control, APC)을 개발하는 노력들이 시작되었다. 한국표준과학연구원에서는 수요기업인 대기업과 장비업체, 센서 개발 중소기업 및 학교 연구소와 공동으로 진공 공정 실시간 측정 진단 제어와 관련된 연구를 하고 있다. 진공 공정 환경측정 기술, 플라즈마 상태 측정 기술, 진공 공정 중 발생하는 오염입자 측정 원천 기술 개발과 이를 구현하기 위한 센서 개발, 화학 증착 소스 및 진공 공정 부품용 소재에 대한 평가 플랫폼 구축, 배기 시스템 진단기술 개발 등 현재 진행되고 있는 기술 개발 내용과 동향을 소개한다. 진공 공정 실시간 측정 기술이 확보되면 차세대 반도체 제작에 필요한 정밀 공정 제어가 가능해지고, 공정 이상에 바로 대응 혹은 예방 할 수 있으며, 여유분으로 필요 이상으로 투입되던 자원(대기시간, 투입 재료, 대체용 장비)을 절감하는 등 생산성을 향상을 기대할 수 있다. 또한 진공 환경에서 이루어지는 박막 증착, 식각 공정 과정에 대한 이해가 높아지고, 공정을 개발하고 최적화하는데 유용한 정보를 제공할 수 있으므로, 기존 장비와 차별화된 경쟁력을 가진 고품위 진공 장비 및 부품 개발에 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.32 no.9
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• pp.862-869
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• 2010

Numerical analysis was done to evaluate the gas flow distribution in small scale SCR system which has $2.4{\times}2.4{\times}3.1\;m^3$ in volume and 25,300 Sm3/hr in flue gas flow capacity. Various types of baffles proposed for controlling the flow uniformity were evaluated by the CFD analysis to find the optimal geometry of the baffle in the SCR system. By installing baffles in the SCR system, the RMS (%) value was raised up to 6.2% compared with the baffle-uninstalled state. The effect of baffle thicknesses on the RMS (%) value was not shown within 0 and 8 mm in thickness, but the RMS (%) value was raised by 2.5% in 10 mm of baffles thickness, which causes the unstability in flow. By comparison between the shape of baffles, it is known that the lattice type baffle has better performance in controlling the flow uniformity than the circular truncated cone type baffle or mixer type baffle. RMS (%) values have more that 10% difference according to the shape of baffle type.

• Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
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• 2008.04a
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• pp.109-112
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• 2008

In this study, Assessment of bond property of HSC with the rate of Blust-furnace(0, 12, and 25 percent by weight cement) and Evaluation of the relationship of the compressive strength coefficient (${\beta}$) between compressive strength with 40${\sim}$120MPa were performed. Design and Test of Bond specimens were carried out based on the ASTM C-234. Test results are follows, most specimens showed that the splitting failure in all specimens, except for B-40 series which showed that the pull-out failure. For the B-40 Series, the relation of compressive strength versus bond stress has well converged that of the proposed equation with the variation(${\beta}$=2/3) in UCB/E.E.R.C-83. The crack strength of concrete in splitting was proportioned to the compressive strength of concrete, and was the highest on the contents of blast furnace slag to 12 percent by weight of cement in each series, except for B-60 series. In the relation of admixture replacement rate versus maximum bond stress, The maximum bond stress was the highest in 12 percent by weight of cement according to less than 40MPa, and was the highest in 25 percent by weight of cement according to 80MPa.

• Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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• v.22 no.6
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• pp.749-758
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• 2011

The present work explores the performance and operation limit of electrodialysis cell for HI concentration in sulfur iodine thermochemical hydrogen production process, For this purpose, the electrodialysis cell was assembled with Nafion 117 as a PEM membrane and two activated carbon papers as the electrodes. HIx solution was prepared with composition of HI: $I_2$: $H_2O$ = 1: 0.5~2.5: 5.2 in molar ratio. The cell and its peripheral apparatus were placed in the specially designed convective oven in order to uniformly maintain the operation temperature. As operation temperature increased, the amount of water transport from anode to cathode increased, thus reducing HI molarity in catholyte. Meanwhile, the current efficiency was constant as about 90 %, irrespective of temperature change. The cell voltage increased with initial $I_2$ mole ratio as well as anolyte to catholyte mole ratio. Moreover the cell voltage overshot took place within 10 h cell operation, which is due to the $I_2$ precipitation inside the cell. From the analysis of $I_2$ mole ratio in the anolyte, it is noted that operation limit (in $I_2$ mole ratio) of the electrodialysis cell, arising from was measured to be 3.2, which is much lower than bulk solubility limit of 4.7.

• Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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• v.25 no.7
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• pp.953-960
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• 2019

The Miller cycle is a diesel engine that has been developed in recent years that it can reduce NOx and improve fuel consumption by reducing the compression ratio through intake valve closing (IVC) time control. The Miller cycle can be divided into the early Miller method of closing the intake valve before the bottom dead center (BDC) and the late Miller method of closing the intake valve after the BDC. At low speeds, the late Miller method is advantageous as it can increase the volumetric efficiency; while at medium and high speeds, the early Miller method is advantageous because of the high internal temperature reduction effect due to the expansion of the intake air during the piston lowering from IVC to BDC. Therefore, in consideration of the ef ects of the early and late Miller methods, it is necessary to adopt the most suitable Miller method for the operating conditions. In this study, a two-stage turbo charge system was applied to four-stroke engines and the process of enhancing the Miller effect through a reduction of the intake and exhaust valve overlap as well as the valve change adjustment mechanism were considered. As a result, the ef ects of fuel consumption and Tmax reduction were confirmed by adopting the Miller cycle with a two-stage supercharge, a reduction of valve overlap, and an increase of suction valve lift.

• Journal of the korean Society of Automotive Engineers
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• v.9 no.3
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• pp.10-14
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• 1987

우리나라는 이제 그동안의 꾸준한 노력의 결과로 자동차 수출국으로 발돋움하고 있으며 이 분야 에서으 선진국과의 경쟁이 점점 치열해질 전망이다. 이러한 세계 시장에서의 경쟁 대열에서 탈 락되지 않기 위해서는 무엇보다도 제품 품질의 향상, 원가의 절감 등이 이루어져야 할 것이며 이 에 대한 노력을 게을리 해서는 안될 것이다. 한편 이와는 별도로 좀더 다른 각도에서 자동차 공업의 방향을 고찰할 필요가 있다. 즉 미래에도 계속해서 현재의 왕복동 내연기관이 자동차 구동용으로 사용될 것인가 하는 점이다. 엔진의 성능 향상, 연비의 감소, 엄격한 배기가스 규 제에의 대처 등에 대한 연구가 활발히 진행되고 있지만 기술개발에는 한계가 있으며 제품은 점점 복잡하게 되어 결국은 제품가격 및 A/S 비용이 상승되는 역효과를 나타낼 가능성이 높다. 이에 세계적인 자동차 제조회사에서는 오래전부터 새로운 방식의 미래형 자동차 engine 개발에 착수 하였으며 계속적인 연구를 진행하고 있다. 이러한 미래형 자동차 engine의 대표적인 것으로 gas turbine engine이 있다. 가스터어빈이라 하면 우선 항공기용의 jet engine을 생각하게 된다. 그 외에 발전용으로 가스터어빈은 이용되고 있으며 근래 다시 등장한 자동차용의turbocharger 역시 가스터어빈의 한 응용분야라고 할 수 있다. turbocharger의 경우는 내연기관의 출력향상을 주 목적으로 내연기관에 부착되어 이용되고 있는 반면에 gas turbine engine은 기존의 내연기관을 대체하여 자동차 구동용으로 이용되는 점에 그 차이가 있다. 아직은 실용화되징 않았지만 미래형 자동차 기관으로서의 이용가능성이 높은 gas turbine engine을 다음에 간략히 소개하고자 한다. 생산량과 하천수에 의한 생산량과의 비는 풍건물의 경우 0.6, 매물의 경우 0.5였으며 감자의 경우는 0.2이하였다. 4. 염분용수 관개구와 하천수 관개구의 모든작물에서 풍건물 생산량과 축배량 사이에는 강한 직선적인 관계를 보였다. 보리, 감자의 작물 생산량과 축배량사이에도 선형의 관계가 성립되었으나, 밀과 옥수수의 매물 생산량과 축배량사이에는 곡선적인 관계를 나타내었다..18cm)에 필적되는 연평균 4.16cm로 나타났다. 5. 전체 시험구로부터으 연평균 토양유실량은 Sharpsburg 점질양토에 대한 S.C.S 한계허용치 10ton/ha/year 이내로 나타났다. 비처리구에서의 토양유실량은 평균 2.56ton/ha/year로 높게 나타난 반면 3개의 서로 다른 추리구인 비수구, 초생수로구 및 Bromegrass구에서는 각각 0.152, 0.192 및 0.290ton/ha/year로 낮은 결과를 가져왔다. 6. 평균 침전량에 대한 L.S.D. 검정 걸과 전시험구중 비처리구가 고도의 유의차를 나타낸 반면 비수구, 초생수로구 및 Bromegrass 목초구 간에는 아무런 유의차가 인정되지 않았다. 7. 농지보전 처리구인 배수구와 초생수로구는 비처리구에 비해 낮은 침두 유출량과 낮은 토양유실량을 나타내었다.구보다 14% 절감되는 것으로 나타났다.작용하는 것으로 사료된다.된다.정량 분석한 결과이다. 시편의 조성은 33.6 at% U, 66.4 at% O의 결과를 얻었다. 산화물 핵연료의 표면 관찰 및 정량 분석 시험시 시편 표면을 전도성 물질로 증착시키지 않고, Silver Paint 에 시편을 접착하는 방법으로도 만족한 시험 결과를 얻을 수 있었다.째, 회복기 중에 일어나는 입자들의 유입은 자기폭풍의 지속시간을 연장시키는 경향을 보이며 큰

• Korean Journal of Poultry Science
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• v.20 no.3
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• pp.141-149
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• 1993

In order to develop a poultry manure dryer, a pilot dryer was designed and drying experiments were conducted to investigate the drying characteristics of poultry manure. According to the results, the pilot dryer could be operated without any air pollution problems. When poultry manure was dried from 79.2%(w.b. basis) moisture content, the final moisture content ranged from 38.7% to 57.9% depending upon the drying conditions. The drying results showed that drying rate was 189.8~198.0 kg/h and moisture evaporation rate was 124.0~125.4kg-$H_2$O/L. For this drying, electricity requirement was 9.5~19.3 Wh/kg and fuel consumption rate was 6.9~9.3 kg-$H_2$O/L with 50.2~65.1% thermal efficiency.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.11
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• pp.5376-5383
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• 2011

The objective of this study is the development of carbon-recycle technology, that converts carbon dioxide captured from flue gas to carbon monoxide or carbon for reuse in industrial fields. It is difficult to decompose $CO_2$ because $CO_2$ is very stable molecule. And then metal oxide was used as an activation agent or catalyst for the decomposition of $CO_2$ at low temperature. Metal oxides, which converts $CO_2$ to CO or C, were prepared using Ni-ferrite by solid state method and hydrothermal synthesis in this study. TPR/TPO and TGA were used as an analysis method to analyze the decomposition characteristics of $CO_2$. As the results, the reduction area of $H_2$ was high value at 15 wt% of NiO and the decomposition area of $CO_2$ was superior capacity at 5 wt% of NiO. However, TGA data showed contrary results that reduction area of $H_2$ was 28.47wt% and oxidation area by $CO_2$ was 26.95wt% at 2.5 wt% of NiO, one of the Ni-ferrite powders synthesized using solid state method. $CO_2$ decomposition efficiency was 94.66% and it is excellent results in comparison with previous studies.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.11
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• pp.5357-5364
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• 2011

The objective of this study is development of carbon recycle technology which convert carbon dioxide captured from flue gas to carbon monoxide or carbon and reuse in industrial fields. Since carbon dioxide is very stable and difficult to decompose, metal oxide was used as activation agent for the decomposition of carbon dioxide at low temperature. Metal oxides which convert $CO_2$ to CO or carbon were prepared using Ba-ferrite by solid and hydrothermal synthesis. TPR/TPO and TGA were used in this study. The results of TPR by H2 and TPO by $CO_2$ showed that Ba-ferrite powders synthesized by hydrothermal method were better than those by solid method. TGA showed contrary results that reduction of Ba-ferrite powders synthesized using solid method by $H_2$ was 21.96 wt%, oxidation by $CO_2$ was 21.24 wt% and 96.72 wt% of $CO_2$ decomposition efficiency showing excellent oxidation-reduction characteristics at $500^{\circ}C$.

• Journal of the Korean Society for Railway
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• v.10 no.5
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• pp.511-519
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• 2007

This study provides comprehensive design improvements covering technical issues concerning life safety matter In case of fire train stoppage in the middle of a tunnel. Recently Government announced that most of subway platforms will have screen doors in 3 years. Therefore, many fire safety engineers considered that they may contribute on life safety on train stoppage in tunnel. Especially The screen door can protect platform from smoke along tunnel ceiling when fire train stopped in tunnel. The study showed that platform ventilation ducts and the a tunnel ventilation chimney in the middle of tunnel in exiting subway tunnel could not guarantee life safety ability in terms of RSET vs. ASET comparison. Furthermore during evacuation process many peoples may be threatened from the smoke spread from the origin of fire. Although only additional vertical route can be installed in tunnels In order to decrease RSET, it will costs high or no spaces remains in outside on the road. The study suggested that increase of ASET can be best solution without additional escape route, therefore alternative design methods suggested on the base of simulation results. Finally the study shows alternative methods can give good result in terms of evacuation performance evaluation. The evacuation performance evaluation helps the decision-maker to determine the preferred alternatives or upgrades to existing tunnel infrastructure and other measure to meet safety objectives. Finally, the study details the effectiveness of measures the can be taken to reduce the risk of incidents in subway tunnels.