최근의 반도체/display 관련 생산장비 및 검사장비들이 대형화/고속화 되어감에 따라 과거 stepping 방식에서 scanning 방식으로 전환된 장비들이 공정 상에 발생하는 과도응답 형태의 진동으로 인하여 제품 수율의 저하와 생산 효율의 감소를 가져오고 있다. 이러한 과도응답의 진동은 장비 자체의 가진력으로부터 발생하므로 건물 구조의 동강성 증대 방안이나 고효율의 방진 시스템 적용으로는 한계를 가지고 있다. 본 논문에서는 smart 재료인 MR유체를 이용한 MR damper를 이용하여 방진효율을 유지하면서 과도응답의 진동을 제어하기 위한 반 능동제어 방식의 방진/제진 시스템을 구성하였으며, 시스템 해석과 제어 시스템의 구성을 위하여 6자유도 강체 진동에 대한 운동방정식을 고려하였다.
최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 외란과 내부 진동을 차단하는 방진 시스템에 대한 연구가 활성화 되고 있다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 기존의 레벨링밸브를 이용한 수동 방진 시스템을 분석하여 이를 개선하고 디스플레이장비용 능동 방진 시스템을 설계하였다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.
철도 및 도로교통에 의한 건축구조물의 진동, 소음을 저감시킬 수 없는 PO-MAT(Polyurethane Mat) 제품과 다양한 건축물의 진동, 소음이 전달되는 상황에 적용되어 방진효과를 정확하게 예측하는데 사용될 수 있는 설계안을 개발하였다. 개발된 제품은 다공질의 폴리우레탄 탄성체의 조직으로 도로 및 철도의 교통진동의 방진과 연구실, 기계실, 공조실 등의 Floating Floor System 및 건축기초의 내진용으로 사용되고, 실제구조물에 적용하여 진동저감과 충격흡수, 소음저감 효과가 탁월함을 확인하였다.
본 논문에서는 LED 조명 모듈의 소비전력 절감, 램프의 수명 및 열효율 과 점등 제어 효율성을 높인 다윗 스타 마방진 이용한 효율적인 LED 제어 알고리즘을 제안하다. 기존의 마방진 알고리즘 이용한 점등 방식은 LED의 점등 시간이 줄어들고 교차 점등되기 때문에 그만큼의 발열이 줄어들어 LED의 효율을 높일 수 있었으나 점등 제어를 하는데 한계를 가지고 있다. 제안하는 알고리즘을 적용할 경우에는 LED 조명 모듈의 소비전력 절감과 수명 및 열효율 높이는 동시에 LED의 점등 제어의 효율성을 높일 수 있다. 본 논문이 제안하는 알고리즘은 LED Matrix에 변형 마방진을 이용하여 12개의 구역으로 나누어 완전대칭 되는 패턴을 일정시간 간격으로 이동, 회전 및 반전 기법을 교차 수행하여 패턴을 점등을 하게 된다. 본 논문이 제안하는 알고리즘을 수행하여 기존의 마방진을 이용한 점등 방식과 비교한 결과, 조명의 광속과 소비전력 그리고 발열량의 효율성은 기존 마방진을 이용한 LED 점등방식과 동일하고 제어의 효율성을 높일 수 있었다.
도심지에 건설되는 철도역사, 선로구조물 등 철도시설물의 경우 소음 및 진동 저감 설계의 중요성이 더욱 커지고 있다. 특히 선하역사는 구조물 위에 선로가 놓이게 되므로 철도 진동과 이로 인한 2차 소음을 효과적으로 차단할 수 있는 진동 제어 대책이 더욱 필요한 상황이다. 수직형 방진장치는 열차 운행으로 인한 진동이 직접적으로 전달되는 선하역사 등 철도시설물의 진동 저감에 효과적으로 적용될 수 있으나, 수평형 장치에 비하여 개발이 미진한 상황이다. 이 논문에서는 열차에 의한 진동을 효과적으로 저감하기 위해 개발 중인 마찰쐐기형 방진장치를 소개하고, 동적성능 검증을 위한 시험 결과를 제시하였다. 개발된 방진장치의 성능 검증을 위하여 시제품을 적용한 콘크리트구조물에 대한 강제 가진시험을 수행하였으며, 시험결과를 통해 방진장치의 방진성능 및 동특성을 검증하고 방진장치 개선사항을 검토하였다.
이 글에서는 반도체 공장 미진동에 영향을 미치는 여러요인과 전파경로 그리고 방진대책에 대하여 소개하였다. 현재 국내에서는 극히 부분적으로 연구가 진행되고 있으나 대부분 실험실 차원에 머무르고 있는 실정이다. 앞으로는 현재 진행중인 국내의 반도체 공장건설 및 기기설치와 관련하여 현장 진동 data를 축적할 필요가 있으며 산업체와의 공동협조를 통해서 연구차원뿐만 아니라 현장 적용측면 까지 확대되어야 한다고 생각한다.
지금까지 대형 구조물에 널리 사용되고 있는 Base Isolator는 특히, 지진하중에 대하여 상부 구조물의 지반분리(base isolation)을 이용한 지진제어를 목적으로 하기 때문에 Seismic Isolator라 한다. 일반적으로 면진베어링에는 LRB(Laminated Rubber Bearing) 방식과 R-FBI(resilient-friction base isolator) 방식으로 크게 나눌 수 있다. LRB 방식은 가장 널리 사용되는 면진베어링으로써 방진고무를 주된 재료로 하고 수직강성을 보강하기 위하여 steel plate를 조합하여 제작하며, 초기강성 및 에너지 소산능력을 증가시키기 위하여 단면중앙에 납(lead plug)를 삽입하기도 한다. R-FBI 방식은 방진고무 적층판 내부에 미끄럼판을 가지고 있으므로 LRB 방식에 비하여 더 큰 수평변위를 발생시킬 수 있다. 이번에 설계 제작한 면진베어링은 LNG 저장탱크의 Seismic Isolation을 목적으로 적용대상의 사양에 맞추어 설계 제작하고 성능평가 시험을 수행하여 LNG 저장탱크, 원자로, 대형 건축물등 지진으로부터 보호되어야 하는 대형구조물의 방진재로 적용할 수 있는가를 평가하고자 한다. 본 논문에서는 제작된 면진베어링의 설계를 검증하고 방진고무(HDR)재료의 물리적 특성시험, 축소모델에 의한 정적, 동적시험을 통하여 시험방법을 소개하고 이러한 시험결과를 기초로 하여 면진베어리의 성능을 평가하였으며, 면진베어링의 온도변화, 외부 수직하중의 변화등에 따른 특성변화와 LNG 저장탱크와 면진베어링의 체결방법에 따른 시험으로 체결방법을 검증하였으며, 대상물의 사양에 적합한가를 고찰하였다.
현재 전 세계적으로 미세먼지가 확산되고 있는 가운데 미세먼지는 그 크기가 매우 작아 실내로 손쉽게 유입되어 실내 공기질을 저하시키기 때문에 가구 내 청정 유지 및 공기질 향상을 위해 반드시 해결해야 할 필수 과제이다. 미세먼지의 효과적인 차단 및 공기투과도와 분진포집율 확보를 위한 전기방사(Electrospinning) 기술에 대한 연구가 지속적으로 진행되고 있다. 본 연구에서는 방진망에 전기방사를 통해 PVDF 미세먼지 방진망을 제조하였으며, 제조된 방진망의 외부 환경 저항성 및 실내 공기질 개선 효율을 확인하기 위한 실험을 수행하였다. 이 방진망이 미세먼지를 효과적으로 차단하고, 미세먼지로 인해 발생하는 질병을 예방할 수 있는 실용적인 대안이 될 수 있음을 검증하였다.
It is very important to control the vibration transmitted from external utilities and the transient response due to the internal sources for the precision equipment, which is very sensitive to the vibration environment. The anti-vibration tables that use air springs have been widely used due to their excellent isolation performance, but the systems with high flexibility have the critical problem of large transient response by the impulsive force of the moving mass in operation of the equipment. In this paper, the hybrid vibration control system is proposed, which is combined the air springs with the semi-active MR dampers in order to satisfy the performances of isolation and vibration reduction simutaneously.
In the process of grinding a long slender type workpiece, such as ballscrew, by the external cylindrical grinding machine, the cylindricity of the workpiece depends on the distance of rests, the stiffness of supports, the diameter and material of workpiece. Conventionally the process needs to be supported by one or more rests to prevent static deflection and vibration. In this paper, the optimal position of the rests was investigated in order to minimize the cylindricity due to the static deflection, by taking compliance of the workpiece and structure into account. In order to obtain the optimal position of rests, a new modeling that is considering the spring effect of all support elements was established. Since it is so complicated to obtain the optimal position analytically for various conditions due to discontinuity, a genetic algorithm u as utilized.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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