• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
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• pp.51-54
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• 2003

반도체 산업의 발전에 따라 생산과정에서의 반도체 소자의 특성을 검사하고, 오류를 검출하는 작업을 효율성 있게 하여 생산성을 향상시키는 것이 더욱 중요시 되고 있다. 이러한 흐름에 맞추어 반도체 test장비에 VFCS(voltage forcing current sensing)와 CFVS(current forcing voltage sensing)를 test 할 수 있게 개발하였다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제39권5호
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• pp.507-515
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• 2015

본 연구는 5.5MW 증속기용 기계식 동력순환 시험 장비의 핵심 기능을 하는 토크 인가 장치의 개발 및 검증에 관한 것으로, 설계 및 해석이 수행되었다. 또한, 시험 장비의 각 부품에 대하여 회전각을 측정하여 비틀림 강성을 확인하였다. 시험체를 제외한 시험 장비에 토크를 인가하여 각 부품의 회전각을 측정한 결과 시험 장비의 비틀림 강성은 정방향에서 231.13 kNm/rad으로 나타났으며, 증속기 1대의 비틀림 강성이 1,064,400 kNm/rad보다 큰 경우 정격 토크를 인가할 수 있다. 따라서 시험 장비의 회전각 한계로 인하여 시험체 증속기의 비틀림 강성에 따라 정격 토크 인가 여부가 결정된다.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2002년도 추계학술발표논문집 (하)
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• pp.2395-2398
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• 2002

국내의 반도체산업의 비약적인 발전과 함께 반도체 장비의 국산화에 대한 시도가 점차로 확산되어 가고있다. 최근 일본의 수입장비에만 의존하던 웨이퍼 테이프 마운터 (Wafer Tape Mounter) 장비가 국산화됨으로써 원가절감에 크게 기여하였다. 본 논문에서는 국산 웨이퍼 테이프 마운터 장비의 동작을 제어하는 운영 소프트웨어에 대해서 기술한다. PLC 기반의 기존 외국 장비와는 달리 국산 장비는 PC 기반으로 동작함으로써, 제어 소프트웨어의 역할이 훨씬 커지게 되었고, 기능의 추가 변경이 용이한 점이 장점이다. 소프트웨어는 여러개의 장치 (모터 등)을 동시에 구동하기 위한 효과적인 멀티스레딩 구조를 갖는다. 우리의 조사에 따르면, PC기반 웨이퍼 테이프 마운터의 제어 소프트웨어에 대한 연구는 거의 발표된 적이 없었다.

• 한국경영과학회:학술대회논문집
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• 대한산업공학회/한국경영과학회 2000년도 춘계공동학술대회 논문집
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• pp.36-39
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• 2000

급변하는 소비자의 욕구를 만족시키고 이에 신속하게 대처하기 위해 Agile manufacturing 이나 Flexible manufacturing system에 관한 연구가 활발히 전개되어 왔다. 또한 최근에 급속한 컴퓨터 관련 하드웨어의 발달의 인해 시스템 내부에 사용되는 장비 제어를 PC based controller 로 바꾸려는 움직임이 일고있다. 이러한 PC based controller가 전용 컨트롤러의 모든 기능을 수행하기란 아직은 한계가 있으나 점차 그 사용이 보편화될 것이며, 더욱이 컴퓨터 하드웨어의 놀라운 기술 발전으로 인해 앞으로는 여러 대의 장비를 한 대의 컨트롤러로 제어할 수도 있을 것이다. 본 연구에서는 이러한 환경에 민첩하게 대응하기 위해서 우선 각 장비별로 컨트롤러와의 통신을 위한 message 를 종합하고 이를 체계적으로 분류하도록 하며, 이렇게 분류된 각 message 들이 PC 기반의 콘트롤러에 줄 수 있는 load 를 계산하는 방법을 제시한다. 본 연구를 통해 컨트롤로의 각 장비를 제어함에 있어서 걸리는 작업 부하를 수치적으로 계산해 냄으로써 앞으로 제어할 장비를 무리 없이 컨트롤하기 위한 최적의 컨트롤러를 구성하는데 도움이 될 것이다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.436-436
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• 2010

국내 반도체 시장은 세계 1위의 시장점유율을 가지고 있지만 핵심장비의 경우 국내 장비 기술의 낙후로 인해 대부분을 선진국에 의존하는 실정이다. 따라서 국내 장비 기술의 발전 요구에 따라 연구가 진행되었으며 기존 PE-CVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비에서의 하전입자에 의한 기판 손상 가능을 제거하고 개개의 반응 원소의 에너지와 플럭스를 조절하여 다양한 공정온도에서 증착을 구현할 수 있는 HNB-CVD(Hyperthermal Neutral Beam Chemical Vapor Deposition) 장비를 개발하였다. 고밀도 플라즈마 생성을 위한 마이크로웨이브 SLAN(Slot Antenna) 소스를 사용하였으며 대면적 공정에 적합하도록 설계하였다. 최적의 설계와 진단을 위한 마이크로웨이브 SLAN 소스내의 E-field 분포 시뮬레이션과 Langmuir Probe 진단이 이루어졌다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2002년도 하계학술발표회
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• pp.212-213
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• 2002

최근에 국내에서도 광학장비개발에 대한 관심이 급속도로 증가하고 있다. 광학장비개발기술의 핵심은 렌즈설계 능력에 달려있다고 해도 과언이 아니다. 더구나 현재 발전추세를 보면 소형 경량화 장비의 개발을 위해 다양한 수단과 방법을 동원하고 있는 실정이다. 특히 렌즈설계에 의한 소형 경량화 목표를 달성하기 위하여 비구면 렌즈 및 회절렌즈의 사용이 불가피하다고 할 수 있다. 본 논문에서는 장파장 적외선 영역에서의 비구면 및 회절면의 사용에 의한 렌즈 성능에 미치는 영향을 분석하여 보았다. (중략)

• 한국에너지공학회:학술대회논문집
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• 한국에너지공학회 2002년도 춘계 학술발표회 논문집
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• pp.97-105
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• 2002

최근 5년 사이의 급속한 정보통신의 발전과 전자소자의 고집적화, 소형화는 전자장비 내부의 열부하 증가를 초래하고 있다. 이에 효과적으로 열을 제거하는 기술개발 요구로 다양한 이상 열전달 시스템(two-phase systems)이 연구되고 있다. CPL(Capillary Pumped Loop) 기술은 1960년대 미국, 구소련에서 우주항공분야의 전자장비 온도제어 시스템으로 주로 통신위성 또는 우주선의 전자장비 냉각기술의 한 방법으로 사용되어 왔으며 NASA Lewis Research Center의 Stenger에 의해 처음 제안되었다.(중략)

• 정보와 통신
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• 제30권3호
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• pp.51-58
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• 2013

NFV는 다양한 종류의 전용 하드웨어 장비들로 구성된 현재의 네트워크 장비가 가지고 있는 한계인 기술의 발전과 새로운 응용 서비스 수용, 트래픽 변화 대응, 노후화 장비 교체 등에 대한 어려움을 해결하기 위하여 서버, 스토리지 및 스위치와 IT 가상화 기술을 이용하여 네트워크 기능을 구현하고자 하는 기술이다. 본고에서는 NFV 목적, SDN과의 관계, NFV 실현 시의 이점과 해결해야 할 사항들, 표준화 동향 그리고 유럽 CHANGE 프로젝트에서의 NFV 구현 사례 등에 대하여 알아본다.

• 제어로봇시스템학회지
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• 제4권4호
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• pp.41-44
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• 1998

이 글에서는 플라즈마 식각공정의 진행에 있어서 중요한 EPD제어기법과 파라미터 최적화에 대해 서술하였다. 또한 플라즈마 응용 식각장비의 발전경향과 다중체널 제어기의 개발에 대해서도 알아보았다. 현재의 연구는 기존의 장비를 이용하여 회로를 보다 미세화하고자 하는 연구와 새로운 장비의 개발을 통한 고집적화로 구분할 수 있다. 또한 제품의 가격 경쟁력을 위해서 웨이퍼의 대구경화가 일반적인 추세이다. 웨이퍼의 대구경화는 불균일도의 극복을 위해 새로운 제어와 보다 향상된 EPD기법을 필요로 한다. 따라서 기존의 제어기법을 향상시키려는 노력과 새로운 검출기법에 대한 연구도 지속적으로 진행되고 있다.

• 국방과기술
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• 12호통권142호
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• pp.22-33
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• 1990

금년 6월 3일부터 8일까지 영국 알더숏(Aldershot)에서 3백60여개의 영국 방산업체들의 열띤 참가속에 개최된 영국 육군 장비 전시회(BAEE '90)는 전 세계 84개국의 2만5천명을 상회하는 참관객들로 성황을 이루었다. 이번 전시회에서는 챌린저 1 주전차의 개량과 105미리 개량포, AS 90 자주포 등이 관심의 대상이었으며, 능동적 차량방어시스템과 기동장비들의 여러 개선사항들이 주목을 끌었다. 또한 영국 전자산업의 발전 동향도 알아볼수 있는 좋은 기회였다