• Title/Summary/Keyword: 반확산

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Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구

  • Gwon, Gu-Eun;Kim, Su-In;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.386-386
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    • 2013
  • 반도체 소자의 소형화, 고집적화로 박막의 다층화 및 선폭의 감소 등의 복잡한 제조 공정이 불가피하고, 따라서 공정 중 실리콘 웨이퍼와 금속 박막사이의 확산을 방지하기 위한 많은 연구가 이루어지고 있다. 하지만 현재까지의 연구는 확산방지막의 nano-mechanics 특성 분석에 대한 연구는 전무하다. 본 논문에서 tungsten (W)을 주 물질로, nitrogen (N)을 첨가한 확산방지막을 질소 유량을 2.5, 5, 7.5, 10 sccm으로 변화시켜가면서 rf magnetron sputter 방법으로 tungsten-nitride (W-N) 박막을 증착하였다. 박막의 기본 물성인 증착율, 비저항 및 결정학적 특성을 ${\beta}$-ray, 4-point probe, X-ray diffraction (XRD)를 이용하여 측정하였고, 측정결과 증착 중 질소 유량이 증가할수록 W-N 박막의 비저항은 증가하였고 반대로 증착율과 결정성은 감소하였다. 이는 기존의 연구 결과와 비교하여 일치한 결과로 증착된 박막이 신뢰성을 가짐을 확인하였다. 이후 가장 관심사인 nano-mechanics 특성은 nano-indenter를 이용하여 측정하였다. 측정 결과 시료는 증착 중 질소 유량이 2.5 sccm인 시료를 기준으로 5 sccm 포함된 박막에서 load force-depth 그래프가 급격히 변화하는 경향을 나타내었고, 표면강도(surface hardness)는 10.07 GPa에서 15.55 GPa로 증가하였다. 이후 질소 유량이 7.5 sccm과 10 sccm에서는 12.65 GPa와 12.77 GPa로 질소 유량이 5 sccm 포함된 박막보다 상대적으로 감소하였다. 이는 박막내 결정상으로 존재하는 질소와 비정질 상태로 존재하는 질소의 비율에 의한 것이고, 압축력에 기인하는 스트레스 증가로 판단된다.

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Performancs Analysis of Packet Padio Network in Multi-Carrier DS/FH Mobile Communication System (다중반송파 DS/FH 이동통신시스템에서 패킷무선망의 성능분석)

  • 신동재;박상규
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.25 no.11A
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    • pp.1620-1629
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    • 2000
  • 본 논문에서는 켑춰를 갖는 슬랏 ALOHA 방식을 이용한 패킷 무선망의 성능을 분석하였다. 접속을 획득하기 위해서 켑춰효과를 이용하고 트래픽은 포아슨 랜덤프로세서로 가정하였을며 공간트래픽밀도는 실제적인 이동통신환경을 나타내는 puncturing 종형분포로 가정하였다. 패킷은 접속을 획득하는 헤더부분과 데이터 정보가 들어있는 데이터 부분으로 나눈다헤더부분은 공통확산부호를 갖는 DS에 의해 확산되고 데이터부분은 간섭전력과재밍에 강하고 고속의 데이터 전송시 성능향상을 기대할 수 있는 MC DS/FH에 의해 확산된다. 이동통신채널은 도심 전파의 다중경로 채널에 대한 다양한 헤이딩 환경을 제공해 주는 나카가미 페이딩 채널을 가정하였다. 동일한 지연시간에 반송주파수수를 증가시킴에 따라 높은 co널 처리 용량을 얻었으며 FH를 MC/DS/CDMA에 사용함으로서 간섭전력의 변화가 심한 환경에서 시스템의 성능을 일정하게 유지시켰다. 또한 Hard-limiting 상관수신기를 사용함으로써 페이딩이 심한 환경에서 패킷 무선망의 성능을 개선시켰다.

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Study on the Preservation Technology and a Secret-Sign Technology (전자상거래에서의 보안 암호기술 연구)

  • Kim, Youn-Sang;Jung, Jin-Yong;Kim, Hyung-Suk;Shin, Jung-Gil;Choi, Sung
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2002.04b
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    • pp.983-986
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    • 2002
  • 본 논문은 인터넷과 통신매체의 확산과 더불어 최근에는 기업간, 기업과 정부간에 주로 정형적인 문서교환에 활용되던 초기의 EDI(Electronic Data Interchange)가 멀티미디어 정보교환이 가능한 인터넷의 보급, 확산과 함께 소비자를 대상으로 하는 전자상거래(EC : Electronic Commerce)로 급속히 확산되고 있으며, 이를 지원하기 위해 기업의 정보화 기반을 구현하는 ERP(Enterprise Resource Planning)도 요구되고 있다. 그러나, 전자상거래는 네트워크를 통하여 형성되므로 사용자들은 서로 만나지 않고 거래하게 된다. 이는 전자상거래의 장점이기도 하지만, 반대로 상호간의 신분에 대한 인증이 쉽지 않다는 단점이 된다. 본 논문에서는 이러한 위험을 방지하기 위한 보안기술 및 암호기술에 대해 연구하였다.

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Wind and Bathymetry Effects on the Fresh Water Plume Structures (담수 확산에 미치는 바람과 해저 지형의 영향)

  • Lee, Jungwoo;Yun, Sang-Leen;Oh, Hye-Ceol
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.36 no.10
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    • pp.698-703
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    • 2014
  • The structures of fresh water plume depending on estuarine geometries and wind directions (upwelling, onshore, downwelling, and offshore winds) were studied using the Regional Ocean Modeling System (ROMS). Four idealized estuaries, which are different in bathymetry, were considered. The results showed that the fresh water plume was restricted close to the shore line where a river was connected to the sloping shelf rather than the flat shelf due to the fast momentum exchanges from x, y to z momentums on the sloping shelf. Mild upwelling and offshore winds (${\mid}{\tau}_{\omega}{\mid}=0.01Pa$) enhanced stratification on the contrast to previous studies which showed that winds destroyed stratification by enhanced vertical mixing. However, downwelling and onshore winds had similar effects on the vertical structure of the fresh water plume as in previous studies enhancing vertical mixing. The plume was confined above the underneath submarine channel, thus the plume path was directly affected by the direction of the submarine channel on the shelf.

Stabilization Characteristics of DME-Air Diffusion Flames Depending on the Configuration of the Fuel-Air Tubes in Half Closed Combustion Spaces (반밀폐 연소공간 내 동축관 형상에 따른 DME-공기 확산화염의 안정화 특성)

  • Kim, Go-Tae;Kim, Nam-Il
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.33 no.11
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    • pp.916-923
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    • 2009
  • The effects of configuration of fuel and air tubes on the flame stabilization were experimentally investigated in half-closed combustors. Flame behaviors and stabilities of methane, propane, and DME flames were compared by changing tube diameters and the locations of the fuel and air tubes. It was found that flammability limits are significantly affected by the outlet boundary condition, which disturbs compositions of burned and unburned mixtures near the flame base. And it was found that there exist critical inner tube heights, over which flame stability is determined only by the fuel flow rate. Conclusively, flame stabilization is governed by the flame propagation velocity in an ordinary mixing flow and the non-uniform mixture concentration in the combustion space which is affected by flow recirculation and the combustor configuration. The compositions of $NO_x$ and CO were compared to know basic characteristics of methane, propane, and DME flames.

The North Korean Nuclear problem and disarmament of Outer Space (북한 핵문제와 우주군축)

  • Noh, Dong-Young
    • The Korean Journal of Air & Space Law and Policy
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    • v.32 no.2
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    • pp.219-246
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    • 2017
  • Nuclear issue is a good example showing globalization of the international regime. The history showed nuclear weapons may cause the extinction of human races when the first nuclear bombs fell down to Japan in August, 1945 and people became increasingly eager to achieve peace. Military buildup for national security is a matter of existence in the international society. However, disarmament or arms control to secure international peace and safety which is also the purpose of the Charter of the United Nations may be the most important task for us to realize peace of the mankind. Today, disarmament, together with amicable settlement of international conflicts and collective security system, is an important means to maintain and promote international peace and safety. It might be our permanent task to realize complete disarmament but, as the Preamble of the Treaty on the Non-Proliferation of Nuclear Weapons (NPT) expressed general and complete disarmament, the international society has clarified its effort for complete disarmament. Thus, taking a look into the international regime on the nuclear issue and progress related to the nuclear issue in North Korea, the study was intended to introduce the globalization of the nuclear issue, review the international effort for nuclear disarmament based on the concept of the 'common heritage of the mankind' and with respect to the United Nations Committee on the Peaceful Uses of Outer Space (COPUOS) and controls over nuclear weapons, and then evaluate the North Korean nuclear issue, which is in direct relation with South Korea and international laws, in terms of the space law and disarmament acts. The collective security system along with policies to prevent dissemination of nuclear weapons should also be emphasized and implemented to cope with the North Korean nuclear issue.

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Studies on the Measurement of Thermal Properties of Kochujang (고추장의 열(熱) 특성(特性) 측정(測定)에 관(關)한 연구(硏究))

  • Chun, Jae-Kun;Mok, Chul-Kyoon;Chang, Kyu-Seob
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.11 no.3
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    • pp.157-161
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    • 1979
  • The apparatus and method that permit rapid and continuous determination of thermal conductivity and diffusivity of Kochujang, Korean native semi-solid food, are presented. 1. The thermal conductivities of Kochujang are $0.3517\;kcal/mh^{\circ}C$ at $25^{\circ}C$, $0.3957\;kcal/mh^{\circ}C$ at $50^{\circ}C$ and $0.4221\;kcal/mh^{\circ}C$ at $100^{\circ}C$. Thermal diffusivity of Kochujang is $0.1000\;cm^2/min$ at $50^{\circ}C$, specific heat and density are $0.573\;kcal/kg^{\circ}C$, $1,220\;kg/m^3$, respectively. 2. There exists 6.04% discrepancy between the measured value and the calculated one from specific heat and density values.

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Microstructural refinement of hypereutectic Al-Si alloys for semi-solid state processing (반고상 성형을 위한 과공정 Al-Si 합금의 조직 미세화)

  • 김인준;김도향
    • Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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    • 1997.03a
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    • pp.94-97
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    • 1997
  • 금속을 반고상 상태에서 성형하기 위하여 미세조직학적 거동을 밝히기 위해, 본 연 구에서는 높은 비강도, 내마모성을 가진 과공정 Al-Si 합금을 반응고 가공하였을 때의 미세 조직과 상온 가공 후 반고상 온도로 일정시간 유지하였을 때의 미세조직을 관찰하였다. 일 반주조시의 개량 원소 P과 Sr을 첨가하였으며 쐐기형 주조재, 압연재, Si 입자강화 Alrl 복 합재료를 반고상 상태로 가열한 미세조직을 관찰하여 초정 Si입자의 형상 변화를 관찰하였 다. 반응고 교반시 초기에는 P과 Sr의 첨가에 의해 초정 Si입자가 미세화 되었으나 교반이 지속되어 가면서 이러한 경향은 감소하였으며 구상에 가까운 형태로 변화 하였는데, 이는 교반이 지속되면서 첨가 원소의 효과보다 교반 자체의 미세조직 변화 기구에의 의존도가 높 아지기 때문인 것으로 사료된다. 냉각속도를 달리한 쐐기 형상에서의 금형에서 주조된 미세 조직을 관찰한 결과 냉각속도가 느릴 때에만 첨가원소의 영향이 나타났으며, 반고상 온도 유지 후 초정 크기에는 큰 변화가 없었으나 $\alpha$-halo가 형성되고 미세한 Si입자가 생성되었 다. 이는 입자 크기의 성장에 따른 주위의 농도구배로 인해 생성된 것으로 사료된다. 압연시 첨가원소는 핵생성과 재결정을 촉진시켜 초정 Si의 크기를 크게 감소시켰다. 반용융 처리시 초정 Si입자는 약간 성장하였으며, $\alpha$-halo도 생성되었다. 압출한 시료를 반용융 처리한 경 우 Si입자의 형상 변화는 거의 없었으며, Si입자에 형성되어 있던 산화막이 기지와 초정 Si 압자간의 확산장벽으로 작용하여 $\alpha$-halo가 거의 생성되지 않았다. 반응고 교반시 미세조직 변화 기구로는 취성파괴, 합체, 마모를 제안하였으며, 각 공정에서의 초정 Si결정의 크기를 비교하였을 때 45$\mu\textrm{m}$ 이하의 분말을 섞어 압출하였을 때 가장 작은 초정 Si입자 크기를 얻음 을 볼 수 있었다.

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A Study on the Characteristics of the Circulation and Diffusion in Suyeong Bay (수관만의 해수유동과 확산지성에 관한 연구)

  • Kim, Young-seup;Han, Young-ho
    • Journal of the Korean Society of Fisheries and Ocean Technology
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    • v.18 no.2
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    • pp.55-61
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    • 1982
  • Simultaneous investigations for drift bottle and dye diffusion experiment were carried out in Suyeong bay. Seawater in Suyeong bay flowed differently in the vicinity of Suyeong river estuary and Nam-cheon Dong respectively. The speed of current did not exceed one knot in this bay. The dye patch moved to Kwangan beach in the dye diffusion experiment. The relationship between apparent diffusivity and diffusion time was appeared as Ka=0.0025t super(1.9). The variance was calculated to be 2.9 power of the diffusion time. And the exponent diffusivity versus the scale of diffusion time was appeared to be 1.3.

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Hypoxia Estimation of Coastal Bay through Estimation of Stratification Degree (성층강도 산정을 통한 내만의 Hypoxia 산정)

  • Jung, Woo-Sung;Lee, Won-Chan;Hong, Sok-Jin;Kim, Jin-Lee;Kim, Dong-Myung
    • Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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    • v.20 no.5
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    • pp.511-525
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    • 2014
  • Goal of this study is estimating of validity of calculated vertical diffusion coefficient for Masan bay is semi-enclosed bay by using eco-hydrodynamic model that is used to analysis of physical structure of coastal waters and calculates the vertical diffusion coefficient. physical structure of coastal waters is calculated by EFDC model, vertical diffusion coefficient calculated as the density gradient is bigger, the vertical diffusion coefficient as density gradient is increases, the vertical diffusion coefficient is decreased. Validity of vertical diffusion coefficient estimated by reproducibility of concentration of dissolved oxygen that calculated in ecosystem model is constructed by Stella program. The Results of model in 2008~2009 were $R^2$ value of 2008 is 0.529~0.700 and $R^2$ value is 0.542~0.791. This results were similar to observed data and simulated to hypoxia at that time. The 'vertical diffusion coefficient' represents stratification and physical stable of a water body, and will be useful for prediction of Hypoxia outbreak.