• Title/Summary/Keyword: 반응 안정성

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Characteristics of Molybdenum Nitride Diffusion Barrier for Copper Metallization (Cu 금속배선을 위한 Molybdenum Nitride 확산 방지막 특성)

  • Lee, Jeong-Yeop;Park, Jong-Wan
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.6
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    • pp.626-631
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    • 1996
  • Reactive dc magnetron sputtering 법을 이용하여 증착한 molybdenum mitride 박막의 Cu 확산 방지막 특성을 조사하였다. Cu 확산 방지막으로서 molybdenum nitride 박막의 열적안정성을 관찰하기 위하여 molybdenum nitride 박막 위에 Cu를 evaporation 법으로 증착하고 진공 열처리하였다. Cu/r-Mo2N/si 구조는 $600^{\circ}C$, 30분간 열처리 시까지 안정하였다. 확산 방지막의 파괴는 $650^{\circ}C$, 30분간 열처리 시부터 격자 확산(lattice diffusion)이나 입계(grain boundary)과 결함(defect)을 통한 확산에 의해 나타나기 시작하였고, 이 때 molybdenum silicide과 copper silicide의 형성에 기인된 것으로 생각되었다. 열처리 이후 Cu/r-Mo2N/Si 사이의 상호반응이 증가하였다. 이는 Rutherford backscattering spectrometry, Auger electron spectroscopy 그리고 Nomarski microscopy 등의 분석을 통해 조사되었다.

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The Study on Organic Hardners for Gelatin of Photographic Emulsion (사진유제용 Gelatin의 유기경화제에 관한 연구 (I))

  • 청진쑹
    • Journal of the Korean Graphic Arts Communication Society
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    • v.1 no.1
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    • pp.69-75
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    • 1983
  • Among the gelatin hardness for photographic emulsion, the formal dehyde , dialdehydes, n-Methylol compounds, ketonea, carbonylic acid and carbamic acid derivatives, and s-Triazine derivatives were studied. The greater purts of hardeners formed cross-link by the reaction with ${\varepsilon}$-Amino group in the lysine and OH group in the hydroxylysine. Glutaraldehyde produced most stable cross-link due to the formation of pyridinum ion. 2.5 hexanedione and 3-hexone-2.5-dione possible to use as the ketone hardner . The sodium salt of 2.4-dichloro-6-hydroxy-S-Triazine was newly developed as the olefinic hardners for emulsion.lsion.

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Some Reactor Kinetics Properties of the $250MW_th$ AMBIDEXTER Circulating Fuel Core (용융염 핵연료 원자로 AMBIDEXTER의 동특성 해석)

  • 김태규;윤정선;원성희;임현진;조재국;오세기
    • Proceedings of the Korea Society for Energy Engineering kosee Conference
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    • 1999.05a
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    • pp.119-126
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    • 1999
  • 농축우라늄 고체핵연료를 사용하는 기존의 발전용 원자로 개념에서는 냉각기능의 상실 또는 반응도 상실사고와 같은 극심한 열적 불균형에 의해 핵연료의 온도가 급격히 증가하고, 결과적으로 핵연료의 파손 및 용융으로 발전할 수 있다. 본 연구는 이러한 기존 발전로의 고유 안정성 문제를 획기적으로 해결할 수 있는 혁신형으로서 Th/$^{233}$ U 용융염핵연료주기를 사용하며 원자로계통 전체를 원자로용기에 내장하는 일체형 원자로개념의 AMBIDEXTER (Advanced Molten-salt Break-even Inherently-safe Dual-mission Experimental and TEst Reactor) 원자력 에너지시스템의 동특성을 해석하기 위해 수행되고 있다.(중략)

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열처리조건에 따른 백금담지 고분자촉매의 특성연구

  • 백승우;안도희;이한수;강희석;이성호;김광락;정흥석
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1997.05b
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    • pp.396-400
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    • 1997
  • 중수형 발전소에서 삼중수소 제거나 중수분리와 관련된 수소동위원소 교환반응에 이용되는 백금담지 고분자촉매제조시 환원과정 이전의 열처리 조건이 백금분산도에 미치는 영향을 관찰하였다. 고분자 담체(SDBC)에 함침법을 이용하여 백금을 담지시켰으며, 8$0^{\circ}C$의 공기중에서 그리고 15$0^{\circ}C$의 산소흐름하에서 열처리하여 제조한 Pt/SDBC촉매의 열적 안정성을 TGA와 BET 실험결과로부터 확인할 수 있었다. 백금담지량이 커지면 백금분산도가 감소하였으며, 가능한 한 고온의 산소로 열처리하면 고분자촉매의 백금분산도가 향상됨을 수소흡착 실험을 통하여 입증하였다.

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Stability of Gas Response Characteristics of IGZO (IGZO 박막의 CO2 가스 반응에 대한 안정성)

  • Oh, Teresa
    • Journal of the Semiconductor & Display Technology
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    • v.17 no.3
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    • pp.17-20
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    • 2018
  • IGZO thin films were prepared on n-type Si substrates to research the interface characteristics between IGZO and substrate. After the annealing processes, the depletion layer was formed at the interface to make a Schottky contact owing to the electron-hall fair recombination. The carrier density was decreased by the effect of depletion layer and the hall mobility decreased during the deposition processes. But the annealing effect of depletion layer increased the hall mobility because of the increment of potential barrier and the extension of depletion layer. It was confirmed that it is useful to observe the depletion effect and Schottky contact's properties by complementary using the Hall measurement and I-V measurement.

Quality Characteristics during Storage of Yackwa added with Ethanol Extract from Ulmus davidiana (저장기간 동안 유근피 에탄올 추출물 첨가 약과의 품질특성)

  • Sim, Ki Hyeon
    • The Korean Journal of Food And Nutrition
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    • v.28 no.3
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    • pp.446-457
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    • 2015
  • 최근 식품에 첨가하는 합성 항산화제가 생체효소의 활성을 억제하고, 암을 유발시키는 등의 안정성에 문제가 되는 것으로 보고되면서 천연 식물자원으로부터의 항산화 물질을 개발하고자 하는 연구가 활발하게 진행되고 있다. 느릅나무의 껍질인 유근피는 항산화 효과가 매우 우수한 것으로 보고되고 있어서, 천연 항산화제로 유근피 에탄올 추출물을 0, 0.05, 0.1, 0.2%로 약과에 첨가하여 합성 항산화제인 BHT와 천연 항산화제인 L-ascorbic acid를 0.02%로 첨가한 약과와 저장기간에 따른 품질특성과 지질산패 정도를 비교하였다. 유근피의 첨가량이 증가할수록 산패취와 경도는 감소하였고, 반면에 수분활성도, 팽화도, 관능평가 등은 증가하였다. 특히 유근피를 첨가함에 따라 약과의 명도가 감소한 것으로 나타났는데, 이는 약과의 메일라드 반응에 의한 갈색물질인 멜라노이딘류의 생성 때문으로 추정된다. 또한 약과의 저장 기간이 증가함에 따라서 경도, 색도, 산패취 등이 증가하였고, 반면에 수분활성도와 팽화도, 색, 맛, 조직감, 전반적인 기호도 등의 관능적 특성은 감소하였다. 유근피가 약과의 저장성에 미치는 영향을 살펴보기 위해서 산가와 과산화물가를 측정하여 실험한 결과, 유근피를 첨가한 약과는 첨가하지 않은 약과에 비해서 지질산화가 적게 일어나, 약과의 저장성을 증가시켜 주는 것으로 나타났다. 관능적인 특성을 비롯한 품질특성과 지질산패 정도를 평가한 결과, 유근피 추출물을 0.1% 첨가한 약과가 가장 좋을 것으로 평가되었다.

PEALD TaNx 박막 내 질소 함량 확산 방지 특성에 미치는 영향

  • Mun, Dae-Yong;Han, Dong-Seok;Sin, Sae-Yeong;Park, Jong-Wan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.179-179
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    • 2010
  • 다양한 분야에서 확산 방지막은 소자의 신뢰성 향상에 중요한 역할을 하고 있다. 최근 반도체에 적용되기 시작한 구리 배선 형성 공정에서도 실리콘이나 실리콘 산화막으로 구리가 확산하는 것을 방지하는 기술이 중요한 부분을 차지하고 있다. 기존 physical vapor deposition (PVD)법을 이용한 $TaN_x$ 확산 방지막 형성 기술이 성공적으로 적용되고 있으나 반도체의 최소선폭이 지속적으로 감소함에 따라 한계에 다다르고 있다. 20 nm 급과 그 이하의 구리 배선을 위해서는 5 nm 이하의 매우 얇고 높은 피복 단차율을 가진 확산 방지막 형성 기술이 요구된다. 또한, 요구 두께의 감소에 따라 더 우수한 확산 방지 특성이 요구된다. Atomic layer deposition (ALD)은 박막의 정교한 두께 조절이 가능하며 높은 종횡비를 가지는 구조에서도 균일한 박막 형성이 가능하다. 이번 연구에서는 다른 질소 함량을 가진 $TaN_x$ 박막을 Tertiarybutylimido tris (ethylamethlamino) tantalum (TBITEMAT) 전구체와 $H_2+N_2$ 반응성 플라즈마를 사용하여 plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD) 법으로 형성하였다. 박막 내질소 함량에 따라 $TaN_x$의 상 (phase)과 미세구조 변화가 관찰되었고, 이러한 물성의 변화는 확산 방지 특성에 영향을 주었다. TEM (Transmission electron microscopy)과 SEM (scanning electron microscope), XPS (x-ray photoelectron spectroscopy)를 통해 $TaN_x$의 물성을 분석하였고, 300 도에서 700 도까지 열처리 후 XRD (x-ray deffraction)와 I-V test를 통해 확산 방지막의 열적 안정성이 평가되었다. PEALD를 통해 24 nm 크기의 trench 기판 위에 약 4 nm의 $TaN_x$ 확산 방지막이 매우 균일하게 형성할 수 있었으며 향후 구리 배선에 효과적으로 적용될 것으로 예상된다.

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Evaluation on Decomposition Processes of Laundry wastewater produced from Steam Generator (증기발생기 세정폐액 처리 공정 평가)

  • 강덕원;이홍주;최영우;이두호
    • Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.78-82
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    • 2003
  • For the decomposition of laundry wastewater containing Fe-EDTA produced from the steam generators in nuclear power plants, Supercritical Water Oxidation (SCWO) Process, Photocatalytic Oxidation (PO) Process, and Dielectric Barrier Discharge (DBD) Atmospheric Pressure Plasma Process were evaluated. Even though EDTA was converted over 99.98 % by the SCWO process, it was estimated that the countermeasure against corrosion of the equipment should be reinforced for the process stability. It was considered that the PO process is not appropriate for the decomposition of high concentrated laundry wastewater since the conversion ratio of EDTA was around 10 %. Finally, High efficiency of the decomposition of organic matter (methylene blue) was obtained using DBD process even low energy was supplied. However there is still room for the evaluation of EDTA decomposition in order that the DBD process should be applied for the field samples.

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Synthesis and Characterization of New Thermotropic Liquid Crystalline Polyurethanes (새로운 형태의 액정폴리우레탄의 합성 및 특성)

  • Lee, Jong-Baek;Lee, Kwang-Hyun;Kang, Byung-Chul
    • Elastomers and Composites
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    • v.41 no.2
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    • pp.108-115
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    • 2006
  • A series of thermotropic polyurethanes containing biphenyl units was synthesized by polyaddition reaction of diisocyanates such as 2,6-tolylene diisocyanate, 2,5-tolylene diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 1,4-phenylene diisocyanate, and hexamethylene diisocyanate with 4,4'-Bis(9-hydroxynonoxy)biphenyl (BP9). 4,4'-bis(9-hydroxynonoxy)biphenyl exhibited a smectic type mesophase. Mesophase was found for all synthesized liquid crystalline polyurethanes except 1,4-PDI/BP9 based polyurethane. Structures of the monomer and the corresponding polymers were identified using FT-IR and $^1H-NMR$ spectroscopies. Their phase transition temperatures and thermal stability were also investigated by differential scanning calorimetry and optical polarizing microscopy.

Partial Nitrification of Wastewater with Strong N for Anaerobic Nitrogen Removal (혐기성 질소제거를 위한 고농도 질소폐수의 부분질산화)

  • Hwang, In-Su;Min, Kyung-Sok
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.28 no.4
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    • pp.414-420
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    • 2006
  • Effluent from an anaerobic digestion system with an elutriated phased treatment(ADEPT, Anaeorbic Digestion Elutriated Phase Treatment) for piggery waste treatment using anaerobic ammonium oxidation(ANAMMOX) process was used as a substrate of partial nitrification reactor. In mesophilic condition($35^{\circ}C$), controlling parameters of nitrite accumulation were HRT, pH, free ammonia(FA) and hydroxylamine rather than dissolved oxygen. Bicarbonate alkalinity consumption ratio including bicarbonate stripping and buffering was 8.78 g $Alk._{comsumed}/g\;NH_4-N_{converted}$. In steady state for 1 day of HRT and $2.7{\sim}4.4mg/L$ of DO, $NO_2-N/NH_4-N$ ratio of partial nitrification effluent was about $1{\sim}3$, which was applicable to ANAMMOX reactor influent for the combined partial nitrification-ANAMMOX process.