The microstructure and optical properties of $\textrm{TiO}_2$ thin film by rf magnetron reactive sputtering
(고주파 마그네트론 반응성 스퍼터링에 의해 제조한 $\textrm{TiO}_2$ 박막의 미세조직과 광학적 특성)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.7 no.1
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- pp.21-26
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- 1997