양면 코팅 시스템을 갖춘 대형 증착기에 의한 다층 반사방지막의 생산성 및 품질 향상 (Improvement of Production Efficiency and Coating Quality of Multi Antireflection Filter with a Large Coating System Containing Two faces Coating System)
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- 한국산학기술학회논문지
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- 제1권1호
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- pp.33-36
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- 2000