• Title/Summary/Keyword: 반사기

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열적 산화된 실리콘 나노구조의 표면 및 무반사 특성

  • Im, Jeong-U;Jeong, Gwan-Su;Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.316-316
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    • 2013
  • 실리콘(Si)은 이미지 센서, 포토검출기, 태양전지등 반도체 광전소자 분야에서 널리 사용되고 있는 대표적인 물질이다. 이러한 소자들은 광추출 또는 광흡수 효율을 향상시키는 것이 매우 중요하다. 그러나 Si의 높은 굴절율은 표면에서 30% 이상의 반사율을 발생시켜 소자의 성능을 저하시킨다. 따라서, 표면에서의 광학적 손실을 줄이기 위한 효과적인 무반사 코팅이 필요하다. 최근, 우수한 내구성과 광대역 파장 및 다방향성에서 무반사 특성을 보이는 서브파장 주기를 갖는 나노격자(subwavelength grating, SWG) 구조의 형성 및 제작에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 구조는 경사 굴절율 분포를 가지는 유효 매질을 형성시킴으로써 Fresnel 반사율을 감소시킬 수 있어 반도체 소자 표면에서의 광손실을 줄일 수 있다. 그러나, SWG나노구조는 식각에 의한 표면 결함(defects)들이 발생하게 된다. 이러한 결함은 표면에서의 재결합 손실을 발생시켜 소자의 성능을 크게 저하시킨다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 표면 보호막 및 무반사 코팅 층을 목적으로 하는 산화막을 표면에 형성시키기도 한다. 따라서 본 실험에서는 레이저간섭리소그라피 및 건식 식각을 이용하여 Si 기판에 SWG 나노구조를 형성하였고, 제작된 샘플 표면 위에 실리콘 산화막(SiOx)을 furnace를 이용하여 형성시켰다. 제작된 샘플들의 표면 및 식각 profile은 scanning electron microscope를 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR spectrophotometer 를 사용하여 빛의 입사각에 따른 반사율을 측정하였고, 표면 접촉각 측정 장비를 이용하여 표면 wettability를 조사하였다.

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마이크로파 대기압 플라즈마 공진기 제작 및 플라즈마 진단

  • Eom, In-Seop;Gwon, Yang-Won;Jeong, Tae-Hun;Choe, Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.193.1-193.1
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    • 2016
  • 본 연구에서 개발된 새로운 유형의 마이크로파 대기압 플라즈마 공진기는 전송선로 이론을 기반으로 하여 임피던스 값을 $50{\varphi}$으로 설계함으로써 장비 자체에 구조적인 매칭이 이루어지도록 구성하였다. 안정적인 마이크로파 대기압 플라즈마 발생을 위해 컴퓨터 시뮬레이션(HFSS, High Frequency Structural Simulator)을 이용하여 공진기의 반사계수, 공명주파수, 급전점 그리고 전기장을 계산하였다. 전송선로의 이론에서 구한 급전점과 실제 제작한 마이크로파 대기압 플라즈마 공진기의 급전점 값이 큰 차이가 없음을 확인하였다. 이를 바탕으로 제작한 공진기는 급전점 5.6 mm에서 공명주파수는 0.89 GHz, 반사계수는 -37.5 dB임을 측정하였고 신호가 입사되는 정도는 90 % 이상인 것을 확인하였다. 공진기에서 발생된 플라즈마는 6 W의 정도의 저 전력으로 발생되었으며 기체유량과 인가전력에 따른 플라즈마의 기체온도를 측정하고 광 방출 특성을 고찰하였다. 실제 제작한 마이크로파 대기압 플라즈마 발생장치는 생의학적 응용을 포함한 여러 넓은 분야에서 활용될 전망이다.

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Autonomous Navigation Controller of Differential Drive Mobile Robots in Unknown Environments (불확실한 환경에서의 차륜 구동 이동 로봇의 자율 주행 제어기)

  • Yoon, Do-Young;Oh, Sang-Rok;Park, Gwi-Tae;Kim, Hwang-Bae
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.07d
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    • pp.2417-2419
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    • 2003
  • 이동성에 nonholonomic 제약을 받는 차륜 구동 이동 로봇의 불확실한 환경에서의 자율 주행 제어기를 제안하였다. 전체 시스템은 on-line으로 지역경로 계획을 하는 planner 부분과 차륜 구동 이동 로봇의 nonholonomic 제약을 극복하면서 계획된 지역 경로를 충실히 추종하기 위한 제어기 부분의 두 부분으로 구성하였다. Planner는 빠른 응답을 생성하고, 전역적인 정보를 사용하지 않기 위하여 반사적인 제어 방식에 의한 경로 생성 방식을 채택하였고, 제어기 부분은 비선형 posture feedback stabilizer로 설계하였다. 제안된 시스템은 단순한 형태의 제어 방식으로 완전한 자율적인 판단에 의한 장애물 회피와 목표 지점으로의 수렴 능력을 보여 준다. 본 시스템의 단순하면서도 효과적인 자율주행 능력은 반사제어 방식의 장점과 feedback 제어기의 증명된 안정성에서 기인한다. 시뮬레이션과 자체 구현한 차륜 구동 이동 로봇인 "MARI"로 실제 환경에서의 실험을 실시하여 제안된 제어기의 유효성을 검증하였다.

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Interferometric Color Display Using Micromechanically Coupled Digital Mirror Arrays (기계적으로 연동된 디지털 미소거울을 이용한 광간섭형 컬러 디스플레이 구현)

  • Han, Won;Cho, Young-Ho
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.36 no.5
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    • pp.487-493
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    • 2012
  • We present interferometric modulators that reproduce RGB colors through the selective actuation of mechanically coupled mirror arrays having identical air gaps. The conventional transmittive interferometric modulators need additional backlights, which leads to high power consumption. The previous reflective interferometric modulators using ambient lights need three different air gaps for reproducing the three RGB colors, thus giving rise to process complexity. For process simplicity, we propose the use of reflective interferometric modulators that are capable of producing green, blue, red, and black colors with the aid of mechanically coupled mirrors with identical air gaps. In an experimental study, the present interferometric modulators reproduce green, blue, and red colors at the switching modes (000), (010), and (101). The spectrum peaks for the colors are measured at the wavelengths $511{\pm}5nm$, $478{\pm}3nm$, and $644{\pm}9nm$, respectively, with the bandwidths being $60{\pm}1nm$, $45{\pm}2nm$, and $105{\pm}4nm$, respectively; further, the maximum intensities of the colors are $77{\pm}5%$, $73{\pm}2%$, and $81{\pm}5%$, respectively. The black spectrum is measured below the intensity of $27{\pm}0%$. Thus, we experimentally demonstrate the color reproduction capability of interferometric modulators fabricated by using a simple process.

Design of An Orthomode Transducer for Use in Multi-Band Antenna Feeds (다중 대역 안테나 피드용 직교모드변환기 설계)

  • 황순미;김영민;이석곤;안병철
    • Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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    • 2001.11a
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    • pp.184-188
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    • 2001
  • 본 논문에서는 다중대역 피드를 위한 직교모드 변환기를 설계하였다. 직교모드 변환기의 전체적인 모양은 사각 테이퍼진 형태이고, 18-20 GHz 에서 우원 편파와 좌원편파를 발생시키기 위해 테이퍼 부분에 2개의 측면포트를 두고, 직선포트는 30-45 GHz의 광대역에서 -20dB 이하의 반사계수를 가지도록 설계하였다. 직선포트에서의 반사계수 특성을 향상시키기 위해서 측면포트에 얇은 격막을 삽입하였다. 전체적인 설계에 상용소프트웨어인 HFSS$^{R}$를 사용하였다.

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The Distribution and Scale of Book in the Reign of King Jeong-jo as "Kyujangjeonun" ([ "규장전운" ]을 통해서 본 정조조의 서적 반사와 그 규모)

  • Shin, Seung-Woon
    • Journal of Korean Library and Information Science Society
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    • v.35 no.4
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    • pp.293-316
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    • 2004
  • The best way of getting knowledge is reading in the Cho-sun dynasty, so getting books is the most interesting thing to the scholars. The most important way of getting books for scholars in Cho-sun dynasty is taking Bansabon published and given to scholars by government. but there is few data and few concrete studies of it. This study deals with the object and the scale of distribution of books on the basis of Bansagi ; king Jeong-jo published 『Kyujangjeonun』 distributed about 1,500 volumes to scholars and govermment agencies.

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Charactericstics of Glass-Ceramic having High Efficiency Diffuse Reflectance and Fabrication of Laser Cavity (MAS계 결정화유리를 이용한 레이저 여기용 공진기의 제작 및 특성분석)

  • Park, Yong-Bae;Byun, Woo-Bong;Kim, Yo-Hee
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2002.07c
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    • pp.1559-1561
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    • 2002
  • 적외선 확산반사형 결정화유리를 응용한 레이저 여기용 공진기를 제작하여 미세구조 분석 및 레이저 여기 효율특성을 조사하였다. 출발물질로는 Cordierite를 주결정상으로 하는 MAS(MgO, $Al_2O_3$, $SiO_2$) 3성분계 조성에 결정화 유도용 조핵제로 $TiO_2$를 첨가하였으며, 형성된 유리 용융물을 흑연제 몰드에 부어 공진기를 제조하였다. 용융물 중 일부를 2단계 열처리를 행하여 상분석을 실시한 결과 Cordierite($2MgO{\cdot}2Al_2O_3{\cdot}5SiO_2$)와 Rutile($TiO_2$)이 주결정상으로 관찰되었으며, 열처리 온도를 변화시켜 생성된 입자의 크기에 따른 확산반사율간의 관계를 조사한 결과, $1100{\sim}1200nm$에서 열처리된 시편의 경우 $500{\sim}2200nm$의 영역에서 95% 이상의 확산반사율을 나타내었다. 대표적인 고체레이저인 Nd:YAG의 경우, $700{\sim}900nm$ 파장이 주흡수대이며, 이를 결정화유리로 제조된 공진기의 레이저 효율특성실험에 이용하였다. 수냉 및 단일 펄스의 조건에서 $1.7{\sim}1.9%$의 효율을 나타내었다.

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A linearly polarized Nd:YAG laser with a coupled cavity utilizing thermally induced depolarization (열유도된 왜곡편광을 이용하는 결합공진기를 갖는 선형 편광된 Nd:YAG 레이저)

  • Kim, Hyun-Soo;Lee, Sung-Man;Ko, Do-Kyung;Moon, Hee-Jong;Im, Kwon;Cha, Byung-Heon;Lee, Jong-Min
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.08a
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    • pp.104-105
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    • 2000
  • 다이오드 레이저로 펌핑되는 Nd:YAG 매질에 형성된 열 복굴절은 레이저 출력과 빔질의 저하를 초래한다. 선편광된 레이저 출력을 얻기 위해서는 주로 공진기 내에 선형 편광자를 삽입하게 되는데, 레이저 매질에 형성된 열 복굴절에 의한 왜곡 편광된 레이저 빔이 편광자에 의해 반사되어 공진기 손실을 초래한다. 편광 왜곡에 의한 레이저 빔의 손실을 줄이거나 이중 초점을 제거하기 위해 주로 사용되어지는 광 소자는 Faraday 회전자, λ/4 판, 석영 회전자 등이 사용되어진다.$^{(1-5)}$ 90$^{\circ}$ 석영 회전자와 Faraday 회전자는 공진기 내에 두 개의 동일한 구조를 갖는 레이저를 이용할 경우 사용되고 λ/4 판 과 45$^{\circ}$ Faraday 회전자는 주로 단일 레이저 헤드의 복굴절 보상을 위해 사용되어진다. 45$^{\circ}$ Faraday 회전자는 이론적으로 완벽히 열복굴절에 의한 편광 왜곡을 보상한다. 그러나, 열복굴절을 완벽히 보상하기 위해서는 레이저 빔이 항상 레이저 매질의 같은 지점을 통과해야 한다. 실제적으로 레이저 매질에서는 열에 의한 열 렌즈 효과가 있기 때문에 레이저 빔이 항상 같은 지점을 통과하지 않게 된다. 이런 문제를 해결하기 위해 공진기 내에 열 렌즈 효과를 보상하기 위한 렌즈를 삽입하거나 레이저 헤드를 공진기 거울 가까이 설치하여야 한다. Faraday 회전자는 길이가 길기 때문에 레이저 헤드를 공진기 거울 가까이 설치하기는 어렵고 항상 열 렌즈 효과를 보상해주는 광학 소자가 있어야 하는 단점이 있다. 반면 λ/4 판은 완벽한 편광 왜곡을 보상해주지 않아 레이저 손실을 초래하지만 두께가 얇아 레이저 헤드와 공진기 거울을 근접해서 설치할 수 있어서 몇몇 연구자에 의해 연구되어 졌다.$^{(3)}$ 본 연구에서는 λ/4 판을 이용하고 편광기에서 반사된 빔을 공진기에 되반사 시키는 구조를 사용하여 선 편광된 레이저의 출력과 빔의 질을 개선 시켰다. (중략)

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Quality Control for Improvement of Accuracy of Radar data in ImJin (임진강 레이더 관측자료 정확도 향상을 위한 QC)

  • Hyun, Myung-Suk;Kim, Yang-Su;Kim, Kyung-Eak
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2007.05a
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    • pp.1963-1966
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    • 2007
  • 본 연구에서는 기존의 IIR 필터가 아닌 장기간의 누적 반사도자료를 활용하여 실제 레이더 반사도의 감쇄정도를 정량적으로 파악하고 차폐지역 후면의 반사도를 보정하여 강우산정시 기초자료인 반사도 자료처리에서 개선된 품질관리기법을 적용하여 그 결과를 분석해보고자 하였다. 개발된 품질관리기법을 적용한 사례분석 결과, 기 IIR필터에 의한 지형에코제거에 비해 강수에코의 제거현상 등의 오차발생이 줄어들고 차폐보정으로 반사도 강도도 향상되었다. 실제 C밴드에 비해 감쇄의 영향이 적은 광덕산 S밴드 레이더와 비교한 결과에서도 차폐보정을 통하여 완전차폐를 제외한 부분차폐지역의 경우 상당히 개선된 결과를 보여주었다.

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