• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.12a
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• pp.169-176
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• 2003

Telematic and new programming technologies support the increasing demand of education and training leading to the delivery of computer based learining systems open to distance and continuing education. Using LabVIEW, we designed and implemented an interactive learning environment for practice on electronics measurement methodologies. The environment provides remote access to real and simulated instrumentation and guided experiments on basic circuits. The environment is applied to the education and training on electronics for engineers in the field of semiconductor industry.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.12a
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• pp.177-181
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• 2003

This paper presents a 3-axis fine positioning stage. All the procedure concerning the design and fabrication of the stage are described. The stage considered here is composed of flexure hinges, piezoelectric actuators and their peripherals. A special flexure hinge is adopted to be able to actuate the single stage in three axes at the same time. A ball contact mechanism is introduced into the piezoelectric actuator to avoid the cross talk among the axes. The final design is obtained with the theoretical analysis on the stage. An actual fine stage is developed and the design specifications are verified through an experiment.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.12a
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• pp.200-206
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• 2003

Identification method is formulated to evaluate the dynamic characteristics of air bearings under NFR (Near Field Recording) sliders. Using dynamic analysis, impulse responses and frequency response functions of NFR sliders are obtained on numerical non-linear models including rigid motion of slider and fluid motion of air bearing under the slider. System parameters are identified by modal analysis method and instrumental variable method. The identified system parameters of sliders are utilized to evaluate the dynamic characteristics of air bearings.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.12a
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• pp.7-11
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• 2003

집적회로에서 발생되는 열은 회로의 불안정한 동작을 야기하여 시스템의 기능을 저하시키므로 동작중인 집적회로를 일정온도 이하로 유지 할 수 있는 장치가 요구된다. 현재 사용되는 방열 시스템은 대부분이 크기가 큰 공냉식이며 Heat sink의 크기로 인해 수냉식의 방열 시스템 역시 그 크기가 칩의 크기보다 매우 크다. 본 논문에서는 드라이 필름 레지스터를 사용하여 짧은 제작 기간과 적은 비용으로 Master를 제작하였다. 이 Master를 사용한 Replication 공정을 이용하여 칩의 패키지내에 삽입될 수 있는 Polymer Heat Exchanger를 제작하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.185-190
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• 2004

현장 용접 실무자의 경우 익숙한 업무라 하더라도 때로는 시행착오를 겪을 수 있고, 또는 익숙한 용접 작업을 벗어나 새로운 조건으로 용접을 수행해야 하는 경우도 있다. 이 경우 복잡한 용접 기준과 방법을 전산 정보화 하여 마른 시간에 가장 적합한 용접 방법과 용접 조건을 제공해 줄 수 있다면 현장작업의 합리화에 기여 할 수 있을 것이다. 본 연구에서는 이러한 시도로서 연강용접에 국한하여 용접 조건 설정에 관한 전문가의 지식을 전산 정보화 하여 현장 용접 실무자가 쉽게 새로운 용접 조건을 찾는데 도움을 주는 지적 결정 시스템을 구축하고자 하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.202-206
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• 2004

본 연구에서는 고밀도로 백색 발광다이오드를 웨이퍼 상에 제작하기 위한 제조공정에 필요한 포토마스크를 제작하는 연구를 수행하였다. 발광다이오드 한 개의 패턴을 웨이퍼상에 연속적으로 배열하여 이를 병렬로 연결하는 금속배선을 고려하였다. AutoCAD의 DWG 파일로 캐드작업을 수행하여 이를 DXF 파일로 변환하였으며, 레이저빔으로 스켄하여 소다라임 유리판 위에 크롬을 식각함으로써 포토마스크를 제작하였다. 이는 기존에 제작된 개별칩 형태의 발광다이오드 제작공정을 집적공정화함으로써 웨이퍼상에서 전면 발광하는 조명광원의 구조를 갖는다. 또한 이를 활용하여 백색 발광다이오드 집적칩을 제작하려 한다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.240-243
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• 2004

Bias인가된 Hot filament CVD방법을 이용해 Ni을 RF sputtering법으로 고속도강에 피복하여 중간층으로 한후 다이아몬드 박막을 피복할 때 기판온도. Bias인가효과 및 계면층의 특성을 조사하였다. 증착시 Bias인가 할 경우 필라멘트에서 전자방출이 촉진되어 다이아몬드 핵생성과 성장을 촉진하였으며 본 실험에서 최적조건은 증착압력 20~40 torr, Bias인가전압 200V, 기판온도 $700^{\circ}C$로 나타났으며 강에의 다이아몬드 박막 형성시 Ni은 중간층으로써 적합한 원소로 나타났다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.263-267
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• 2004

This study presents the combined effect of electric field application and mechanical compressive stress loading on deformation in a multilayer ceramic actuator, designed with stacking 0.2($PbMn_{1/3}Nb_{2/3}O_{3}$)-0.8($PbZr_{0.475}Ti_{0.525}O_{3}$) ceramics and Ag-Pd electrode, alternately. The deformation behaviors were attributed to relative $180^{\circ}$domain, determined by pre-loaded compressive stress and electric field. The non-linearity of piezoelectricity and strain are dependent upon the young's modulus resulting from the domain reorientation.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.85-91
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• 2004

최근 MEMS 기술의 비약적인 발달로 인해 미세 가공 기술을 이용하여 높은 종횡비를 갖는 각종 전기소자나 엑츄에이터 들의 제작에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 금속 구조물을 형성하기 위해서 전해도금의 방식이 널리 쓰여지고 있는데, 이에 본 논문에서는 니켈 전해도금을 위한 장치를 제작하고, 온도, pH, 교반 및 전류밀도 등에 따른 영향을 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.108-111
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• 2004

본 논문은 He-Ne-Xe의 삼원가스를 사용하는 ac-PDP에서 어드레싱 시간을 줄이고 휘도를 높이기 위하여 기존의 ADS(Address Display period Separated) 구동 방식에서 어드레스 구간을 변형하였다. 즉, 어드레스 구간에 기존의 사각 파형 대신에 기울기 파형을 사용하여 그 영향을 고찰하였다. 또, 기울기파의 경사를 변화시키면서 그 때의 벽전하와 방전전류, 휘도, 효율을 측정하고 그 결과를 고찰하였다. 그 결과, 벽전하의 양이 25%, 휘도가 14%, 효율이 13% 증가하였고, 방전응답시간을 줄일 수 있었다.