Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

MEMS 응용을 위한 도금장치의 제작 및 특성 연구

  • 박봉남 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ;
  • 서화일 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ;
  • 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) ;
  • 김광선 (한국기술교육대학교 기계공학과)
  • Published : 2004.05.01
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Abstract

최근 MEMS 기술의 비약적인 발달로 인해 미세 가공 기술을 이용하여 높은 종횡비를 갖는 각종 전기소자나 엑츄에이터 들의 제작에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 금속 구조물을 형성하기 위해서 전해도금의 방식이 널리 쓰여지고 있는데, 이에 본 논문에서는 니켈 전해도금을 위한 장치를 제작하고, 온도, pH, 교반 및 전류밀도 등에 따른 영향을 조사하였다.

Keywords