• 전자공학회논문지SC
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• 제49권1호
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• pp.80-87
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• 2012

본 논문에서는 열상장비의 광 검출기에서 검출된 미약한 전기적 신호를 영상신호처리를 하기 위한 신호로 증폭을 해 주는 전단 증폭부의 성능 검사용 ATE(Automatic Test Equipment)를 개발하였다. 기존 ATE 장비는 주로 반도체 소자 양품검사 분야에서 활발히 개발되고 있었으나 최근에는 장비의 성능검사 분야에서도 연구되고 있다. 그러나 열상장비 성능검사 분야의 ATE 에 대한 연구는 다른 분야에 비해 미진하여 우리군의 핵심적인 감시 장비인 열상장비는 정비가 제한되었다. 이에 따라 본 논문에서는 새로운 열상장비 분야의 ATE 연구가 필요하여 전단증폭부 및 열상장비의 다른 회로카드의 범용적인 개발이 가능하도록 Matrix Relay를 개발하였다. 개발된 ATE로 전단증폭부의 증폭도를 측정한 결과 증폭 전압은 평균 2.71 Vpp로써 이론적인 분석 범위 내에 있음이 확인되어 개발된 ATE가 우수한 성능임이 검증되었다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
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• pp.993-999
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• 2007

반도체나 TFT-LCD등을 생산하는 정밀산업 공장구조물에는 진동에 민감한 수많은 정밀장비(검사 및 생산용 장비)가 청정실(Clean Room)에 설치되어 운용된다. 정밀장비는 정상운용을 위하여 주변에 각종 유틸리티 설비가 설치된다. 이러한 수많은 유틸리티 설비들과 그 밖의 많은 장비들로 인하여 공장 내 청정실에는 각종 수 많은 소음/진동원들이 산재해 있다. 이러한 소음/진동원으로 인하여 청정실 내에는 소음/진동의 환경을 저하시킨다. 이에, 본 연구에서는 정밀장비 주변에 설치 된 유틸리티의 가동으로 인하여 발생하는 진동으로 인하여 간헐적으로 정밀장비에 영향을 미치는 과도진동의 현상을 확인하고, 과도진동 현상에 대하여 정밀장비에서 제시한 진동허용규제치와 비교/평가하고, 진동허용규제치의 유효성에 대하여 확인하였다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제15권8호
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• pp.4815-4820
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• 2014

최근에 반도체 칩이 소형화, 대용량화, 고집적화가 되고 있어 그 정밀도 및 신뢰성의 확보를 위해 반도체 테스트 핸들러 장비에서 픽앤플레이스의 개발이 필요하다. 본 연구에서는 반도체 테스트 핸들러 픽커 검사장비 프레임에 대한 진동해석을 하여 고유진동수와 하모닉 반응의 특성을 연구하였다. 해석모델로서는 세 가지 모델로서 픽앤플레이스 장치가 위 가이드라인의 왼쪽에 있는 경우(Case 1), 가운데에 있는 경우(Case 2) 및 오른쪽에 있는 경우(Case 3)이다. 이 프레임 모델들에 대해서 6차 모드까지의 고유진동수 범위는 80Hz~500Hz가 된다. Harmonic Response 해석 결과, 프레임에 공진이 발생할 때, Case 2는 Case 1과 Case 3보다 더 큰 52.802MPa의 최대 등가응력을 나타났다. 세 모델 중, Case 2의 경우가 진동에 의한 파손에 가장 강함을 알 수 있다. 본 연구의 해석 결과를 이용하여 시스템의 안전한 작업환경으로 실제 적용할 수 있는 모델 설계가 효율적으로 가능하다고 사료된다.

• 과학과기술
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• 제30권11호통권342호
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• pp.88-89
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• 1997

55년 동일상사로 창업해 과학기기와 의료기기를 수입하던 오퍼상을 모체로한 (주)디아이는 수입장비들을 전량 국산화하겠다는 경영자의 의지에 따라 반도체소자 및 LCD검사장비 전문제조업체로 변신해 눈부신 성장을 하고 있다. 24명의 연구원을 두고 70억원에 달하는 연구비를 투자한 (주)디아이는 국내 최초로 'Test Burn-in System'의 국산화에 성공하는 등 21세기 초일류기업을 목표로 전 사원이 땀을 흘리고 있다.

• 대한전자공학회논문지TE
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• 제37권4호
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• pp.35-46
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• 2000

반도체 전공분야의 교육과정은 반도체소자를 제작하는데 있어 디자인하고 소자특성을 시뮬레이션하기 위한 반도체 설계와 반도체장비를 이용하여 재료를 가공하는 반도체공정 및 제작된 소자의 특성을 평가하고 검사하는 신뢰성 공정, 그리고 패키징 공정까지 포함된다. 반도체응용과의 교육과정을 2년 6학기제로 편성하여, 1학년은 직업인의 기본교양 및 인성교육과 함께 반도체 재료 및 회로등 전공기초 소양 및 원리를 습득하는데 중점을 두고 2학년에서는 국제적인 추세인 반도체 설계분야 및 반도체공정을 이해하게 된다. 특히, 국내의 빈약한 반도체 설계분야를 활성화하기 위하여 설계기술을 집중적으로 훈련시키고 특성화하여, 반도체 설계분야의 기능화된 인력을 공급할 수 있도록 교육과정을 편성하였다.

• 광학세계
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• 통권110호
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• pp.41-43
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• 2007

1997년 설립하여 올해로 10주년을 맞은 그린광학(대표.조현일)의 올 한해는 남다를 것 같다. 매년 급신장을 거듭해오며 올해는 매출 100억원을 목전에 둔 중견기업으로 성장 발판을 마련하게 된 것. 광학렌즈의 설계부터 가공, 코팅, 평가에 이르기까지 모든 공정에 대한 처리능력 및 노하우를 바탕으로 광학부품의 국산화 및 기술개발에 적극적으로 나선 결과 LCD제조 및 검사용 광학계 개발, 반도체 장비에 사용되는 초정밀 산업용 현미경 개발, 먼지 검사 광학계 개발, 또 최근에는 프로젝터 TV와 HMD 등 완제품 시장에도 두각을 나타내는 등 기술 집약형 기업으로서 저력을 유감없이 발휘하고 있다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2008년도 춘계학술대회논문집
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• pp.569-574
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• 2008

Nowadays, the equipment for a semiconductor process is required to raise accuracy and productivity. Therefore, the natural frequency of the equipment has been lowered because it has been precise, rapid, large, and light. In order to improve the efficiency of production, it is necessary for the equipment to increase the operation speed, which causes inevitable vibration problems. In this paper, influence analysis of ball-screw in the equipment and evaluation method for the vibration on the base are presented based on the analyses of dynamic characteristics for the mechanical structure through the modal test.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
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• pp.49-54
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• 2005

In the case of a sensitive equipment, it require a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection device, which have sub-nanometer class high accuracy and resolution, have come to necessity for producing more improved Giga Class semi conductor wafers. The aim of this study is to evaluate the allowable vibration response of a precision inspect ion equipment, which has some trouble in field, by using experimental measurement data and to proposal a proper ant i-vibration method.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
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• pp.118-122
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• 2004

본 연구에서는 반도체 세정 챔버 내부에서 회전 척을 사용하는 기판의 세정 공정에서 세정장치와 건조장치를 분리하지 알고 일체화하는 기술을 연구하는 한편, 초음파 세정기술을 이용하여, 세정에 사용되는 약액을 절감하는 방법도 연구하였다. UWA(Ultrasonic Water and Clean Air) system은 초음파 진동부, 초순수 공급부 그리고 clean air공급부를 모듈화 하였다. UWA system으로 공급된 초순수에 70～130kHz범위의 초음파가 더하여지고 반도체 기판 위에 분사되면 기판 위의 미세 파티클을 세정하는 효과를 갖는다. 세정 후 연속적으로 clean air를 분사하여 기판 위의 수분을 완전히 제거한다. Particle 세정 작업을 실시한 후 표면을 검사하여 정밀세정 능력을 확인하였다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2009년도 춘계학술대회
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• pp.752-755
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• 2009

현재 국내외 주요 생산 현장에서 자동화 시스템이 구축되어 활발히 응용되고 있지만, 대부분 유선통신망을 이용한 시스템으로 생산 설비 기기 및 검사 장비의 교체 시 많은 시간적, 경제적 비용이 발생하는 단점이 있다. 이를 위해 IEEE 802.15.4(ZigBee) 표준기술을 이용한 반도체 검사장비의 제어 및 관리 시스템의 인터페이스를 구현하였다. 본 논문에서는 무선 네트워크 환경에서 저비용의 신뢰성 있는 통신 방식인 ZigBee 기술을 적용하여 공간적 복잡도를 해소하고, 서로 다른 장비간의 유선 통신망을 무선으로 통합한 시스템의 사용자 인터페이스(UI: User Interface)를 연구하였다.