• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.243-243
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• 2011

현재 식각이나 증착, 이온주입 등에 반도체 공정에 플라즈마를 이용하고 있다. 이런 반도체 공정용 플라즈마 용기의 경우 플라즈마에 의한 용기의 스퍼터 등에 의해 금속 입자가 생성되어 공정중인 반도체 웨이퍼에 오염을 줄 수 있기 때문에 대부분의 공정용 용기는 아노다이징 알루미늄이나 세라믹 등을 사용한 부도체 용기를 사용하게 된다. 단일탐침법은 플라즈마내 금속 도체를 삽입한 후 바이어스 전압을 인가하여 전류-전압 특성 곡선을 해석하여 측정하는 방법이다. 하지만 플라즈마와 측정 시스템의 공통된 기준전압이 있어야만 측정이 가능하다는 단점을 가지고 있다. 따라서 일반적으로 많이 사용하는 부도체 용기내의 플라즈마는 기존의 단일탐침법으로 측정이 어렵다. 또한 높은 플라즈마 전위를 가지고 있는 플라즈마의 경우 높은 전압에서 전류-전압특성의 측정시스템을 구축하기 매우 어려운 단점을 가지고 있다. 따라서 이런 경우에도 측정이 가능하도록 축전기의 과도현상을 이용하여 탐침이 전기적으로 부유된 단일탐침법을 연구하였다. 이 방법의 타당성 확인을 위하여 금속용기에서 플라즈마를 발생시켜 기존의 단일탐침법과 부유형 단일탐침법을 비교하였다. 기존의 단일탐침법과 비교 결과는 공정조건에 관계없이 상당히 유사하였다. 따라서 이 방법으로 기존 단일탐침법을 사용할 수 없는 높은 플라즈마 전위의 플라즈마나 부도체용기내의 플라즈마의 측정에 사용할 수 있을 것으로 기대된다.

• Journal of the Institute of Convergence Signal Processing
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• v.9 no.3
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• pp.219-223
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• 2008

The dissolved oxygen (DO) sensors were fabricated by screen printing method, and potable dissolved oxygen measurement system was fabricated for low cost products. The fabricated sensors had high current change and fast response according to dissolved oxygen concentrations in the applied voltage of 0.7 V. The DO measurement system was consisted of MCV, amplifier, filter, power supply and display. DO concentrations were programed to display as digital percentages by converting the analog value. It is expected that the fabricated DO measurement system can replace the expensive commercial DO meter, because it reveals the high accuracy of ${\pm}0.5%$ to the standard solution and the response time of about 100 sec like the commercial DO meter.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.41 no.5
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• pp.43-48
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• 2004

A PWM Circuit using CMOS OTA is proposed. It features that the oscillation frequency is independent of supply voltage and temperature, and is linearly controlled by the bias current of OTA. The H-SPICE simulation results are given and they show good performance of the proposed circuit. The layout results using 0.3${\mu}{\textrm}{m}$ CMOS technology for IC implementation are also given.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.23 no.10
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• pp.45-51
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• 2009

The single phase buck-boost DC-AC inverter generates an alternating output voltage as the differential voltage of two DC-DC individual buck-boost converters. Two converters are driven with DC-biased and $180[^{\circ}]$ phase-shifted sinusoidal references. The peak value of the inverter alternating output voltage does not depend on the direct input voltage. In this paper, single phase buck-boost DC-AC inverter is designed and implemented on a prototype with digital controller using a microcontroller.

• Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering
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• v.15 no.3 s.96
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• pp.334-340
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• 2005

A disk-type 3-DOF actuator which has new principle and very simple structure is proposed. Also it utilizes the relation of bias and control fluxes produced by permanent magnets and coils, respectively, like other conventional electromagnetic actuators, but its main feature is that both the coils and permanent magnets are fixed in the stator, which makes it easy to design the shape of moving part. Operating principle is that a moving disk is driven by reaction force of Lorentz force acting on the fixed equivalent coil. Simple analytic approach and FEM analysis are performed to determine the design parameters so as to increase the driving force and distance. And some experimental results show the feasibility of the proposed actuator.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.05a
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• pp.76-76
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• 2015

PVD에 의한 증착 대상 물질인 Ti, AlSi, Cr 및 각각의 타겟 전류, 바이어스, 압력 조건 들을 설계하여 적용시켰으며 PECVD와 CBC 코팅을 조합하여 발생되는 새로운 나노 멀티박막의 특성을 본 연구에서는 시험분석 및 평가하였다. 코팅층 깊이에 따른 조성 변화는 XPS를 이용하였으며 미세조직 및 표면 상태는 FE-SEM을 이용한 정밀 분석을 실시하였다. 또한, 박막의 경도는 나노인덴터를 이용하여 박막 자체의 경도만을 분석하였다. 한편, Pin-on-disk 방식의 마모시험기를 이용하여 표면조도와 상대재의 처리 상태에 따른 마찰계수를 시험 평가하였다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2014.07a
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• pp.359-360
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• 2014

본 논문은 Y-capacitor와 미분기를 이용한 절연형 AC/DC컨버터의 제어신호 전송기법을 제안한다. 기존 SSR(Secondary Side Regulation)의 제어단(Photo-coupler, TL431 및 부가회로)은 바이어스 전류에 의한 대기전력 손실이 크다. 하지만 제안된 방식은 기존 SSR의 제어단을 제거하고, 2차 측 제어신호를 EMI노이즈 경로로 사용되는 Y-capacitor와 저항, 커패시터만을 이용하여 1차 측으로 전송한다. 제안 신호전송기법의 이론적 해석과 PSIM Tool을 이용한 Simulation 결과를 통하여 타당성을 검증하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2004.11a
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• pp.490-493
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• 2004

A 3-DOF actuator which has new principle and very simple structure is proposed. Its principle seems to be similar to conventional electromagnetic actuators, that is, to utilize the relation of control and bias fluxes produced by coils and permanent magnets, respectively, but the coils and permanent magnets of the proposed actuator are fixed in the stator. Such a structure helps to optimally design the actuator for its use. Some experimental and FEM analysis results show the feasibility of the proposed actuator and some characteristics of system that are useful lot structure design and control.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2019.07a
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• pp.168-170
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• 2019

본 논문은 효과적인 능동 풀-다운 기능을 위한 새로운 구조의 펄스 파워 모듈레이터를 제안한다. 제안된 능동 풀-다운 방식은 별도의 풀-다운 저항을 사용하지 않고, 펄스 방전 패스에 추가된 다이오드의 역회복 특성을 이용하여 풀-다운 기능을 수행한다. 본 논문에서 사용된 풀-다운 다이오드는 펄스 출력 시에는 정방향 바이어스 상태를 유지하다가, 펄스 출력이 제거되면 비교적 긴 역회복 구간동안 부하의 커패시턴스 성분에 남아있는 에너지가 방전될 수 있는 전류 패스를 제공한다. 이에 따라 제안된 구조의 펄스 모듈레이터는 기존에 제안된 풀-다운 회로에서 발생하는 발열 손실 또는 별도의 복잡한 제어회로와 같은 복잡한 구조의 문제를 보완하고 빠른 펄스 하강시간을 달성할 수 있다. 본 논문에서는 시뮬레이션을 통해 기존에 제안되었던 풀-다운 저항 방식과 풀-다운 스위치 방식, 제안하는 방식을 비교하여 제안된 구조의 성능과 우수성을 분석하였다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.10 no.4
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• pp.431-439
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• 2001

In this paper, the a-Diamond films were synthesized using filtered vacuum arc source (FVAS), FVAS was composed of a torus structure with bending angle of 60 degree. The radius of torus was 266 mm, the radius of plasma duct was 80 mm and the total length was 600 mm. The magnet parts were composed of one permanent magnet and five solenoid magnets. The plasma duct was electrically isolated from the ground so that a bias voltage could be applied. The baffles inside plasma duct were installed in order to prevent the recoil effect of macro-particles. Cathode was made of graphite with 80 mm in diameter. The effects of solenoid magnet on plasma extraction were investigated by computer simulation and experiment using Taguchi's methode. The source and extraction magnet affected the arc stabilization. The extraction beam current was maximized with low value of the source magnet current and high value of the filtering magnet current. The beam current density was 3.2 mA/$\textrm{cm}^2$ and average deposition rate was 5 $\AA$/sec when the currents of arc discharge, source, extraction, bending, deflection and outlet magnet were 30 A, 1 A, 3 A, 5 A, 5 A, and 5 A, respectively. The beam current density and the efficiency of beam transportation were increased with the positive bias voltage of the plasma duct.