$Al/TiO_2-SiO_2/Mo$ 구조를 가진 Antifuse의 전기적 특성 분석
(Electrical characterizations of$Al/TiO_2-SiO_2/Mo$ antifuse)
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- 한국진공학회지
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- 제9권3호
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- pp.263-266
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- 2000