• Title/Summary/Keyword: 바닥층

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Relationship between Sputtering Pressure of Underlayer and M-H Behavior in Co/Pd and Co/Pt Perpendicular Magnetic Recording Media (Co/Pd 및 Co/Pt 수직자가기기록매체에 있어서 바닥층의 스퍼터링 압력과 M-H 거동의 관계)

  • 오훈상;이병일;주승기
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.6 no.4
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    • pp.235-241
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    • 1996
  • Co/Pd and Co/Pt multilayered thin films for perpendicular magnetic recording media were fabricated by sput¬tering method and the effects of the sputtering pressure during the formation of Pd or Pt underlayers on the magnetization behavior and coercivity of the multilayers were investigated. It was found that the coercivity of Co/Pd multilayers was strongly dependent on the sputtering pressure of underlayer and could be enhanced to a large extent merely by increasing the sputtering pressure of underlayer, while in case of Co/Pt films, the degree of coercivity enhancement by controlling the sputtering pressure of underlayer was almost negligible. Coercivity variation of Co/Pd and Co/Pt multilayers with the underlayer material and deposition pressure of underlayer could be well explained in terms of the interface roughness of multilayer films induced by underlayer topology, which could also be correlated to the change of perpendicular anisotropy energy and magnetic reversal feature with the sputtering pressure of underlayer. Kerr rotation angle was hardly affected by the preparation conditions of underlayers.

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A heating apparatus for semiconductor manufacturing using direct heating method (직접가열방식을 이용한 반도체 제조용 히팅장치)

  • Jung, Soon-Won;Kwon, Oh-Joen;Koo, Kyung-Wan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.2218-2219
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    • 2008
  • 본 연구는 반도체 기판 히팅 장치의 새로운 구조에 관한 것으로 기판의 바닥면에 밀착된 가열 플레이트층의 직접가열 구조에 따른 빠른 열 응답성 및 열손실 최소화를 이룰 수 있다. 또한 가열 플레이트층에 내장된 히팅 수단인 시즈히터의 접촉면적을 늘려 가열 유효면적 증가와 같은 효과를 갖는다. 이를 위해 감광막이 코팅된 기판과, 상기 기판의 바닥면에 밀착되는 가열 플레이트층, 절연 및 열손실을 최소화하기 위해 상기 가열 플레이트층의 바닥면에 밀착되는 운모층, 상기 운모층의 하부에 밀착되어 바닥 플레이트층으로 이루어지되, 상기 가열 플레이트 층은 바닥면 전체에 걸쳐 연속되는 홈부를 형성하고, 상기 홈부로는 기판을 가열하기 위한 시즈히터가 삽입되어 구성된다. 새로운 기판 히팅 구조를 사용하여 시간 경과에 따른 가열 플레이트의 온도 변화를 확인 한 결과, 간접가열방식인 기존 방식에 비해 약 40 %의 전력 절감효과가 있는 것으로 확인 되었다.

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The Effect of Freeze and Thaw for the Stabilized Soil Bottom Liners in the Landfill (폐기물 매립지 바닥층의 고화토 포설시 동결/융해 현상에 관한 연구)

  • Lee, Song;Lee, Jai-Young;Kim, Heung-Suck
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.16 no.1
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    • pp.179-189
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    • 2000
  • The purpose of this research is to complement the existing researches on landfill bottom liners behavior during the periods of freeze and thaw. Landfill-related researches have been typically focused on small-scale soil samples that are often compacted under conditions different from those used in the field. Although these tests have been invaluable in clarifying the problem of freeze and thaw, extending the results of such experimental studies to prototype landfills are questionable. In this investigation, the author utilized a large scale laboratory simulation allowing inclusion of the field depth of the cover systems, layered soil profiles, rainfall simulation, a cold climate and boundary conditions similar to those encountered in the landfill. The soil materials were stabilized soils (mixed clays, cements, and minerals) instead of clays. The bottom liners are made up of drainage layer (30 cm), stabilized layer (75 cm), and leach collection layer (60 cm). The stabilized layers are made up of supporting layer (45 cm) and low permeable layer (30 cm) - consisting of $P_A\; and\; P_B$ layer. As a results, depths of penetration increased by about 2~5 more centimeters at rainfall simulated designs than those at no rainfall simulated designs (that is design 3, design 5 and design 7) - it increased by about 20mm/day in the bottom liners and frost heaves also increased it by a few millimeters. Also, a few cracks appeared partly. According to these results, we can surmise that the compacted stabilized soil is more reliable than the compacted clay liners for construction of the landfill liners.

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A Study on the Magnetic Properties in Ni-Fe-Co/Cu/Ni-Fe-Co/Fe-Mn Multilayered Thin Films for Magnetoresistive Head (자기저항 헤드용 Ni-Fe-Co/Cu/Ni-Fe-Co/Fe-Mn 다층박막의 자기적 성질에 관한 연구)

  • 배성태;신경호;김진영
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.4 no.1
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    • pp.67-76
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    • 1995
  • 자기저항헤드용 Ni-Fe-Co/Cu/Ni-Fe-Co/Fe-Mn 다층박막에서 자기적 성질과 전기적 성질에 관하여 조사하였다. 저 포화자계에서 고 자기저항을 나타내는 스핀 밸브형 다층박막을 제작하기 위하여 Borond이 도핑된 p-type Si(100)기판위에 Ni-Fe-Co 단층박막과 Si/Ni-Fe-Co/Cu/Ni-FeCo, Si/Ni-Fe-Co/Fe-Mn 구조의 다층막을 제작하여 자기적 특성을 조사하였다. Ni-Fe-Co 단층박막의 자기적 특성은 고정된 아르곤 분압에서 박막의 두께 등에 의존성이 있는 것으로 나타났다. 또한 Si/Ni-Fe-Co($70AA$)/Fe-Mn 구조에서 Ni-Fe-Co와 Fe-Mn 계면에서의 두 자성층의 이방성 차이에 의해서 발생되어지는 교환자기이방성이 존재하였으며, 교환자기이방성자계값은 Fe-Mn 두께가 $150\AA$일 때 가장 큰 값을 나타내었다. Ni-Fe-Co texture와 교환자기이방성자계값은 Fe-Mn 두께가 $150\AA$일 때 가장 큰 값을 나타내었다. Ni-Fe-Co texture와 교환자기이방성자계값의 의존성을 알아보기 위하여 Ti, Cu를 바닥층으로 사용하였다. Ti을 바닥층으로 사용하였을 경우, 교환자기이방성자계값은 23.5 Oe 정도의 가장 큰 값을 나타내었다. XRD 분석결과, Ti 바닥층이 Cu 바닥층이나, 바닥층이 없는 경우와 비교하여 성막된 Ni-Fe-Co 자성층의 강한 fcc(111) texture를 형성하는 것으로 나타났다. 각각의 단층박막과 다층박막에서의 자기적 특성을 측정한 후, Si/Ti($50\AA$)/Ni-Fe-Co($70\AA$)/Cu($23\AA$)/Ni-Fe-Co($70\AA$)/Fe-Mn(150$\AA$)/Cu(50$\AA$)의 스핀밸브구조를 갖는 다층박막을 제작하였으며, 11 Oe의 낮은 포화자계값에서 4.1%의 고 자기저항값을 얻을 수 있었다.

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Improvement of evaluation method for impact sound reduction performance of floor coverings (바닥 상부 마감재의 충격음 저감성능에 대한 평가방법 개선)

  • Jin-Yun Chung;Han-Sol Song;Guk-Gon Song;Yong-Jin Yoon
    • The Journal of the Acoustical Society of Korea
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    • v.42 no.2
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    • pp.161-167
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    • 2023
  • Recently, floor impact sound has become a serious social problem in Korea. There is an increasing need to improve floor impact sound performance using floor covering installed on the floor of apartment houses. KS F ISO 717-2 and KS F 2863 require measurement under conditions in which the resilient material is not installed. But most apartment houses in Korea install resilient materials to reduce floor imapct sound. The performance evaluation method of floor covering should provide reduced performance for use by residents of apartment houses with resilient materials. Therefore, this paper proposes a reduction performance evaluation under the conditions in which a resilient material is installed to verify the performance of floor covering.

Exchange Bias Perpendicular Magnetic Anisotropy by Buffer Layer and Inserted Layer in [Pd/Co]5/FeMn Multilayer ([Pd/Co]5/FeMn 막에서의 바닥층과 삽입층에 의한 교환바이어스수직자기이방성)

  • Joo, Ho-Wan;An, Jin-Hee;Lee, Mi-Sun;Kim, Bo-Keun;Choi, Sang-Dea;Lee, Kee-Am
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.14 no.5
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    • pp.192-195
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    • 2004
  • Magnetic properties by exchange biased perpendicular magnetic anisotropy in [Pd(0.8 nm)/Co(0.8 nm)]$_{5}$/FeMn(15 nm) multilayers deposited by dc magnetron sputtering system are investigated. As inserted Pd layer of interface between [Pd/Co] multilayer and FeMn film, the Hex of perpendicular anisotropy was improved from 127 Oe to 145 Oe. But result of an experiment by thermal stability, the Hex of the case that an inserted layer was inserted in decreased from low 20$0^{\circ}C$ in about 5$0^{\circ}C$ more if not inserted. If Ta was a buffer layer, the experiment results along material of buffer layer, the H$_{ex}$ obtained the largest 127 Oe. And if Pd was a buffer layer, H$_{ex}$ obtained the largest 169 Oe. Also, the Hc in buffer layer of Ta and Pd obtained the largest 203 Oe and 453 Oe, respectively.

Formation of GMR Metallic Multilayers with In-Plane Uniaxial Magnetic Anisotropy (면내 일축 이방성을 갖는 GMR 금속다층막의 형성)

  • 송용진;김형준;이병일;주승기
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.6 no.5
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    • pp.329-333
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    • 1996
  • We have studied the magnetoresistance and the magnetic anisotropy of Cu/(NiFe/Ni/NiFe) metallic multi layers grown on Si(100), Si(111), $4^{\circ}\;tilt-cut\;Si(111)$ or glass substrate. When the multilayer was grown on $4^{\circ}\;tilt-cut\;Si(111)$ with $50\;{\AA}$ of Cu underlayer, an in-plane uniaxial anisotropy was observed. On the other substrates such as Si(100), Si(111) or glass with Cu underlayer, however, no appreciable anisotropy was shown. The multilayer grown with NiFe or Ni underlayer or without underlayer did not show any arnsotropy even on $4^{\circ}\;tilt-cut\;Si(111)$. When $10\;{\AA}$ of NiFe was deposited prior to the Cu underlayer, the anisotropy in Cu/(NiFe/Ni/NiFe) multilayer disappeared.

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Effect of Low Temperature Annealing on the Magnetoresistance in Co/Cu Artificial Superlattice (Co/Cu인공초격자에서 저온 열처리가 자기저항에 미치는 영향)

  • 민경익;송용진;이후산;주승기
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.3 no.4
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    • pp.305-309
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    • 1993
  • Thermal stability of Co/Cu artificial superlattice (AS) prepared by RF-magnetron sputtering and the effect of low temperature annealing on the magnetoresistance of the AS have been investigated in this work. Dependence of annealing behavior on the Cu spacer thickness, Fe underlayer thickness, and kind of the underlayer was examined and the relationship between the interfacial reaction and magnetoresistance was studied. It turned out that when Co/Cu AS was annealed at low temperature ($<450^{\circ}C$), the magnetoresistance could increase in the case of AS with thick spacer Cu ($20~25\AA$) layer, whereas it decreased in the case of AS with thin spacer Cu ($7\AA$) layer, which of the former is in contrast with previous reports and the latter in consistent with them. The increase of magnetoresistance is due to increase of interfacial atomic sharpness, which is supported by low angle X-ray diffraction analysis. The thermal stability of Co/Cu AS was better in the case of thick Fe underlayered AS. Interfacial reaction (separation of intermixed Co and Cu) could be observed at lower temperature for (200)-textured samples than for (111)-textured samples, which can be interpreted in terms of interdiffusion kinetics depending on the crystallographic orientation.

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Effect of turbulent motions within the boundary layer on the sediment transport based on the three-dimensional particle image velocimetry (3차원 입자 영상 유속계를 기반으로 한 경계층 내 난류 흐름이 유사에 미치는 영향에 대한 연구)

  • Park, Hyungchul;Hwang, Jin Hwan
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2021.06a
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    • pp.24-24
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    • 2021
  • 자연하천 바닥 경계층 내에서는 복잡한 난류 구조가 형성되며 이들은 하상에 강한 모멘텀을 전달한다. 바닥 부근에 분포하는 유사 입자들은 경계층 내에서 발생한 난류 흐름으로부터 모멘텀을 전달받아 소류사 혹은 부유사 형태로 이송되게 되며, 이러한 유사 이송 과정을 역학적으로 설명하기 위해서는 경계층 내 유체 흐름에 대한 이해가 선행되어야한다. 경계층 내 난류 흐름 특성이 유사 입자의 움직임에 미치는 영향에 대해 분석하기 위해서는 바닥 경계층 내 고해상도 유속 자료와 유사 움직임을 동시에 포착할 수 있는 기술이 요구된다. 하지만 현재까지 수행된 대부분의 선행 연구들은 점 유속을 측정할 수 있는 음파 도플러 유속계 (Acoustic Doppler Velocimetry) 혹은 2차원 입자 영상 유속계를 활용하였으며, 이들은 복잡한 3차원 난류 흐름 특성을 분석하기에는 한계가 있다. 본 연구의 목적은 실험실 실험을 통해 바닥 경계층 내 3차원 난류 흐름이 유사 이송에 미치는 영향에 대해 조사하는 것이다. 본 연구에서는 유사 주변에서의 고해상도 3차원 흐름 유동장 및 순간적인 유사 움직임에 대해서는 합성 개구 (synthetic aperture) 기반의 3차원 입자 영상 유속계 및 입자 추적 유속계를 활용하여 취득하였다. 취득된 흐름 유동장을 기반으로 레이놀즈 전단응력을 산정하였으며 이를 통해 유체가 하상에 미치는 모멘텀의 크기를 파악하였다. 복잡한 난류 흐름 구조에 대해서는 팔분원 분석 (octant analysis)을 통해 구분했으며, 유사가 움직이는 순간의 유속장을 기반으로 유사 이송을 발생시키는 지배적인 난류 흐름 특성에 대해 규명하였다. 본 연구는 바닥 경계층 내 복잡한 3차원 난류 흐름과 유사 입자의 움직임을 동시에 분석함으로써 기존에 수행되어왔던 선행 연구들의 한계점을 극복하고 보다 명확한 유사 이송의 발생 원인에 대해 분석했다는 점에 의의가 있다.

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