• Title/Summary/Keyword: 밀착도

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Optical Systems in Lithography Tool (리소그래피와 광학계)

  • 곽창수;정해빈
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2001.02a
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    • pp.76-77
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    • 2001
  • 리소그래피 공정은 반도체 공정에 있어서 그 선폭과 집적도를 결정짓는 핵심 공정이다 이러한 리소그래피 공정 중 만들고자 하는 패턴을 사진전사에 의해서 형성해주는 도구인 노광장비는 광학계, 스테이지계, 제어계로 구성되는 데, 여기에서는 이 중에서 광학계를 중심으로 노광장비를 설명한다. 노광장비의 기본적인 형태는 그 사용되는 광학계에 파라서 결정되는데, 크게 나누어서 밀착 노광 방식과 투영 노광 방식이 있다. (중략)

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노블리스 오블리주-장기적 파트너십

  • Jeong, Seon-Hui
    • Venture DIGEST
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    • s.41
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    • pp.17-17
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    • 2004
  • 공익연계 마케팅에서 선두주자들의 공통점은 한두 개의 공익사업에 집중해 장기적으로 캠페인을 전개한다는 것이다. 미국의 식료품사인 ConAgra는 여러 공익사업에 기부하던 관행에서 벗어나 전략적으로 하나의 이슈에 집중하여, 직원들을 결집하고 주 고객인 음식점과 소매식료품상들과의 관계를 더욱 밀착 시키려고 했다. 그런 의도로 탄생한 것이 'Feeding Children Better' 캠페인이다. 이 캠페인은 장기간 프로그램으로서 미국의 모든 어린이들을 기아로부터 해방시키려는 프로그램이었다.

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Effects of Silane compound for Phosphate Film (인산피막에 미치는 실란의 영향)

  • Park, Chan-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.10a
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    • pp.149-149
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    • 2009
  • 도막의 밀착성 및 내식성 향상을 위하여 인산염처리가 주로 이용되고 있다. 인산염피막은 결정구조로 되어있어 피막사이에 핀홀이 존재하여 일부 특성을 저하하기도 한다. 인산피막의 특성 향상을 위해 실란화합물에 대한 효과를 조사하였다.

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데이터마이닝과 캠페인 도구의 통합

  • Im, Nan-Hui
    • Digital Contents
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    • no.7 s.74
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    • pp.59-63
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    • 1999
  • 과거에는 데이터마이닝과 캠페인 관리 도구와의 연계가 거의 수동식이었다. 최악의 경우에는 테이프나 디스크의 실제 화일을 생성해놓고 다른 컴퓨터에 옮겨와서 마케팅 데이터베이스에 적용하기도 하였다. 이러한 데이터 마이닝과 캠페인 관리도구간의 분리는 상당한 비효율성 초래와 오류 발생 가능성을 높이기도 하였다. 그러나 최근 두 기술간의 밀착된 통합이 이루어져 무한 경쟁시대에서 비교우위를 얻는 기회를 제공하고 있다.

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PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 고내식, 내열 특성

  • Kim, Jun-Hyeong;Mun, Gyeong-Il;Park, Jong-Wan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.225-225
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    • 2012
  • DLC (Diamind-Like Carbon) 코팅은 1970년대 이온주입기술을 통하여 개발된 것이 처음으로 알려져 있으며, 다이아몬드 구조인 SP3 구조와 그라파이트 구조인 SP2 구조가 혼재되어 있으면서 제조 방법에 따라 수소와 Si 및 다양한 금속을 내재시킬 수 있는 코팅 물질이다. DLC는 높은 경도, 내마모성, 윤활성, 표면조도 등 뛰어난 기계적 특성과 전기절연성, 화학적 안정성 그리고 높은 광학적 투과성을 가져 산업적 활용 잠재력이 높은 재료로 평가되고 있으며, 이외에도 낮은 공정 온도에서 증착할 수 있고, 고경도와 낮은 마찰계수를 가지고 있는 장점이 있다. 그러나, DLC가 열적으로 불안정하기 때문에 사용되는 환경이 $500^{\circ}C$ 이상이 되면 DLC는 자체의 성질을 잃고 거의 흑연에 가까운 물질이 되어버리는 문제가 있고, 또한 높은 압축응력과 기재와의 낮은 밀착력이 단점으로 나타나고 있다. 이에 본 연구는 그런 단점을 보완하고자 PECVD (Plasmas Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법으로 DLC박막에 여러 가지 첨가원소(F,Si,0)를 사용하여 증착시킨 후 400, 500, $600^{\circ}C$에서 1시간동안 열처리를 진행하였으며, 그에 따른 내열 특성을 평가하였다. 또한 염수분무 테스트를 통한 박막의 내식 특성을 평가하였다. DLC박막의 구조는 Raman Spectra을 통해, Sp3 (like diamond) peak와 Sp2 (like graphite) peak 의 혼재 여부를 분석하였고, FE-SEM을 이용하여 막의 표면 및 단면을 관찰하였다. 스크래치 테스트를 통해 DLC박막의 밀착력을 측정하였으며, 볼 온 디스크 타입의 Tribo-meter을 이용하여 마찰계수 변화를 관찰하였다. 또한 나노인덴터를 이용하여 미소경도를 측정하였다. 그 결과 일반 DLC 막에 비해 첨가원소가 함유된 DLC 박막에서 내식성 및 내열특성이 향상되었다.

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