• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.1692-1693
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• 2007

본 연구는 송수광센서를 이용하여 광막을 형성시키고 미소물체가 광막을 통과할 때 발생되는 미소변위전압을 검출하여 신호처리를 수행함으로서 미소물체의 계수장치에 이용하고 자 하는 센싱시스템의 개발에 관한 내용이다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.10b
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• pp.73-74
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• 2008

이 논문은 두 개의 질량을 가진 미소 감쇄 시스템에 대해 외란 관측기 기반 추종 제어기의 강인성을 증가시키는 새로운 감쇄 주입법(damping injection)을 제시한다. '미소 감쇄'란 감쇄 계수가 다른 파라미터들과 비교해서 매우 작다는 것을 의미한다. 파라미터에 불확실성을 가진 미소 감쇄 시스템에 대한 외란 관측기의 적용은 전체 시스템을 불안정성하게 할 수 있다는 것을 관측할 수 있기에, 외란 관측기의 구조 중 공칭 (Nominal) 모델에 인위적으로 더 많은 감쇄를 추가함으로써 강인성을 강화시키는 방법을 제안한다. 또한 강인 제어 이론의 제로 익스클루젼(zero exclusion) 정리를 이용하여 감쇄 주입법의 안정성을 증명하고 시뮬레이션과 실험을 수행하였다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.42 no.8
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• pp.648-653
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• 2014

Fly-wheel, gimbal antenna, mechanical gyro and cryocooler with moving parts generate a micro-vibration during their on-orbit operation. For the acquisition of high quality image of observation satellite, additional technical efforts are required to reduce the micro-vibration level from the vibration sources. In this study, we proposed a passive isolation system combined with a tuned mass damper-type energy harvester to generate electrical energy from the micro-vibration which has always been subjected to useless isolation objectives. The feasibility of the system has been investigated through the numerical simulation.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.44 no.1
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• pp.40-48
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• 2016

Micro-vibration induced by on-board appendages that have mechanical moving parts has always been treated as an useless objective that has to be isolated, in order to comply with a high-resolution mission requirement of the observation satellite. In this study, we proposed a tuned mass damper energy harvester combined with a conventional passive vibration isolator for exhibiting dual functions of both electrical energy harvesting and micro-vibration isolation. The feasibility of the proposed dual-function complex system has been demonstrated through the comparison with numerical simulations, based on the results of basic characteristic tests, and experiments of the harvested power and micro-vibration.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.922-923
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• 2011

비파괴 검사방법 중 자기누설 방법을 이용한 방법은 높은 자기 투자율을 갖고 있는 배관 검사에 적합하다. 자기누설 방식이 적용된 시스템을 MFL PIG라고 한다. MFL PIG는 금속 손실이나 부식과 같은 결함을 검출하는데 높은 성능을 보인다. 하지만 이 시스템은 축방향으로 자기장을 형성하여 투자율이 큰 금속 배관을 포화시켜 결함이 있는 부분에서 발생하는 누설자속을 검출하는 방식이기 때문에 축방향으로 발생하는 미소 결함은 자기장이 통과하는 단면이 작고 누설자속이 거의 없어 검출이 어렵다. 축방향 미소결함을 검출하기 위해 기존의 MFL PIG를 개선시킨 것이 CMFL PIG이며, 이것은 자기장을 원주방향으로 형성하여 결함에서의 자기 누설을 최대화 가능하다. 본 논문에서는 축방향 미소 결함의 검출이 가능한 CMFL 비파괴 검사 방법에 관한 논의와 이를 이용하여 축방향 결함의 위치이동에 따른 왜곡 신호의 분석 및 보정하는 방법에 관해 제안한다.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.18 no.12
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• pp.2975-2981
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• 2014

Micro-magnetic detection system is used to detect small particles in an automatic transmission valve body, which signal noise and time-delay may occurs in process of signal transmitting and filtering. In this paper, we present the design and implement of a micro-magnetic detection system based on wireless sensor networks in conveyer belt. Micro-magnetic detection system consists of five modules which are magnetic sensor detector, signal processing unit, wireless sensor networks, system control unit and system monitoring unit. Our experimental results show that the proposed wireless micro-magnetic detection system improves both accuracy and time delay compared to the wired system; therefore, it may apply for wireless micro-magnetic detection system by analysis of packet reception rate.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1923-1925
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• 2003

본 논문은 유리 기판과 실리콘 기판의 양극접합과 CMP공정을 통하여 정전기력으로 구동되는 마이크로 비틀림 액추에이터를 제작하고 이 제작된 액추에이터의 성능을 개선하는 방법과 실험에 관한 것이다. 이 비틀림 액추에이터는 미소 거울로 사용하기 위해 제작하였다. 미소 거울은 영상을 정확히 반사하거나 회절 시키는 것이 목적이지만 MEMS 공정의 특성 문제로 인해 일관적인 성능을 나타내는 것이 비교적 힘들다. 따라서 이를 개선하기 위해선 구조적인 접근 보다 실제 구동될 때의 현상을 보상하는 것이 필요하다. 일정한 입력전압에 비례하는 미소 거울의 변위를 알고 이를 기준으로 하여 시스템을 구동하여야 한다. 여기서 인가되는 전압에 비례하는 변위가 정확한지 측정을 해야 하고 만약 오차가 있다면 이를 개선하여야 한다. 또한 구동 시 발생하는 overshoot 현상과 작은 떨림 현상을 줄이고 빠른 시간 내에 응답하도록 시스템을 보상하여야 한다. 본 논문에선 PID 제어기법을 사용하여 $0.5^{\circ}$의 각도로 구동할 때를 기준으로 이 때의 구동전압 200V를 인가하고 오차를 측정하여 시스템을 보상하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2014.05a
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• pp.402-403
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• 2014

Micro-magnetic detection system is used to detect small particles in an automatic transmission valve body, which signal noise and time-delay may occurs in process of signal transmitting and filtering. In this paper, we present the design and implement of a micro-magnetic detection system based on wireless sensor networks. Micro-magnetic detection system consists of five modules which are magnetic sensor detector, signal processing unit, wireless sensor networks, system control unit and system monitoring unit. The experimental results show that signal noise and time-delay decreased.

• Optical Science and Technology
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• v.13 no.3
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• pp.8-17
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• 2009

공진기-양자전기역학(QED) 미소 레이저 및 메이저는 소수의 원자와 광자간의 상호작용을 연구하는데 유용한 도구이다. 빔 형태의 이준위 원자와 고품위 공진기의 상호작용으로 비고전적 빛을 발생시킨다는 고유한 특징을 이용하여 양자광학 분야의 중요한 실험들이 이 시스템에서 행해져왔다. 본 논문에서는 미소 메이저와 그것에서 수행된 마이크로파 공진기 QED 연구에 대하여 간단히 소개하고 서울대에서 이루어지고 있는 공진기-QED미소 레이저에 대한 최근 연구 결과에 대하여 살펴본다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.31 no.2
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• pp.57-62
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• 2003

Nano-bending method is presented to measure the Poisson's ratio of thinfilms for MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) applicaiton. The douvle-ring specimen is designed and fabricated based on the surface micromachining process to facilitate the measurement of the Poisson's ratio. The Poisson's ratio can be obtained through analyzing the linear load-displacement relationship of the double ring specimen subjected to nano-indenter loading. The Present nano-bending mehod is an in-situ measurement approach due to the compatibility to the surface micromachining process. The Poisson's ratio is locally obtained at the location of the double ring specimen with micro dimension. To validate the nano-bending method, the Poisson's ratio of LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) poly-silicon with thickness of 2.3㎛ is investigated. Experimental results reveal that the Poisson's ratio of the poly-silicon film is 0.2569. The standard deviation of the nano-bending measurement for the stiffness of double ring specimens is 2.66%.