• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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• pp.184-184
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• 1999

반도체소자의 고집적, 미세화에 따라 MOSFET 소자에서의 고농도, 미세접합이 요구되고 있다. 이러한 고농도, 미세접합을 형성하기 위하여 기존의 저에너지 이온주입법을 대체 또는 병행할 목적으로 플라즈마 이온주입방법이 활발히 연구되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 이온주입방법을 이용하여 (100) 실리콘 기판에 보론을 주입후 열처리하여 형성된 p+층의 도펀트의 활성화와 이온주입으로 인한 실리콘 기판의 손상을 고찰하였다. 본 실험에서 (100)실리콘 기판에 도핑할 소스 가스로 BF3을 주입하고, D.C. pulse 플라즈마 도핑시스템을 사용하여 플라즈마 내의 보론이온을 웨이퍼 홀더에 -1~-5kV의 인가된 음전압에 의해 가속시키어 실리콘 웨이퍼에 주입하였다. 주입에너지 -1kV, -3kV, -5kV와 1$\times$1015, 3$\times$1515의 dose로 주입된 실리콘 기판을 급속가열방식(RTP)을 사용하여 $600^{\circ}C$~110$0^{\circ}C$의 온도구간에서 10초와 30초로 열처리하여 도펀트의 활성화와 미세접합을 형성한 후 SIMS, four-point probe, Hall 측정, 그리고 FT-IR을 이용하여 플라즈마 이온주입된 도펀트의 거동과 활성화율을 관찰하였고 FT-IR과 TEM의 분석을 통하여 이온주입으로 인한 실리콘 기판의 손상을 고찰하였다. SIMS, four-point probe, Hall 측정, 그리고 FT-IR의 분석으로 열처리 온도의 증가에 따라 도펀트의 활성화율이 증가하였고, 이온주입 에너지와 dose 그리고 열처리 시간의 증가에 따라서 주입된 도펀트의 활성화는 증가하였다. 그리고 주입에너지와 dose 그리고 열처리 시간의 증가에 따라서 주입된 도펀트의 활성화는 증가하였다. 그리고 주입에너지와 dose를 증가시키면 접합깊이가 증가함을 관찰하였다. 이온주입으로 인한 기판손상의 분석을 광학적 방법인 FT-IR과 미세구조를 분석할 수 있는 TEM을 이용하여 분석하였다. 이온주입으로 인한 dislocation이나 EOR(End Of Range)과 같은 extended defect가 없었고, 이온주입으로 인한 비정질층도 없는 p+층을 얻을수 있었다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제53권4호
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• pp.472-477
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• 2015

본 연구에서는 패러데이 모트를 사용한 기존의 피코리터 주입용 미세유체 칩에 은 나노입자를 이용한 전극을 추가하여 전압을 낮추며 효율을 높이는 실험을 수행하였다. 먼저, 복잡한 제조공정에서 탈피하여 은 나노입자 용액을 한 방울 떨어뜨리는 간단한 과정만으로 미세유체 피코리터 주입기 내에 전극을 제조하였다. 본 개념을 통한 은 나노입자 전극과 패러데이 모트가 통합된 미세유체 칩은 은 나노입자 전극을 사용하지 않는 기존 미세유체 칩의 피코리터 주입 시작 전압인 260 V 보다 낮은 전압인 180 V에서 피코리터 주입이 작동되었다. 또한 미세유체 피코리터 주입기는 피코리터 주입 부피를 7.5 pL부터 27.5 pL까지 정밀하게 조절할 수 있음을 주된 장점으로 하고 있다. 본 미세유체 피코리터 주입기는 미세유체 시스템의 새로운 기능을 설계함으로써 각 연구분야를 탐구할 유용한 플랫폼으로 기대되고 있다.

• 한국수정란이식학회지
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• 제16권2호
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• pp.73-78
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• 2001

본 연구는 한우 체외수정란에 외래 유전자를 미세현미 주입한 후 체외 배발달을 조사하였다. DNA 미세주입은 체외수정 18~20시간 후에 DNA를 미세주입하였으며 체외 배발달율은 7일간 배양 후 조사하였다. 미세현미 주입 후 난할율은 36.3%로 대조구의 난할율 66.4% 보다 유의적으로 낮았으며(p<0.05) DNA가 주입된 수정란 중 상실배와 배반포배까지 발달율은 각각 5.6%와 1.9%로 대조구의 20.5%와 12.8%에 비하여 유의적으로 낮게 나타났다. 체외발달 배양액 내 L-ascorbic acid와 $\alpha$-tocopherol 첨가 배양시 상실배와 배반포배 발달율이 대조구에 비하여 유의적으로 높게 나타났다.(p<0.05) 따라서 미세현미 주입된 수정란의 체외 배발달 배양액에 항산화제의 첨가는 높은 체외 배발달율을 얻을 수 있으며 또한 체외성숙과, 체외 수정된 한우수정란을 이용하여 형질전환 한우 생산이 가능하리라 사료된다.

• Clinical and Experimental Reproductive Medicine
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• 제26권2호
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• pp.193-201
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• 1999

본 연구에서는 소 난자 세포질내 원형정자 및 원형정자 핵을 미세주입 후 수정과정과 체외 배 발달을 조사하였다. 원형정자 주입 3시간 전에 인위적 자극을 주고 원형정자를 주입했을 때 난자들의 수정률이 주입 직후에 자극을 준 것들과 자극을 주지 않은 것들 보다 높았다. 원형정자 주입과 원형 정자핵을 주입한 후 전핵 형성률과 전핵 이동률을 조사하였으나 유의차를 발견할 수 없었다. 전핵의 형성과 이동중에 미세소관의 움직임을 간접형광면역법 및 공촛점 현미경을 사용하여 조사해 본 결과, 난활성 직후 난자의 표층에서 미세소관이 발생해서 이것에 의해 웅성 및 자성전핵이 난자 중심부로 이전됨을 볼 수 있었다. 수정 후 원형정자의 세포질내 Mitochondria의 분포상태를 알아보기 위해 MitoTracker에 노출시킨 원형정자를 주입한 후 형광현미경에서 관찰해 보았다. 그 결과 원형정자의 Mitochondria가 주입 후 4-cell 이 전까지 는 관찰되었으나 그 이 후에는 발견 할 수 없었다. 원형정자를 미세주입한 후 소 난자를 체외에서 배양했을 때 2.5%의 난자가 배반포로 발달하였다. 이상의 결과는 체외 배양한 소 난자 내에 원형정자 혹은 원형정자 핵을 미세 주입하여 정상적인 수정과 배발달이 가능한 것을 보여 주는 것이다.

• 한국동물학회지
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• 제33권3호
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• pp.365-372
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• 1990

Transgenic 양서류를 만들기 위한 연구의 일환으로 bacterial $\beta$-galactosidase 유전자를 cytopalsmic actin promoter에 연결시킨 plasmid를 xenopus 수정란에 미세주입하여 외부 DNA의 발현을 조사하였다. $\beta$-gal DNA를 20nl당 1ng에서 2ng의 농도로 미세주입하는 경우, 이 농도는 배발생에 크게 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다. 또한 유전자 산물인 $\beta$-galactosidase는 양서류의 모든 배엽성 세포에서 발현 가능하고, 정상적인 활성을 나타내므로 외부 DNA의 발현여부를 in situ 상태에서 판명할 수 있었다. 주입된 외부 DNA는 낭배기 시기에 최초로 발현되고, 적어도 올챙이 시기까지 유지 및 발현 가능하며, 초기 발생동안 extrachromosomal 상태에서 발현되는 것으로 나타났다. 그러나 발현의 정도는 주입된 개체는 물론 매 실험마다 차이를 보였고, 또한 기질인 X-Gal에 반응하는 부위가 전체 배에 분포하는 겅우는 거의 없으며, 일정 부위에 한정되어 있음이 관찰되었다. 이는 세포막을 통해서 DNA가 다른 할구로 이동하지 못하는 사실에 비추어 미세주입된 DNA가 난할시 각 할구로 균등하게 분포되지 못하고 국부적으로 나뉘어 들어가기 때문인 것으로 사료된다.

• Reproductive and Developmental Biology
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• 제29권3호
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• pp.181-186
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• 2005

본 연구에서는 배양 체계(혈청 첨가 TCM199, TALP, CRlaa 및 혈청 미첨가; IVMD101, IVF100, IVMD101)가 체외수정 또는 미세주입된 수정란의 체외 발달에 미치는 효과를 검토하였다. 또한 미세주입에 사용하는 GFP유전자의 양 및 미세주입 수정란에서 형광발현 양상을 검토하였다. 체외수정된 수정란의 $\geq$ 2세포기, 8세포기 및 배반포 도달율이 미세주입 수정란에 비하여 유의하게 높았다. 혈청 미첨가 배지에서의 8세포기 발달율이 수정란의 종류에 관계없이 유의하게 높았으나(p<0.05; $ 3.3\%\;vs.\;15.5\%$ 및 $21.4\%\;vs.\;39.4\%$, respectively), 배반포 도달율은 유사한 경향이었다($2.7\%\;vs.\;2.3\%$ 및 $23.0\%\;vs.\;23.6\%$, respectively). 한편, 2ng/uL 유전자를 미세주입한 수정란의 $\geq$ 2세포기, 8세포기 및 배반포 도달율이 4 및 8ng/uL의 것에 비하여 높은 경향이었다. 미세주입 수정란의 형광발현율은 1세포기가2및 8세포기에 비하여 유의하게 높았으나(p<0.05), 4세포기 및 배반포 단계와는 차이가 없었다.

• Clinical and Experimental Reproductive Medicine
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• 제24권3호
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• pp.301-309
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• 1997

본 연구에서는 체외수정, 난자내 정자 직접주입, 난자내 정자 두부 미두 주입 후의 핵과 미세소관의 변화를 관찰하였다. 핵과 미세소관의 움직임은 형광염색을 실시한 후 공초점주사현미경을 이용하여 관찰하였다. 체외수정에서 관찰된 바와 동일하게 정자를 난자에 직접주입 한 직후 정자 중편부에서 성상체가 형성되었고, 이 성상체에 의해 자성 웅성 전핵이 융합되는 것으로 관찰되었다. 그러나 난자내 정자를 직접주입하였을 경우 웅성전핵으로 발달하는 비율이 낮았다. 이는 주입된 정자가 원형질막과 perinuclear theca에 싸인 체 난자내로 들어가 난자내의 sperm nucleus decondensing factor와 정자 핵과의 반응이 억제되기 때문으로 생각된다. 정자 두부 만을 주입하였을 경우 성상체가 형성되지 않았지만 자성 웅성 전핵 사이 또는 그 주위에서 두터운 미세소관층이 관찰이 되었다. 따라서 소에 있어서는 정자의 중편부에 위치하여 microtubule organizing center (MTOC)의 역할을 하는 중심립 또는 중심체 없이도 모계에서 유래된 미세소관이 형성되어 이것이 전핵의 융합과 세포분열에 관여하는 것으로 생각된다. 정자의 미부 만을 주입하였을 경우 성상체가 형성이 되지 않았으며, 자성핵 사이에 형성된 미세소관과 떨어져서 관찰되었다. 따라서 주입된 정자의 꼬리는 미세소관형성과 관련이 없는 것으로 생각된다. 이러한 결과는 소에 있어서, 수정 시 정자로부터 유래되는 중심립 또는 중심체가 없이도 미세소관을 형성하여 미세소관에 의해 이후의 배발달이 정상적으로 일어남을 보여주고 있다.

• 한국가축번식학회지
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• 제22권2호
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• pp.195-202
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• 1998

본 연구에서는 돼지 난자 내에 돼지, 사람, 소 및 생쥐의 정자를 미세 주입한 후 전핵형성과ㅏ 전핵의 이동을 관찰하였다. 핵과 미세소관은 정자 주입 후 간접면역 형광염색을 실시한 후 공초점주사현미경으로 관찰하였다. 돼지 난자 내에 돼지정자를 직접 주입하였을 경우 일반적인 수정과정과 동일하게 정자중편부에서 성상체가 형성되었고, 이 성상체에 의해서 웅성 및 자성 전핵의 이동(44%), 유사분열(3%) 및 2-세포기(13%)까지 정상적인 수정이 이루어지는 것을 관찰할 수가 있었다. 반면에 이종(사람, 소 및 생쥐)의 정자를 돼지난자에 직접 주입하였을 경우 단위발생시 난 활성이 유도된 난자와 같이 난자자체에서 형성된 미세소관에 의해 전핵이 이동(47, 30 및 17%)하는 것을 볼 수가 있었다. 하지만, 접합체 형성 및 2-세포기로의 분리되는 과정은 관찰할 수 없었다. 이러한 결과로 돼지 난자 내에 이종의 정자가 주입되었을 때 정자의 핵은 비록이적으로 전핵으로 발달되고 난자 중심부로 이동된다는 것을 보여주는 것인데, 이때 전핵을 움직이는 것은 정자에서 유래된 중심체에 의한 것이 아니라 난자세포질 자체의 미세소관에 의한 것으로 관찰되었다.

• 한국가금학회:학술대회논문집
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• 한국가금학회 2004년도 제21차 정기총회 및 학술발표회
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• pp.19-20
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• 2004

본 연구는 1세포기 닭 수정란에서 외래 표지유전자(EGFP)와 리포좀(liposome)을 사용하여 외래유전자의 핵 전이의 효율성을 검증하고자 하였다. 실험은 리포좀과 혼합된 표지유전자와 naked 유전자 두 그룹으로 나누고, 유전자 미세 주입방법을 이용하여 배반엽 단계(stage X)와 1세포기 수정란의 세포질에 미세 주입하고 지속적으로 배양하면서 GFP의 발현 양상들을 관찰하였다. 실험결과, 배반엽 단계와 1세포기 수정란 모두에서 리포좀과 외래 유전자의 혼합물을 미세 주입한 경우 일주일 정도 지속적으로 GFP가 발현되었으나, 외래 유전자만을 주입한 경우 GFP의 발현이 관찰되지 않았다. 본 연구결과는 리포좀이 효율적으로 외래 유전자를 닭 수정란의 핵으로 이동시킴을 보여주고 있다.

• 한국동물번식학회:학술대회논문집
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• 한국동물번식학회 2001년도 춘계학술발표대회
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• pp.58-58
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• 2001

본 연구는 섬유소 분해효소 유전자 Cel D(Cellulase Digestion)가 도입된 형질전환 돼지 생산을 통하여 섬유소 함유 사료의 이용 효율을 증대시키고, 나아가 장기이식동물 및 고가의 의료용 단백질 생산가축을 개발하기 위한 원천기술 확보에 있다. 섬유소분해 유전자의 크로닝 및 조직 특이적 발현벡터를 개발하기 위하여, 우선 소의 위중 제4위 내의 미생물로부터 전체 유전자를 분리하였고, 이렇게 작성된 DNA library에서 섬유소분해 관련 유전자인 약 2.0 kb의 Cel D유전자를 크로닝하였으며, 췌장 특이적 발현 프로모터(rat elastase I: 약 200bp)를 크로닝한 후, 미세주입용 형질전환 재조합 벡터를 구축하기 위하여 rElastase I 프로모터 하류에 섬유소 분해 유전자(Cel D)를 연결하여 약 3.0 kb 크기의 재조합 벡터를 준비하였으며, 재조합 유전자를 1세포기 수정란 전핵내에 미세주입 하기 위해 Sal I과 BglII를 이용 유전자 단편을 만들었다. 구축된 유전자를 미세주입하기 위한 수정란을 회수하기위해 총68두의 돼지를 4-5두씩 분리사육하면서 발정동기화 및 과배란 유기를 위해 PG600, Altrenogest, FSH, hCG를 투여하였으며 hCG투여후 약54시간에 외과적 방법에 의해 총 1,359개의 수정란을 회수하였고, 이중 미세주입가능한 1세포기 수정란은 1,296개로 두당 평균 15.9개 였다. 1,296개의 1세포기 수정란 중에서 재조합 유전자(rE I-CelD)가 미세주입된 660개의 수정란을 32두의 수란돈에 외과적 방법에 의해 이식하였으며, 이식되어진 모돈 13두가 분만하여 40.6%의 임신율을 나타내었다. 이렇게 분만된 13두에서 총 65두(암:33두, 수:32두)의 자돈이 생산되었으며, 형질전환 여부를 판명하기 위해 자돈의 꼬리조직으로 부터 genomic DNA를 추출하고 PCR 검정을 실시하였다. PCR 검정 결과, 섬유소 분해 유전자가 도입된 자돈은 5두 이었으며, 그 결과를 Table에 나타내었다.(Table Omitted) Table 1 에서와 같이 섬유소 분해효소유전자가 형질전환된 자돈은 65마리 중 5마리로 7.69%의 형질전환율을 나타내었으며, 5마리의 자돈중 2두(암:1두, 수:1두)는 분만 후 즉시 폐사되었으며 2두(암:1두, 수:1두)는 86일령 그리고 14일령에 폐사하여 현재 1두(암)가 생존하여 섬유소 분해 사양 실험 중에 있다.