• Title/Summary/Keyword: 미세전극

Search Result 424, Processing Time 0.033 seconds

Co-firing of PZT/metal foil laminates for MIM structured device fabrication

  • Kim, Baek-Hyeon;Bae, Hyeon-Jeong;Gwon, Do-Gyun
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
    • /
    • 2012.05a
    • /
    • pp.82.2-82.2
    • /
    • 2012
  • 캐패시터, 액추에이터와 같이 MIM (Metal-Insulator-Metal) 구조를 갖는 디바이스는 높은 소결온도를 갖는 세라믹 유전체/압전체와 고온 내산화성이 낮은 금속 전극의 적층 형태로 인하여 동시 열처리 공정에 있어서 많은 제약이 따른다. 본 연구에서는 소결온도를 대폭 낮춘 저온 소결용 PZT 압전체 테이프를 니켈 금속 포일에 적층하여 동시 열처리를 통하여 소결을 시도하였다. 동시 열처리된 MIM 디바이스의 세라믹과 금속 전극 계면의 미세구조 및 성분 분석을 통하여 계면 반응 기구를 확인하였고, 계면 반응층이 디바이스의 특성에 미치는 영향에 대한 정량적 분석을 수행하였다. 또한 열처리 시간에 따른 계면 반응층의 변화를 관찰하고 반응층의 변화가 특성에 미치는 영향을 분석하였다. 니켈 이외에 니켈 합금인 INCONEL 718과 PZT 세라믹과의 동시 소성을 시도하여 니켈, INCONEL 두 금속 기판과 PZT 사이에 생성되는 계면 반응층의 미세구조와 특성의 차이점을 비교하였고 디바이스로서 사용하기 위한 적합성 여부를 확인하였다.

  • PDF

Determination of Electrode Potential in Micro Electrochemical Machining of Nickel (니켈의 미세 전해 가공 시 전극 전위의 선정)

  • Nam H.S.;Park B.J.;Kim B.H.;Chu C.N.
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
    • /
    • 2005.10a
    • /
    • pp.585-588
    • /
    • 2005
  • The dissolution characteristic of metal shows the different tendency according to the applied electrical potential, the kind of electrolyte and pH value, etc. In the micro electrochemical machining (ECM), unfavorable oxide/passive layer formation and overall corrosion of electrodes must be prevented. The anodic polarization curve of nickel has distinct three dissolution regions, i.e. two active regions and the transpassive dissolution region. In this paper, the stable electrode potentials of workpiece and tool were determined in sulfuric acid and hydrochloric acid solution, respectively. In each solution, different machining property was shown and possible electrochemical reactions were discussed. On the basis of this experiment, the methodology to obtain the proper electrode potential was suggested.

  • PDF

Noise Performance Design of CMOS Preamplifier for the Active Semiconductor Neural Probe (신경신호기록용 능동형 반도체미세전극을 위한 CMOS 전치증폭기의 잡음특성 설계방법)

  • 김경환;김성준
    • Journal of Biomedical Engineering Research
    • /
    • v.21 no.5
    • /
    • pp.477-485
    • /
    • 2000
  • 본 논문에서는 신경신호기록을 위한 반도체 미세전극용 전치증폭기의 잡음특성을 설계하기 위한 체계적인 방법을 제시한다. 세포외기록(extracellular recording)에 의하여 측정된 신경신호와 전형적인 CMOS소자의 저주파 잡음특성을 함계 고려하여 전체 신호대잡음비를 계산하였다. 2단 CMOS 차동증폭기에 대한 해석과 함께 신호대잡음비에 중요한 영향을 끼치는 요소들에 대하여 설명하였다. 출력잡음전력에 대한 해석적인식을 유도하였으며 이로부터 회로설계자가 조절할 수 있는 주파수응답과 소자 파라미터들을 결정하였다. 입력소자의 크기와 트랜스컨덕턴스의 비가 최적영역으로부터 약간 벗어날 경우에 신호대잡음비가 크게 저하됨을 보였다. 이와 함께 만족스런 잡음특성을 위한 증폭이의 설계 변수 값들도 제시하였다.

  • PDF

Developtment of Integrated Substrate with Highly Conductive Transparent Electrode and Light Extraction Layer and Its Applications for OLED Lighting (저저항 투명전극/광추출층 집적기판과 이의 OLED 소자 응용 기술 개발)

  • Jeong, Seong-Hun;An, Won-Min;Kim, Do-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2017.05a
    • /
    • pp.161.1-161.1
    • /
    • 2017
  • 최근 OLED기술을 조명에 응용하고자 하는 연구가 급증되고 있다. 이는 유연하고, 대면적 확장이 가능하며, 다양한 형태 구현에 있어 장점이 존재하기에 차세대 감성조명으로써 주목을 받고 있다. 고효율의 OLED 조명을 위해서는 저저항/고유연의 투명전극 소재의 개발을 통해 전기적 손실을 최소화해야하고, 광추출층의 적용을 통해 내부에서 생성된 빛을 외부로 잘 방출시켜 광학적 손실을 최소화해야한다. 이를 위해 많은 다양한 투명전극에 대한 연구와 광추출을 위한 방법에 대한 연구가 진행이 되고 있고, 두 가지 효과를 한번에 얻을 수 있는 집적기판에 대한 수요가 높아지고 있다. 본 연구는 인쇄공정과 플라즈마 공정을 통해, 미세배선이 함몰된 집적 기판을 개발하여 저저항/고유연 투명전극을 구현하였고 기판상 나노구조체 형성을 통해 광추출 효율을 기존에 비해 20% 이상 향상시킬 수 있었다. 이러한 기판은 향후 대면적 OLED 조명에 응용이 가능할 것이라 전망한다.

  • PDF

Effects of Surface Pretreatment and Composition of Noble Metal Oxide on the DSE (표면 전처리 및 귀금속 산화물층 조성이 DSE에 미치는 영향)

  • Kim, Jin-Hwa;Son, Seong-Ho;Park, Seong-Cheol;Kim, Hyeong-Mi;Jeon, Sang-Hyeon
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • 2015.05a
    • /
    • pp.58-58
    • /
    • 2015
  • DSE(dimentional stable electrode)의 미세구조와 전기화학적 성능은 전극 재질, 코팅액과 지지체인 티타늄의 전처리, 코팅법, 코팅 두께, 소결 온도와 같은 전극 제조법과 인자들에 의해 크게 영향을 받는다. 본 연구에서는 DSE 성능에 영향을 주는 다양한 전극 제조법 및 공정인자 중에서 모재인 티타늄의 표면 전처리 및 귀금속 산화물 층 조성이 전극의 성능과 수명에 미치는 영향을 고찰하였다.

  • PDF