• 한국정밀공학회지
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• 제28권6호
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• pp.694-700
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• 2011

Since polycrystalline diamond (PCD) has high hardness like diamond, it has been used as tool material for lathe and milling of non-ferrite material. A micro tool fabricated from PCD material can be used for micro machining of hard material such as tungsten carbide, glass, and ceramics. In this paper, micro PCD tools were fabricated by micro EDM (electrical discharge machining) and used for micro grinding of glass. Craters generated on the tool surface by EDM spark work as like grits in grinding process. The effects of tool shapes, tool roughness and PCD grain size were investigated. Also studied was a hybrid process combining electrochemical discharge machining (ECDM) and micro grinding for micro-structuring of glass.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.223-238
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• 2002

This paper presented on an environment estimation of cutting fluid which is a mouse model of acute bacterial rhinosinusitis using cutting fluid in grinding and cutting. Above results will be remarked the necessity of friendly environmental cutting skill when it had used in workshop. The results of a mouse experimental using cutting fluid showed that it are occurred to the respiratory organs sickness. Also cutting fluid are occurred to hurtfulness a person when it used to grinding and cutting in workshop. Also, the results of grinding experiments in avitation materials showed that surface roughness are superior to more emulsion type oil than vegetable type oil according to increase of the depth of cut. Grinding force are similar to both emulsion type oil and vegetable type oil.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권11호
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• pp.228-233
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• 2002

In this work, a new non-photolithographic micro-fabrication technique is presented. The motivation of this work is to overcome the demerits of the most commonly used photolithographic techniques. The micro-fabrication technique presented in this work is a two-step process which consists of mechanical scribing followed by chemical etching. This method has many advantages over other micro-fabrication techniques since it is simple, cost-effective, rapid, and flexible. Also, the technique can be used to obtain a metal structure which has sub-micrometer width patterns. In this paper, the concept of this method and its application to microsystem technology are described.

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 1998년도 제27회 춘계학술대회
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• pp.91-96
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• 1998

In recent years, the tribological behavior of coated ceramic material has been the topic of much interest. Particularly, the understanding of the tribological performance of thin film under light load is important for potential applications in MEMS. In this work under light load and low speed, the tribological behavior of coated silicon was investigated. The results show that both adhesive and abrasive wear occur depending on the sliding condition. Also the effect of humidity on friction was influenced by the apparent ares of contact between the two surfaces. Finally, undulations on the silicon wafer were found to be effective in trapping wear particles.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1897-1901
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• 2003

Recently, with the development of semiconductor technology the miniaturization of products as well as parts and the products with high precision are being required. In addition as a national competitive power is increasingly effected by micro part development through micro machining and the secure of micro machining technology, the study of micro machining technology is being conducted in many countries. The goal of this study is to fabricate micro tool under the size of 30$\mu\textrm{m}$ and machine micro holes through micro tool fabrication by grinding, the application of ELID to grinding wheel and the measurement of surface roughness for micro tool.

• 한국정밀공학회지
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• 제12권8호
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• pp.5-18
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• 1995

공작기계의 정밀도는 정적, 동족 그리고 열적 특성에 좌우된다는 사실은 4장 Fig. 4-3의 예를 들어 충분히 설명한 바 있다. 4장에서는 주로 정적특성(Static behavior)에 대해서 설명한 바 있으나 이번에는 동적특성에 대해서 논술하고자 한다. 진동문제의 해소는 가공기술의 향상, 공작기계의 진보에 절대적으로 중요한 과제이다. 절삭, 연삭 및 미세가공에서 진동이 발생하여 가공을 계속할 수 없게 되거나 가공을 했다해도 가공표면에 Chatter mark를 남기게 되어 요구 품질을 만족할 수 없는 경우가 있다. 공작기계는 많은 부품을 조립하여 만든 것이기 때문에 동적현상은 다질량(Mult-mass)으로 고려해서 진동을 생각해야 겠지만 대부준의 경우 단위 질량(Single-mass) 으로 생각하여 Fig. 5-1과 같이 그 진동이론을 종합하고 있다.

• 한국마린엔지니어링학회:학술대회논문집
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• 한국마린엔지니어링학회 2006년도 전기학술대회논문집
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• pp.331-332
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• 2006

연료 분사펌프는 600bar 이상의 고압 연료를 분사밸브를 통하여 디젤기관의 연소실에 연속적으로 공급하는 장치이며, PLUNGER&BARREL 은 분사펌프의 핵심 부품으로 작동하고 고온 고압의 환경에서 $4{\mu}m$ 미만의 초정밀 간극을 유지해야 한다. 이러한 정밀한 가공 상태를 유지하기 위해선 내마모성 및 내열성에 적합한 재료와 열처리가 필수 요소이다. 현재 주로 사용되고 있는 방식은 DIAMOND STONE 에 의한 HORNIG 가공을 주로 사용하기 있다. 하지만, 연삭 가공과는 달리 별도의 치수 보정 장치가 없는 관계로, STONE 마모와 그에 따르는 마모량 공차에 의한 정밀 치수 확보의 어려움으로 인해, 고비용 저효율의 약점을 가지고 있다. 그러므로 기존의 HORNING STONE 방식을 대체한 PIN 방식의 HORNING MACHINE 개발을 목표로 한다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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• pp.1787-1792
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• 2003

Recently with the development of semiconductor technology, the miniaturization of parts and products as well as their high precision is required. In addition, as the national competitiveness is increasingly affected by the development of the micro parts through micro machining technology, the study of the micro machining technology is being conducted in many countries. The goal of this study is to fabricate micro tools under the size of $20{\mu}m$ and to machine micro holes using them. The fabrication is done by grinding and the application of ELID to the grinding wheel. The surface roughness of the micro tools is measured to evaluate the study.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1991년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.103-110
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• 1991

본 연구에서는 최근들어 첨단 가공기술로서 중요시되고있는 초정밀 경면가공기술의 기본원리를 이해하고 관련지식을 습득하여 향후 보다 나은 상태의 경면가공을 위한 기초를 확립하는데에그 목적을 두었다. 실험을 위한 공작기계는 초정밀 만능 연삭반( high precision universal grinder)에 플라이컷(fly-cut)방식에 의한 절삭가공이 가능 하도록 여러가지장치들을 부착하였으며, 절삭공구는 천연 다이아몬드를 사용하고, 피삭재는 A1-Cu-Ni-Mg 합금을 사용하였다. 본 실험에서는 주어진 조건내에서 어느정도의 표면 조도를 달성할수 있는지를 알아보고 그 과정을 통하여 공작기계, 공구, 피삭재등의 영향과 절삭력, 칩, 표면상태등을 고찰하여 여러가지 현상을 규명하여 향후의 발전을 위한 대책에 활용하고자 한다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.265-265
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• 2004

최근 IT산업으로 대표되는 광통신 및 광신호 전달에 이용되는 광 반사경 및 렌즈어레이, 광가이드 판넬(BLU, FLU)등 광부품의 수요가 급증하고 있고, 이의 생산을 위한 다양한 제조공정이 연구 개발되고 있다 근년까지 이러한 마이크로 광부품의 제조방법은 포토리소그래피, 에칭기술을 베이스로 한 MEMS 기술, PDMS를 이용한 복재기술에 크게 의존하고 있다. 기계적 가공법으로는 오래전부터 초정밀 경면 선삭이나 연삭에 의한 마이크로 렌즈와 미세 패턴의 금형가공이 이루어져 왔다.(중략)