• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.15 no.4
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• pp.1879-1884
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• 2014

Recently, the micro bonding technology comes into the spotlight as the miniaturization of the electronic product. The micro bonding technique can classify by way of laser welding and ultrasonic bonding and etc. However, the research on the micro bonding is much lacks. In this paper, carried out the cooling analysis of the 60 [kHz] ultrasonic bonding equipment to know heat effect of the piezoelectric element when the ultrasonic bonding equipment was operated. The ultrasonic horn having the natural frequency with 60 [kHz] for the dissimilar material bonding of the glass and solder tried to be designed. The parameters and response was set through the basic experiment. The dissimilar material bonding strength analysis using the 60 [kHz] ultrasonic bonding equipment was done. We carried out the bonding for improving bonding strength to using the silver paste. air thightness of bonding surface was confirmed by analysis of bonding interfaces.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• v.26 no.3
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• pp.206-214
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• 2001

근관계의 완전한 충전을 위해 기계적인 근관 확대 및 화학적인 세척은 필수 불가결하다. 근관내 기구 조작 시 근관벽에는 무기물과 유기물로 구성된 도말층이 형성되는데, 이 층은 서서히 분해되어 충전재 주위에서 미세누출을 야기하고, 세균과 그 부산물이 이동할 수 있는 통로를 제공하기 때문에 제거되어야 한다. 현재 이러한 목적을 위해 다양한 기구들과 세척 용액들이 이용되고 있다. 최근에는 근관확대를 위해 엔진 구동형 니켈-티타늄 파일이 개발되어 임상에서 널리 사용되고 있으며, 이러한 엔진 구동형 파일을 사용할 때는 윤활제의 사용이 필수적이다. 현재 시판되고 있는 윤활제들에는 도말층 제거를 위한 EDTA가 함유되어 있다. 따라서, 본 연구의 목적은 엔진 구동형 니켈-티타늄 파일을 이용해 근관을 확대할 경우 이런 윤활제들의 도말층 제거 효과를 비교 평가하는 것이다. 본 실험에는 75개의 치아가 각각 15개씩 5개의 군으로 분류되어 사용되었다. 대조군은 윤활제를 사용하지 않은 경우이고, 실험 1군에서는 윤활제로 RC-PREP$^{TM}$이, 실험 2군에서는 Glyde$^{TM}$가 각각 사용되었고. 실험 3군은 RC-PREP$^{TM}$을 사용한 후 17% EDTA로 처리하였으며. 실험 4군은 Glyde$^{TM}$를 사용한 후 17% EDTA로 처리하였다. 처리된 시편을 절단한 후 주사전자현미경을 통해 시편의 근관의 중앙부와 치근단 부위를 관찰하여 얻어진 결과는 다음과 같다. 1. 대조군과 실험군의 비교시, 대조군에서 더 많은 양의 도말층이 관찰되었고, 이는 통계학적으로 유의성이 있었다 (p<0.01). 2. 윤활제의 종류에 따른 비교 시, Glyde$^{TM}$를 사용한 2군에서 RC-PREPTM을 사용한 1군 보다 더 적은 양의 도말층이 관찰되었지만, 이는 통계학적으로 유의성이 없었다. 3. 윤활제 사용과 EDTA 처리에 따른 효과 비교 시, EDTA로 처리한 3, 4군에서 윤활제만을 사용한 1, 2군 보다 더 적은 양의 도말층이 관찰되었으며, 이는 통계학적으로 유의성 이 있었다(P<0.01). 4. 치근 중앙부와 치근단 부위에서의 도말층 제거 효과 비교 시, 1, 2군에서는 치근 중앙부에서 더 적은 양의 도말층이 관찰되었고, 통계학적으로 유의성이 있었다(P<0.01). 3, 4군에서는 중앙부의 도말층이 더 적었지만 통계학적으로 유의성이 없었다. 이상으로부터 EDTA가 함유된 윤활제를 함께 사용하면서 엔진구동형 니켈-티타늄 파일로 근관확대 시, 근관벽에 형성된 도말층 제거에 대한 파일의 효능이 상승되었다. 그러나, 윤활제의 도말층 제거 효과는 17% EDTA용액으로 근관벽을 처리하는 것보다는 낮았다 따라서, 엔진구동형 니켈-티타늄 파일로 근관확대 시 EDTA가 함유된 윤활제를 함께 사용하는 것이 요구되고, 보다 완벽하게 도말층을 제거하기 위해서는 충전 전에 17% EDTA 용액으로 근관벽을 처리하는 것이 필요하다고 사료된다.

• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.14 no.2
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• pp.128-133
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• 2009

This paper describes the development of a miniature high voltage power supply for driving an image intensifier tube (IIT). The IIT is used for portable night vision devices to observe an object in the dark. A small-sized high voltage power supply generating thousands volts from the battery power source is needed to drive the IIT. This paper presents the design and implementation of the high voltage power supply for the IIT. The experimental results are provided to verify the operation of the developed power supply.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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• v.19 no.8
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• pp.43-49
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• 2020

The growth of the AR/VR market due to the advent of the 4th Industrial Revolution begins with the development of the display industry. The development of OLED and flexible displays is further accelerated by the development of R2R technology. Micro-processing technology using a fast tool servo (FTS), the core technology in R2R processes, is making technological progress in increasingly diverse ways. This paper proposes a method to develop an FTS for horizontal driving and presents this method through experiments and analyses. To develop a swing-type FTS based on a seesaw motion, a rotational moment hinge structure was designed for each type, and research was conducted to determine an effective design method. A cantilever-based swing-type FTS was developed in two variations: one with single-side hinges and another with dual-side hinges. The parameters in the design of the swing-type FTS are rotational moment, natural frequency, and material selection. In conclusion, an FTS with a single-side hinge demonstrates the high performance required for micro processing.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.19 no.4
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• pp.161-167
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• 2002

For the purpose of applying to micro-actuator, thermal properties and displacement of electrostrictive polyurethane(PU) elastomers have been measured. In order to understand an effect of PU component, crosslinking agent are controlled by 0.5 wt% and 1 wt%. DMPA and anther chain extenders were used. PU sample that chain extenders are DMPA is added NaOH for comprehension of effect of ionic groups. The deposited electrode sire on PU films is equal to acrylic holder size when the displacement was measured. Dynamic response according to frequency, displacement and recovery time according to PU thickness were measured. 1 wt% crosslinking agent contents PU samples have higher displacement and lower recovery time than 0.5 wt% crosslinking agent contents PU. If the PU thickness is increased, the actuating voltage for generating of same displacement is increased, too.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2006.05a
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• pp.665-666
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• 2006

In precision laser microfabrication, focusing is essential to acquire good machining precision and uniform machining quality. If it does not perform, laser machining cannot be realized. So, confocal scanning method with high depth resolution is used for focus detection technique. This paper is concerned with a procedure for design, analysis and performance test of an autofocus fine actuating stage, which is composed of flexure-hinge type lever mechanism and piezoelectric actuator. Through series of analytical design, the stage is simplified as a rigid bodies(lever and main body) and springs(flexure hinges). The simplified model was applied to determine the dimension of flexure hinges and lever. After structural analysis confirmed design requirement, an actual stage was made and verified through an experiment on the static and dynamic characteristics(maximum stroke and 1st natural frequency). The fabricated stage was satisfied with the design requirement.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.285-285
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• 2011

최근 반도체 소자의 미세화에 따라, 단채널 효과에 의한 누설전류 및 소비전력의 증가 등이 문제되고 있다. 대표적인 휘발성 메모리인 dynammic random access memory (DRAM)의 경우, 소자의 집적화가 진행됨에 따라 저장되는 정보의 양을 유지하기 위해 캐패시터영역의 복잡한 공정을 요구하게 된다. 하나의 캐패시터와 하나의 트랜지스터로 이루어진 기존의 DRAM과 달리, single transistor (1T) DRAM은 silicon-on-insulator (SOI) 기술을 기반으로 하여, 하나의 트랜지스터로 DRAM 동작을 구현한다. 이러한 구조적인 이점 이외에도, 우수한 전기적 절연 특성과 기생 정전용량 및 소비 전력의 감소 등의 장점을 가지고 있다. 또한 strained-Si 층을 적용한 strained-Silicon-On-Insulator (sSOI) 기술을 이용하여, 전기적 특성 및 메모리 특성의 향상을 기대 할 수 있다. 본 연구에서는 sSOI 기판위에 1T-DRAM을 구현하였으며, impact ionization과 gate induced-drain-leakage (GIDL) 전류에 의한 메모리 구동 방법을 통해 sSOI 1T-DRAM의 메모리 특성을 평가하였다. 그 결과 strain 효과에 의한 전기적 특성의 향상을 확인하였으며, GIDL 전류를 이용한 메모리 구동 방법을 사용했을 경우 낮은 소비 전력과 개선된 메모리 윈도우를 확인하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.1550-1551
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• 2007

노즐 직경 $30\;{\mu}$인 MEMS 압전 잉크젯 헤드를 이용하여 Ag 나노 잉크를 PDMS 처리된 PI(Polyimide) 기판 위에 토출하였다. 구동주파수 5 KHz에서 액적부피 1.5 pl, 속도가 약 4.5 m/s인 액적이 토출 되었다. 인쇄된 액적의 크기는 직경 약 $12\;{\mu}m$이었다. 메니스커스의 거동에 맞춘 구동파형의 입력에 의해 새틀라이트 없는 매우 작은 액적을 토출할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.244-244
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• 2010

최근 활발히 연구되고 있는 AMOLED는 평판 디스플레이 분야를 이끌어 갈 차세대 선두 주자로 크게 주목 받고 있다. AMOLED는 전압 구동 방식인 AMLCD와 다르게 전류 구동 방식으로 a-Si TFT 보다 LTPS-TFT 사용이 요구되며, 대면적 기판으로 갈수록 결정립의 균일도가 매우 중요한 인자로 작용한다. 현재 양산이 가능한 AMOLED는 핸드폰이나 15인치 TV정도로 크기가 소형이며 대형 TV나 컴퓨터 모니터 등을 양산하기 위해 많은 방법이 시도되고 있다. 양산체제에서 사용되는 결정화 방법으로는 ELC가 가장 많은 부분을 차지하고 있다. 그러나 레이저를 사용하는 ELC 방법은 대면적으로 갈수록 레이저 빔 자체의 불균일성, shot to shot 불균일성, 레이저빔 중첩의 부정확도 등으로 인한 균일도의 부정확성이 커짐으로 인한 mura 현상이 나타나고 레이저 장비의 사용에 대한 비용 부담을 피할 수 없다. 따라서 non-laser 방식에 결정화 방법이 요구되나 SPC 경우는 상대적으로 고온에서 장시간이 걸리고, MIC 뿐만 아니라 MIC 응용 방법들은 금속 오염에 대한 문제가 발생하고 있는 실정이다. 이러한 문제로 인하여 결정립 크기의 균일도가 우수한 다결정 실리콘 박막을 제조하는 신기술에 대한 필요성이 매우 높은 실정이다. 본 연구에서는 비정질 실리콘 박막 상부 혹은 하부에 도전층을 개재하고, 상기 도전층에 전계를 인가하여 그것의 주울 가열에 의해 발생한 고열로 비정질 실리콘 박막을 급속 고온 고상 결정화하는 방법에 관한 기술인 JIC (Joule-heating Induced Crystallization) 결정화 공정을 개발하였다. 본 공정은 상온에서 수 micro-second 내에 결정화를 수행하는 것이 가능하며 도전층과 실리콘 박막 사이에 barrier층 삽입를 통하여 금속 오염을 막을 수 있으며 공정적인 측면에서도 별도의 chamber가 필요하지 않는 장점을 가지고 있다. 본 논문에서는 JIC 결정화 공정 조건에 따른 결정화 기구 및 JIC poly-Si의 미세구조 및 물리적 특성에 관한 논의가 이루어질 것이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.259-259
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• 2016

반도체 산업 전반에 걸쳐 이루어지고 있는 연구는 소자를 더 작게 만들면서도 구동능력은 우수한 소자를 만들어내는 것이라고 할 수 있다. 따라서 소자의 미세화와 함께 트랜지스터의 구동능력의 향상을 위한 기술개발에 대한 필요성이 점차 커지고 있으며, 고유전(high-k)재료를 트랜지스터의 게이트 절연막으로 이용하는 방법이 개발되고 있다. High-k 재료를 트랜지스터의 게이트 절연막에 적용하면 낮은 전압으로 소자를 구동할 수 있어서 소비전력이 감소하고 소자의 미세화 측면에서도 매우 유리하다. 그러나, 초미세화된 소자를 제작하기 위하여 high-k 절연막의 두께를 줄이게 되면, 전기적 용량(capacitance)은 커지지만 에너지 밴드 오프셋(band-offset)이 기존의 실리콘 산화막(SiO2)보다 작고 또한 열공정에 의해 쉽게 결정화가 이루어지기 때문에 누설전류가 발생하여 소자의 열화를 초래할 수 있다. 따라서, 최근에는 이러한 문제를 해결하기 위하여 게이트 절연막 엔지니어링을 통해서 누설전류를 줄이면서 전기적 용량을 확보할 수 있는 연구가 주목받고 있다. 본 실험에서는 high-k 물질인 Ta2O5와 SiO2를 적층시켜서 누설전류를 줄이면서 동시에 높은 캐패시턴스를 달성할 수 있는 게이트 절연막 엔지니어링에 대한 연구를 진행하였다. 먼저 n-type Si 기판을 표준 RCA 세정한 다음, RF sputter를 사용하여 두께가 Ta2O5/SiO2 = 50/0, 50/5, 50/10, 25/10, 25/5 nm인 적층구조의 게이트 절연막을 형성하였다. 다음으로 Al 게이트 전극을 150 nm의 두께로 증착한 다음, 전기적 특성 개선을 위하여 furnace N2 분위기에서 $400^{\circ}C$로 30분간 후속 열처리를 진행하여 MOS capacitor 소자를 제작하였고, I-V 및 C-V 측정을 통하여 형성된 게이트 절연막의 전기적 특성을 평가하였다. 그 결과, Ta2O5/SiO2 = 50/0, 50/5, 50/10 nm인 게이트 절연막들은 누설전류는 낮지만, 큰 용량을 얻을 수 없었다. 한편, Ta2O5/SiO2 = 25/10, 25/5 nm의 조합에서는 충분한 용량을 확보할 수 있었다. 적층된 게이트 절연막의 유전상수는 25/5 nm, 25/10 nm 각각 8.3, 7.6으로 비슷하였지만, 문턱치 전압(VTH)은 각각 -0.64 V, -0.18 V로 25/10 nm가 0 V에 보다 근접한 값을 나타내었다. 한편, 누설전류는 25/10 nm가 25/5 nm보다 약 20 nA (@5 V) 낮은 것을 확인할 수 있었으며 절연파괴전압(breakdown voltage)도 증가한 것을 확인하였다. 결론적으로 Ta2O5/SiO2 적층 절연막의 두께가 25nm/10nm에서 최적의 특성을 얻을 수 있었으며, 본 실험과 같이 게이트 절연막 엔지니어링을 통하여 효과적으로 누설전류를 줄이고 게이트 용량을 증가시킴으로써 고집적화된 소자의 제작에 유용한 기술로 기대된다.