Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Studies on Fine Metal Droplet Jetting using Piezoelectric Inkjet Head

압전 잉크젯 헤드를 이용한 미세금속액적 토출 연구

  • Park, Chang-Sung (eMD Center, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Kim, Young-Jae (eMD Center, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Sim, Won-Chul (eMD Center, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Park, Jung-Hoon (CAE Group, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Kang, Pil-Joong (eMD Center, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Yoo, Young-Seuck (eMD Center, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics) ;
  • Joung, Jae-Woo (eMD Center, Central R&D Institute, Samsung Electro-Mechanics)
  • 박창성 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ;
  • 김영재 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ;
  • 심원철 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ;
  • 박정훈 (삼성전기 중앙연구소 CAE Group) ;
  • 강필중 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ;
  • 유영석 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ;
  • 정재우 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center)
  • Published : 2007.07.18
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Abstract

노즐 직경 $30\;{\mu}$인 MEMS 압전 잉크젯 헤드를 이용하여 Ag 나노 잉크를 PDMS 처리된 PI(Polyimide) 기판 위에 토출하였다. 구동주파수 5 KHz에서 액적부피 1.5 pl, 속도가 약 4.5 m/s인 액적이 토출 되었다. 인쇄된 액적의 크기는 직경 약 $12\;{\mu}m$이었다. 메니스커스의 거동에 맞춘 구동파형의 입력에 의해 새틀라이트 없는 매우 작은 액적을 토출할 수 있었다.

Keywords