• Title/Summary/Keyword: 막 증발법

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BN 코팅층의 광학 특성에 관한 연구

  • 김경태;이성훈;이건환
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2002.05a
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    • pp.12-12
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    • 2002
  • hexagonal Boron Nitride (hBN), rhombohedral Boron Nitride (rBN)과 고밀도의 wurzitic Boron N Nitride (wBN), cubic Boron Nitride (cBN) 등의 다양한 상을 갖는 Boron nitride는 그 결정구조에 따라 저밀도, 고밀도 박막으로 분류되며 이중 hBN과 rBN은 층간 결합이 약한 $sp^2$ 결합특성을 가지고, wBN 과 cBN은 강한 $sp^3$ 결합특성을 가지고 있다. 현재까지 $sp^3$결합을 갖는 BN의 우수한 특성을 응용하기 위한 수 많은 연구들이 있어왔다. 특히 cBN은 다이아몬드에 버금가는 높은 경도뿐만 아니라 높은 화 학적 안정성 및 열전도성 등 우수한 물리화학적 특성을 가지고 있어 마찰.마모, 전자, 광학 등의 여러 분야에서의 산업적 응용이 크게 기대되고 있다. 그러나 이와 같이 BN박막의 기계적 물성과 관련한 연 구는 많이 진행되어 왔으나 전기.전자적, 광학적 특성에 관한 연구는 미비한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 BN박막의 또 다른 웅용 분야를 탐색하고자 ME - ARE (Magnetically Enhanced A Activated Reactive Evaporation)법 에 의 해 합성 된 BN박막의 광학적 특성 에 관하여 조사하였다. BN박 막합성 은 전자총에 의 해 증발된 보론과 질소.아르곤 플라즈마의 활성 화반응증착(Activated Reactive E Evaporation)에 의해 이루어졌다. 기존의 ARE장치와 달리 열음극(hot cathode)과 양극(anode)사이에 평 행자기장을 부가하여 플라즈마의 증대시켜 반웅효율을 높였다. 합성실험용 모재로는 기본적인 특성 분 석을 위해 p-type으로 도핑된 (100) Si웨이퍼를 $30{\times}40mm$크기로 절단 후, 10%로 희석된 완충불산용액 에 10분간 침적하여 표면의 산화층을 제거한 후 사용하였으며, 광학특성 분석을 위해 $30{\times}30mm$의 glass를 아세톤으로 탈지.세척한 후 사용하였다. 박막합성실험에서 BN의 광학적 특성에 미치는 공정변수의 영향을 파악하기 위하여, 기판바이어스 전압, discharge 전류, $Ar/N_2$가스 유량비 등을 달리하여 증착하였다. 증착된 박막은 FTIR 분석을 통하 여 결정성을 확인하였으며, AFM 분석을 통하여 코팅층의 두께를 측정하였고, UV - VIS spectormeter를 이용하여 투광특성을 평가하였다.

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Synthesis and Properties of Ba(Ti,Sn)O3 Films by E-Beam Evaporation (전자빔증발법에 의한 Ba(Ti,Sn)O3막의 제조 및 특성)

  • Park, Sang-Shik
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.18 no.7
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    • pp.373-378
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    • 2008
  • $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films, for use as dielectrics for MLCCs, were grown from Sn doped BaTiO3 sources by e-beam evaporation. The crystalline phase, microstructure, dielectric and electrical properties of films were investigated as a function of the (Ti+Sn)/Ba ratio. When $BaTiO_3$ sources doped with $20{\sim}50\;mol%$ of Sn were evaporated, $BaSnO_3$films were grown due to the higher vapor pressure of Ba and Sn than of Ti. However, it was possible to grow the $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films with {\leq}\;15\;mol%$ of Sn by co-evaporation of BTS and Ti metal sources. The (Ti+Sn)/Ba and Sn/Ti ratio affected the microstructure and surface roughness of films and the dielectric constant increased with increasing Sn content. The dielectric constant and dissipation factor of $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films with {\leq}\;15\;mol%$ of Sn showed the range of 120 to 160 and $2.5{\sim}5.5%$ at 1 KHz, respectively. The leakage current density of films was order of the $10^{-9}{\sim}10^{-8}A/cm^2$ at 300 KV/cm. The research results showed that it was feasible to grow the $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films as dielectrics for MLCCs by an e-beam evaporation technique.

단일벽 탄소나노튜브의 직경 분포에 미치는 합성 템플레이트 및 공정변수의 영향

  • Gwak, Eun-Hye;Yun, Gyeong-Byeong;Jeong, Gu-Hwan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.250-250
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    • 2013
  • 단일벽 탄소나노튜브(Single-walled nanotubes, SWNTs)는 나노스케일의 크기와 우수한 물성으로 인하여, 전자, 에너지, 바이오 분야로의 응용이 기대되고 있다. 특히 SWNTs의 직경을 제어하게 되면 튜브의 전도성 제어가 훨씬 수월하게 되어, 차세대 나노전자소자의 실현을 앞당길 수 있으며 이러한 이유로 많은 연구들이 현재 행해지고 있다. SWNTs의 직경제어 합성을 위해서는 현재 열화학기상증착법(Thermal chemical vapor deposition; TCVD)이 가장 일반적으로 이용되고 있으며, 합성 촉매와 합성되는 튜브의 직경과의 크기 연관성이 알려진 후로는, 촉매의 크기를 제어하여 SWNTs의 직경을 제어하고자 하는 연구들이 활발하게 보고되고 있다. 특히, 촉매 나노입자의 직경이 1~2 nm 이하로 감소될 경우, SWNTs의 직경 분포가 어떻게 변화할 것인지가 최근 가장 중요한 관심사로 남아 있으나, 이러한 크기의 금속입자는 나노입자의 융점저하 현상이 발현되는 영역이므로, SWNTs의 합성온도 영역에서 촉매 금속입자는 반액체(Semi-liquid) 상태로 존재할 것으로 추측하고 있다. 본 연구에서는 고온의 SWNTs 합성환경에서 금속나노촉매의 유동성을 제한하기 위하여 나노사이즈의 기공이 규칙적으로 정렬된 다공성 물질인 제올라이트를 촉매담지체로 이용하였고, 이 때 다양한 합성변수가 SWNTs의 직경에 미치는 영향을 살펴보고자 하였다. SWNTs의 합성을 위해 실리콘 산화막 기판 위에 제올라이트를 도포한 후, 합성 촉매로서 전자빔증발법을 통하여 수 ${\AA}$에서 수 nm 두께의 철 박막을 증착하였다. 합성은 메탄을 원료가스로 하여 TCVD법으로 실시하였다. 주요변수로는 제올라이트 종류, 증착하는 철 박막의 두께, 합성온도를 설정하였으며, 이에 따라 합성된 SWNTs의 합성수율 및 직경분포의 변화를 체계적으로 살펴보았다. SWNTs의 전체적인 합성수율의 변화는 SEM 관찰결과를 이용하였으며, SWNTs의 직경은 AFM 관찰 및 Raman 스펙트럼의 분석에서 도출하였다. 실험결과, 제올라이트 종류에 따라서는 명확한 튜브직경 분포의 변화 없이 비교적 좁은 직경분포를 갖는 SWNTs가 합성되었으며, 합성온도가 $850^{\circ}C$ 이하로 감소되면 합성수율이 현저히 감소되는 것을 알 수 있었다. 촉매박막의 두께가 1 nm 이상인 경우에서는 직경 5 nm 전후의 나노입자가 형성되었으며, 이때 SWNTs의 합성수율은 높았으나 다양한 직경의 튜브가 합성이 된 것을 확인할 수 있었다. 반면, 촉매입자의 크기가 2 nm 이하에서는 합성수율은 다소 저하되었으나, SWNTs의 직경분포의 폭이 상대적으로 훨씬 좁아지는 것을 알 수 있었다. 추후, 극미세 촉매와 저온합성 환경에서의 합성수율 향상을 위한 합성공정의 개량이 지속적으로 요구된다.

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Pervaporation Separation of Ethanol Aqueous Solution through Carbonate-type Polyurethane Membrane II. The Effect of Pendent Anionic Group (카보네이트형 폴리우레탄막을 이용한 에탄올 수용액의 투과증발분리 II. 음이온성기에 의한 영향)

  • Han, In Ki;Oh, Boo Keum;Lee, Young Moo;Noh, Si Tae
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.3 no.4
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    • pp.595-604
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    • 1992
  • Carbonate-type polyurethane resins containing anionic moieties were systhesized from NCO-terminated prepolymer method. Membranes were manufactured from the polymer solution and the separation of aqueous ethanol solution was investigated. To enhance the property of urethane resin, carbonate-type polyol(PTMCG) was used. ${\alpha}^{\prime},{\alpha}^{{\prime}{\prime}}$-dimethylolpropionic acid was used as a chain extender to increase the hydrophilicily of the urethane membrane. The ionization of the pendent carboxylic groups in urethane resin was carried out using trimthylamine. To confirm the formation of anionic groups in urethane resin, IR spectra of model compounds were compared with those of urethane resins. It was confirmed that the concentration of hard segment and hydrogen bond contributed to the property of the concentration of hard segment and hydrogen bond contributed to the property of urethane resin in which the mole ratio of chain extender and polyol was from 3:1 to urethane resin in which the mole ratio of chain extender and polyol was from 3:1 to 5:1. The carbonate-type polyurethane containing pendent carboxylic grop(PU) had Tg of around-$25^{\circ}C$ and Tm, $45^{\circ}C$ measured by DSC. Transition temperatures of one containing pendent anionic group(APU) prepared from the ionization of PU shifted to $8{\sim}10^{\circ}C$ lower temperature region than those of PU. Pervaporation membrane was prepared through the casting method. N, N-dimethylformamide (DMF) were used as a solvent and hexamethylene diisocyanate(HMDl) as a crosslinking agent. Swelling degree increased with ethanol concentration in mixure and the control of the swelling degree of the membrane could be achieved by crossliking. The results of pervaporation were as follows : separation factor, 2.3~9.8 ; flux, $27{\sim}79.5g/m^2hr$. Pervaporation separation capacity could be enhanced by reducing the molecular weight of polyol from 2,000 to 1,000.

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$\beta$-차단제의 약효검색범

  • 안형수
    • Proceedings of the Korean Society of Applied Pharmacology
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    • 1992.05a
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    • pp.47-47
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    • 1992
  • $\beta$수용체에 대한 차단약으로 propranolol이 1964년에 도입된 후, 현재까지 수십여종의 $\beta$-차단약이 개발되었다. 그중 특이 $\beta$1 수용체에 대해 선택적인 억제효과를 지닌 atenolol, metoprolol, betaxolol, celiprolol 및 최근에 bisoprolol 등이 개발되어 임상적으로 부정맥, 협심증, 고혈압의 치료에 사용되고 있다. 그 작용기전으로는 심박출량의 감소, renin 유리억제, 중추억제효과 등이 제시되고 있으나, 이들의 약효검색은 주로 $\beta$1수용체가 많이 존재하는 심장에 대한 억제효과를 중심으로 실시한다. 즉, SHR 및 개를 사용한 생체실험과 심장, 심방 ($\beta$1) 및 기완지, 혈관($\beta$2)을 이용한 적출장기실험을 통하여 isoproterenol에 대한 억제효과를 용량반응 곡선으로 그리고, Van rossum 법에 의해 pA$_2$ 치를 구하여 $\beta$-차단제의 효력을 평가한다. 특히, pA$_2$ 치가 클수록 $\beta$-차단제의 효력이 큰 약물이다. 또한 수용체 결합실험으로 소의 심실 세포막을 분리하여 $^3$H-DHA 와의 결합실험을 통해 해리항수(Kd) 를 측정하고, 이어서 $^3$H-DHA의 일정농도와 함께 미지의 $\beta$-차단제를 여러 농도로 변화시켜 가하여 치환곡선을 작성한다. 여기에서 얻은 치환약의 $IC_{50}$/ 치로부터 치환약의 해리항수(Ki)를 산출한다. 이때 약물과 수용체의 친화력은 해리항수의 역수이므로 해리항수가 적을수록 $\beta$ 수용체에 대한 친화력이 큰 약물이다. 시사되었으며, 이 조직에서 또한 5-$HT_2$와 5-$HT_3$ 수용체의 존재를 확인하고 각각의 기능을 분명히 했다.가 수월하게 하였고 메모리를 동적으로 관리할 수 있게 하였다. 또한 기존의 smpl에 디버깅용 함수 및 설비(facility) 제어용 함수를 추가하여 시뮬레이션 프로그램 작성을 용이하게 하였다. 예를 들면 who_server(), who_queue(), pop_Q(), push_Q(), pop_server(), push_server(), we(), wf(), printfct() 같은 함수들이다. 또한 동시에 발생되는 사건들의 순서를 조종하기 위해, 동시에 발생할 수 있는 각각의 사건에 우선순위를 두어 이 우선 순위에 의하여 사건 리스트(event list)에서 자동적으로 사건들의 순서가 결정되도록 확장하였으며, 설비 제어방식에 있어서도 FIFO, LIFO, 우선 순위 방식등을 선택할 수 있도록 확장하였다. SIMPLE는 자료구조 및 프로그램이 공개되어 있으므로 프로그래머가 원하는 기능을 쉽게 추가할 수 있는 장점도 있다. 아울러 SMPLE에서 새로이 추가된 자료구조와 함수 및 설비제어 방식등을 활용하여 실제 중형급 시스템에 대한 시뮬레이션 구현과 시스템 분석의 예를 보인다._3$", chain segment, with the activation energy of carriers from the shallow trap with 0.4[eV], in he amorphous regions.의 증발산율은 우기의 기상자료를 이용하여 구한 결과 0.05 - 0.10 mm/hr 의 범위로서 이로 인한 강우손실량은 큰 의미가 없음을 알았다.재발이 나타난 3례의 환자를 제외한 9례 (75%)에서는 현재까지 재발소견을 보이지 않고 있다. 이러한 결과는 다른 보고자들과 유사한 결과를 보이고 있지만 아직까지 증례가 많지 않기 때문에 생존율을 얻기에는 미흡한 점이

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