• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 2004.07a
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• pp.115-131
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• 2004

.Oxidized Mn and Fe retained by UF did not cause membrane fouling, but reduced it. .Periodic backwashing rather aggravated fouling due to the deposition of Mn oxides on the outside, which was associated with oxidation kinetics.

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 2000.04a
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• pp.51-54
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• 2000

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 2000.04a
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• pp.63-66
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• 2000

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1999.10b
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• pp.81-84
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• 1999

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 2000.07a
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• pp.39-77
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• 2000

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1999.04a
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• pp.139-141
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• 1999

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 1999.10a
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• pp.135-136
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• 1999

• Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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• 1996.04a
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• pp.48-49
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• 1996

산업발달과 도시인구의 집중현상은 물 수요의 급격한 증가를 초래하였고 날로 심각해지는 수질오염 및 수자원의 고갈이라는 어려움에 직면하고 있다. 이러한 요인으로 최근, 폐수 및 하수의 재이용기술 특히, 그 중에서도 막분리공정을 이용한 재 이용에 관심이 집중되고 있으며, 그 적용 또한 확산되고 있다. 특히, 막분리기술 중에서도 한외여과막이나 역삼투막을 이용한 공정이 큰 관심의 대상이 되고 있다. 막분리공정을 이용한 폐수 및 하수의 재이용에 대한 관심은 양호한 처리수질, 장치의 Compact 성, Scale-up의 용이성, 오염된 수자원의 재이용과 효융성이 우수하며, 현재는 경제성 등 몇가지의 문제점을 가지고 있으나, 그에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며 그 적용 또한 매년 증가하고 있는 추세이다. 본 연구에서는 폐수 및 하수 재이용시스템개발을 목적으로 사내에서 발생되는 금속표면처리폐수 및 도금폐수 그리고 호텔오수에 대해서 재이용가능성을 조사하기 위한 연구를 진행하였다. 연구의 목적달성을 위해 UF 및 RO Module를 장착한 Pilot Plant를 개발하여 연구를 진행하였으며, 이를 통하여 최적 폐수 재이용시스템의 개발, 유지관리, 현장적용을 최종 목표로 하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.05a
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• pp.177-181
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• 2006

반도체를 만드는데 있어서 여러가지 박막을 형성하는 공정이 있다. 이때 가장 많이 쓰이는 방법이 CVD(Chemical Vapor Deposition)방법이나 PVD(Physical Vapor Deposition)방법이다. 이들 방법으로 막을 형성하게 되면, 웨이퍼 이면에도 막이 형성되게 된다. 웨이퍼 후면에 증착된 막은 공정 특성상 두께분포가 균일하지 못하고 다음 공정 중에 웨이퍼 전면을 오염시킬 수 있다. 후면의 박막이 있는 상태로 웨이퍼가 batch 방식의 습식공정이 진행되면, 후면의 박막이 떨어져 나와서 웨이퍼 전면을 오염시키게 된다. 또한 공정에 따라서 기판전면은 식각 시키지 않고 후면만 식각 시키는 경우가 발생하는데, 이때 웨이퍼 아래에 설치된 노즐을 사용하여 웨이퍼 후면의 박막을 식각할 수 있다. 본 연구는 노즐에서 약액이 분사되는 방향과 위치를 조절하여 매엽식 장비에서 웨이퍼 후면의 막을 균일하게 식각 시킬 수 있는 노즐을 제작하고 웨이퍼 후면의 $Si_{3}N_{4}$막을 분당 $1000{\AA}$이상 식각 하였으며 균일도를 5% 이하로 하였다.

• Membrane Journal
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• v.15 no.4
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• pp.338-348
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• 2005

The permeate flux decline on microfiltration capillary membrane operation was investigated with inorganic colloidal solutions. The permeate flux of the alumina solution is two times higher in average than that of the bentonite solution. The flux decline with increase in operation time was less in the alumina solution than in the bentonite solution. The rate of initial flux decline until 10 min was higher on the bentonite solution over the alumina solution. The decline in permeate flux was due to both the cake formation and the pore blocking. The latter effect was higher in the operation of the bentonite solution. In comparing the ratio of each fouling component to the total fouling fur the $1.0\;kg_f/cm^2$ TMP condition, complete blocking was $9.35\%$, standard blocking was about $6.82\%$ and cake filtration was $83.83\%$, respectively. With the increase in cross flow velocity, the permeate flux increased by $6.0\%$ for the alumina solution and by 14.0 for the bentonite solution. With the increase in average pore size fromm $0.24\;{\mu}m\;to\;0.34\;{\mu}m$, the permeate flux increases 1.61 times for the alumina solution and 1.76 times far the bentonite solution.