• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.401-401
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• 2011

태양전지 제작에 있어서 에미터층의 최적화를 위해 POCl 도핑시 에미터층의 면저항 가변에 중요한 파라미터인 온도와 가스비를 변화하여 실험을 진행하였다. 본 실험에 사용될 최초 기판은 두께가 200${\pm}$5 ${\mu}m$, 비저항이 0.5~0.3 ${\Omega}{\cdot}cm$의 P-type(100) 실리콘 기판을 사용하였으며 먼저 POCl3양과 deposition 시간 그리고 산소와 질소의 양을 고정시키고 온도에 따른 에미터 면저항 변화를 알아보았다. 온도는 830, 840, 850, 860, 870, 880$^{\circ}C$로 가변시켰으며 공정온도가 높아질수록 면저항 값이 낮아짐을 알 수 있었다. 균일도는 낮은 온도에서는 다소 좋지 않았지만 온도가 높아질수록 점차 좋아졌으며 870$^{\circ}C$ 이상에서는 거의 균일한 값을 얻을 수 있었다. 한편, 이번에는 공정온도를 고정하고 산소와 POCl3 가스량의 변화에 따른 면저항 특성과 균일도를 알아보았다. 가스비와 압력 그리고 위치별 면저항 특성에 대해서 알아보았고 부분압이 증가함으로 반응로 내의 O2의 양이 증가함을 알 수 있었다. 증가한 O2는 도핑과정에서 산화막을 더 두껍게 형성하게 하며 높은 면저항 값을 가져오게 하였다. 즉, 충분한 가스량의 주입으로 도핑시 균일도를 향상시킬 수 있었다. 이와 같이 부분압이 증가함에 따라 면저항의 증가와 균일도의 향상을 가져왔다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.11 no.1
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• pp.49-57
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• 2004

The modified polyionene polyelectrolyte inks were newly prepared and applied to the humidity-sensitive membrane of humidity sensor. The films were fabricated on the alumina substrate with comb-type gold electrode using a ink-jet printing technique. The copolymers of methyl methacrylate, acrylic acid, 2-hydroxyethyl methacrylate and [(2-methacryloyloxy)ethyl]trimethylammonium chloride were also prepared for the humidity-sensing material. which was fabricated by dip-coating method. Electrical measurements under various relative humidity were performed. The humidity-sensitive characteristics of sensors obtained by ink-jet printing technique were compared with that of dip-coating method. Humidity sensors showed a decrease in resistance as an increase of relative humidity and their resistance characteristics are in a close agreement each other.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.94-94
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• 2018

무인자동차 및 전기자동차 등 전장부품 및 메인보드에서의 오염 방지와 전자파에 의한 신호 간섭 현상에 따른 기기의 오작동을 방지하고자 MWCNT의 clustering 및 tangling현상을 활용하여 self cleaning 기능을 갖는 super hydrophobic 표면과 high aspect ratio에 의한 percolation 현상을 활용하여 전자파 차폐를 위한 낮은 표면저항을 만족하는 복합 재료로 구성된 코팅에 관하여 연구하였다. 이를 위해 isopropyl alcohol(IPA)을 용매로 산처리 한 MWCNT와 무기바인더, 불소계 실란을 첨가하여 초음파 분산을 함으로써 코팅액을 제조하였다. 이를 full cone nozzle type, 흡상식 스프레이 조건으로 알루미늄 시편위에 스프레이 코팅 후 열경화 하여 접촉각측정기로 측정 결과 $160^{\circ}$이상의 초발수 표면과 Low Resistivity Meter로 표면저항을 측정한 결과 $10^3{\Omega}/cm^2$ 이하의 낮은 코팅막을 구현하였으며 내구성 실험을 위한 항온항습 장비로 $80^{\circ}C$의 내열테스트 및 80%와 $80^{\circ}C$조건하에서의 내습테스트 결과 표면에 이상 없음을 확인하였고 열전도율 측정을 위해 밀도 측정 결과 $2.68g/cm^3$, 비열 측정 결과 $0.85J/g^{\circ}C$가 열확산율 측정결과 $88.64mm^2/s$가 측정 되었으며 밀도, 비열, 열확산율을 곱한 값인 $201.9W/m{\cdot}K$의 열전도를 갖는 코팅막을 구현하였다.

• Polymer(Korea)
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• v.39 no.1
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• pp.157-164
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• 2015

In this study, we synthesized poly(vinylimidazole-co-trifluoroethylmethacrylate-co-divinylbenzene) (PVTD) copolymer and introduced functional group through quaternization reaction for removing nitrate from drinking water. Also, optimizing conditions (reaction time, reaction temperature and functionalized agents concentration) for introducing the functional group were confirmed. The basic properties such as water uptake, swelling ratio, electrical resistance, ion exchange capacity and anion permselectivity for removing nitrate from drinking water were measured. The optimal values of water uptake, electrical resistance and ion exchange capacity of synthesized anion exchange membrane were 51.2%, $5.4{\Omega}{\cdot}cm^2$, and 1.04 meq/g, respectively.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.21 no.6
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• pp.621-626
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• 2010

Anion exchange membranes can be used for reverse electrodialysis for electric energy generation, and capacitive deionization for water purification, as well as electrodialysis for desalination. In this study, anion exchange membranes of poly((vinylbenzyl) trimethylammonium chloride-2-hydroxyethyl methacrylate)/poly(vinyl alcohol) were prepared through the polymerization of (vinylbenzyl)trimethylammonium chloride and 2-hydroxyethyl methacrylate in aqueous poly(vinyl alcohol) solutions, esterification with glutaric acid, and cross-linking reaction with glutaraldehyde. We investigated electrochemical properties for the anion exchange membranes prepared according to experimental conditions. Ion exchange capacity and electrical resistance for the membranes were changed with a variation in the monomer ratio in polymerization. Water uptake and conductivity for the membranes decreased with an increase in the content of glutaric acid in esterification. The change in the time of crosslinking reaction with the formed film and glutaraldehyde affected electrochemical properties such as water uptake, conductivity, or transport number for the membranes. Chronopotentiometry and limiting current density for the anion exchange membranes prepared were measured.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.55 no.3
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• pp.296-301
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• 2017

Recently, there are many efforts focused on development of more economical non-fluorinated membranes for PEMFCs (Proton Exchange Membrane Fuel Cells). In this study, sulfonated poly (ether ether ketone) (sPEEK) membrane reinforced with poly imide was made to enhance of membrane durability. In order to test durability of single (un-reinforced) membrane and reinforced membrane MEA (Membrane and Electrode Assembly), degradation accelerated stress test was used. Before and after degradation, I-V polarization curve, hydrogen crossover current, electrochemical surface area, membrane resistance and charge transfer resistance were measured. As a result of experiments, hydrogen crossover current of reinforced MEA was lower than that of single MEA, therefor durability of reinforced MEA was higher than that of single MEA. There was not especially short phenomena in reinforced MEA after degradation accelerated stress test.

• KSBB Journal
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• v.10 no.2
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• pp.126-130
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• 1995

A membrane gas sensor was developed for the measurement of ethanol concentration during acetic acid fermentation. The fermentation broth including ethanol was permeated through the silicone membrane by synthetic air as a carrier gas and was detected by a semiconductor gas sensor. The optimum conditions of membrane gas sensor were 20m1/min of flow rate and 0.5mm of membrane thickness. In acetic acid fermentation, an on-line measurement of ethanol concentration was conducted by the proposed membrane gas sensor and then the on-line sensor signal, was compared with the result of off-line analysis by gas chromatography. As a result, a correlated response over the range of $0∼70g/\ell$ was shown between membrane gas sensor and gas chromatography and this use of membrane gas sensor was experimentally ascertained for the monitoring and control of bioprocess like acetic acid fermentation.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.144-144
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• 1999

최근 국내 반도체 기술의 비약적인 발전으로 전자 기기 전반에 소형화, 고주파화, 고기능화 등이 진행되는데 반해, 반도체 소자등에 전원을 공급하거나 회로 전체를 운용하는 전기 신호를 변조.증폭시키는데 반해, 반도체 소자등에 전원을 공급하거나 회로 전체를 운용하는 전기신호를 변조.증폭시키는 인덕터, 트랜스 포머와 같은 수동 자기 소자는 아직도 3차원 벌크 형태로 사용되고 있다. 일본을 중심으로 각국에서는 자기 소자의 박막.소형화에 대한 다각도의 연구가 진행되었으나 국내서는 아직 미미한 실정이다. 따라서 고집적 전원 공급 장치나 지능 센서 등에 반도체와 자기 소자의 사용 주파수 대역과 크기가 통합된 반도체-자성체 IC(semiconductor-magnetic integrated circuit)의 필요성이 절실히 요구되고 있다. 현재 사용중인 벌크형 인덕터나, 트랜스 포머의 경우 10NHz이상의 고주파 대역에는 응용되지 못하고 있다. 이는 적용된 자성체가 페라이트(ferrite)로서 초투자율은 크지만 고주파대역에서의 공진 현상에 의해 저투자율을 나타내고, 포화 자속밀도가 낮기 때문이다. 이러한 페라이트 자성체의 대체품으로 주목받고 있는 것이 Fe, Co계 고비저항 자성마이다. 그러나 Co는 낮은 포화자속밀도를 나타내기 때문에 이러한 조건을 충족시키는 자성막으로 Fe계 미세 결정막을 사용하였다. 본 연구에서는 선택적 전기 도금법(selective electroplating method)과 LIGA like process를 이용하여 공시형 인덕터(air core inductor)의 라이브러리(library)를 구축한 뒤, 고주파 대역에서의 우수한 연자기 특성을 가지는 Ti/FeTaN막을 적용한 자기 박막 인덕터(magnetic thin film inductor)를 제작하여 비교.분석하였다. 제조된 인덕터의 특성 추정은 impedence analyzer를 이용하여 주파수에 따른 저항(resistance), 인덕턴스(inductance)를 측정, 계산한 성능지수(quality factor)로서 인덕터의 성능을 평가하였다. 제조된 박막 인덕터의 코일 형상은 5턴의 double rectangular spiral 구조였으며, 적용된 자성막의 유효 투자율9effective permeability)은 1500, 자성막, 절연막 그리고 코일의 두께는 각각 2$\mu\textrm{m}$, 1$\mu\textrm{m}$, 20$\mu\textrm{m}$이며 코일의 폭은 100$\mu\textrm{m}$, 코일간의 간격은 100$\mu\textrm{m}$였다. 제조된 박막 인덕터는 5MHz에서 1.0$\mu$H의 인덕턴스를 나타내었으며 dc current dervability는 100mA까지 유지되었다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.58 no.2
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• pp.171-175
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• 2020

In the proton exchange membrane fuel cells (PEMFC), the development of a reinforced membrane with improved durability by a support is actively in progress in Korea. In this study, the initial performance and characteristics of four types of reinforced membranes were compared. Reinforced membranes with higher amounts of C-F chains in the polymer membrane showed lower water diffusion coefficients due to the hydrophobicity of the C-F chains. The thicker the polymer membrane, the more the hydrogen permeability decreased and the higher the OCV. Membrane with short resistance below 1.5 Ωcm² showed OCV below 0.9 V and the lowest performance, so short resistance should be above 3.0 Ωcm². Compared with the current standard membrane, there was a similar domestic membrane, which could confirm the possibility of localization of PEMFC polymer membrane.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.48 no.6
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• pp.731-736
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• 2010

In this study, the sulfonated SBS cation-exchange membrane was prepared by post-sulfonation. Degree of sulfonation(DS), water-uptake, ion exchange capacity and electrical resistance and conductivity of sulfonated SBS were investigated as a function of sulfonation time. The DS of sulfonated SBS membrane was increased with increasing the reaction time and concentration of sulfuric acid. The maximum value of DS was 24.0%. And also, the water uptake and ion exchange capacity of the sulfonated SBS membrane were increased as increasing the value of DS. The values of water uptake and IEC were 41.2% and 0.80 meq/g, respectively. The electrical resistance and conductivity of the membrane showed $23.6{\Omega}{\cdot}cm^2$ and $4.24{\times}10^{-4}S/cm$, respectively.