• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.308-308
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• 2012

현재 결정질 태양전지 제작에 있어 공정 단가 및 재료비 절감을 위해 실리콘 웨이퍼의 두께가 점점 얇아지는 추세이며, 이에 따른 장파장 영역 흡수 손실을 감소시키기 위한 방안으로 후면 패시베이션에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 후면 패시베이션층으로는 SiO2, SiNx, a-Si:H, SiOxNy 등의 물질이 사용되고 있으며, 본 연구에서는 SiO2/SiNx/SiO2 (ONO)의 삼중막 구조를 패시베이션층으로 하여 SiNx 단일막 구조와의 열처리 온도에 따른 소수캐리어 수명(${\tau}eff$), 후면 재결합속도(Seff), 확산거리(LD) 등의 파라미터 변화를 비교하였다. 증착 직후와 $350^{\circ}C$에서의 Forming Gas Annealing (FGA), 그리고 $800^{\circ}C$의 고온에서의 fast firing 후의 각각의 파라미터 변화를 관찰하였다. 증착 직후 SiNx 단일막과 ONO 삼중막의 소수캐리어 수명은 각각 $108{\mu}s$와 $145{\mu}s$를 보였다. 후면 재결합속도는 65 cm/s와 44 cm/s를 보였으며, 확산거리는 각각 $560{\mu}m$와 $640{\mu}m$를 나타내었다. FGA와 firing 열처리 후 세 파마미터는 모두 향상된 값을 보였으며 최종 firing 처리 후 단일막과 삼중막의 소수캐리어 수명은 각각 $196{\mu}s$와 $212{\mu}s$를 보였다. 또한 후면 재결합속도는 28 cm/s와 24 cm/s를 보였으며, 확산거리는 각각 $750{\mu}m$와 $780{\mu}m$를 보여 ONO 삼중막 구조의 경우에서 보다 우수한 특성을 보였다. 본 실험을 통해 SiNx 단일막보다 ONO 패시베이션 구조에서의 열적안정성이 우수함을 확인하였으며, 또한 ONO 패시베이션 구조는 열적 안정성뿐 아니라 n-type 도핑을 위한 Back To Back (BTB) 도핑 공정 시 후면으로 의 도펀트 침투를 막는 차단 층으로서의 역할도 기대할 수 있다.

• Membrane Journal
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• v.14 no.2
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• pp.132-141
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• 2004

NBR-Clay hybrid membranes were prepared by melt intercalation method with internal mixer and two roll mills. MMT was intercalated or ekfoliated by the NBR and it was confirmed by X-ray diffraction method. D-spacing of the characteristic peak from MMT plate in WAXD was moved and diminished. Gas permeability, mechanical properties and thermal properties of the NBR-Clay hybrid membranes were investigated. Gas permeability through the NBR-Clay hybrid membranes decreased due to increased tortuosity made by intercalation of clay in NBR.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.326-326
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• 2012

ZnS를 합성하는 방법 중 thioacetamide (TAA)를 녹인 물에 ZnO template를 넣어서 황화시키는 방법이 있다. 이 방법은 실험과정이 간편할 뿐만 아니라 그 반응양의 조절도 용이해 ZnS-ZnO core-shell 구조나 ZnS hollow 구조 등을 만드는데 널리 사용되고 있다. 그러나 다양한 형태의 ZnS 구조체 합성에 관한 연구는 활발한 반면, ZnS의 상형성 과정이나 구조 변화와 같은 ZnO의 황화 과정 기구에 관한 연구는 매우 미비한 실정이다. ZnS는 기본적으로 저온에서는 cubic sphalerite 구조를, 고온에서는 hexagonal wurtzite 구조를 안정상으로 가진다. 또한, 8H나 15R 등과 같은 다양한 polytype 구조도 존재한다. 그러나 다양한 구조에서 비슷한 면간거리가 존재하기 때문에 결정구조의 분석이 어려운 실정이다. 이러한 비슷한 면간거리를 가지는 ZnS 등의 결정구조 분석에 있어 원자배열을 직접적으로 관찰할 수 있는 투과전자현미경 (TEM, transmission electron microscopye)을 이용한 연구는 큰 강점을 가진다. 본 연구에서는 다공성 ZnO 막을 황화시켜 형성된 ZnS 막의 미세구조 특성을 분석하였다. 다공성 ZnO 막은 패턴된 Si (111) 기판 위에 스핀코팅법을 이용하여 4,000 rpm의 속도로 증착되었으며 ZnO 결정화를 위해 150 도와 500도에서 각각 drying과 후열처리를 수행하였다. 이렇게 만들어진 ZnO 막을 TAA를 녹인 물에 넣어 48 시간 동안 반응시켰고 최종적으로 ZnS 막을 생성하였다. 다공성 ZnS 막의 미세구조를 분석하기 위해 주사전자현미경 (SEM, scanning electron microscope), X-선 회절분석기 (XRD, x-ray diffractometer), 그리고 투과전자현미경을 이용하였으며, 정확한 결정구조 분석을 위하여 결정구조 시뮬레이션을 병행하였다.

• Membrane Journal
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• v.18 no.1
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• pp.35-43
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• 2008

In this study, we tried to solve membrane fouling with membranes made by fine nano-particle in MBR process. And we confirmed good fouling resistance in pilot test. In this test, we confirmed our membrane with titania out-standing quality by testing in the pilot long-term test by comparing to other company product. Our membrane keep up steadily $20{\sim}25 L/m^2{\cdot}hr$ high flux in $7,000{\sim}13,000mg/L$ MLSS high sludge concentration. In addition to this quality, we studied membrane flux character related membrane arrangement, membrane-air line arrangement, air-line hole size, cleaning solution concentration, treatment method, etc. Using the optimization of this additional parameter, we tried to search method of maximizing membrane quality.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.41-41
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• 2007

타겟-모재간 거리를 변수로 하여 마그네트론 스퍼터링법에 의해 CrN 박막을 합성하고 미세구조 및 물성을 평가하였다. 타겟-모재간 거리 85mm 및 180mm에서 CrN 박막을 합성하였으며, 합성된 코팅막의 내식 특성을 평가하기 위해 양극분극시험을 수행하였다. 타겟-모재간 거리 변화에 따른 미세구조 변화를 관찰하기 위해 주사전자현미경을 이용하여 박막의 파단면 조직을 관찰하였으며, XRD 분석을 통해 상천이 거동을 관찰하고 이를 물성 결과와 비교 분석하였다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.9 no.12
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• pp.1245-1251
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• 1999

Phase-change optical disk very rapid recording, high densification of data, resulting in high feedback rate and good C/N(carrier to noise) ratio of a feedback signal. However, repetitive thermal energy may cause the deformation of a disk or the lowering of an eliminability and a cyclability of the recording. The lowering of the cyclability can be reduced by insertion of thin layer of ZnS-$SiO_2$ dielectric thin film in appropriate disk structure between the upper and lower part of the recording film. Using the Taguchi method, optimum conditions satisfying both the optimized quality characteristic values and the scattering values for film formation were found to be the target R.F. power of 200W, the substrate R.F. power of 20W, the Ar pressure of 6mTorr, and the electrode distance of 6cm. From the refractive index data, the existence of the strong interaction between the electrode distance and Ar pressure was confirmed, and so was the large effect of the electrode distance on transmittance. According to the analysis of TEM and XRD, the closer the electrode distance was, the finer was the grain size due to the high deposition rate. However, the closer electrode distance brought the negative effect on the morphology of the film and caused the reduction of transmittance. AFM and SEM analyses showed that the closer the electrode distance was, the worse was the morphology due to the high rate of the deposition. Under optimum condition, the deposited thin film showed a good morphology and dense microstructure with less defects.

• Membrane Journal
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• v.14 no.4
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• pp.320-328
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• 2004

Ionomer-Clay hybrid membranes were prepared by melt intercalation method with twin extruder. MMT was intercalated or exfoliated by the ionomer and it was confirmed by X-ray diffraction method. D-spacing of the characteristic peak from MMT plate in WAXD was moved and diminished. Gas permeability, mechanical properties and thermal properties of the ionomer-clay hybrid membranes were investigated. Gas permeability through the ionomer-clay hybrid membranes decreased due to increased tortuosity made by intercalation of clay in Ionomer.

• Membrane Journal
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• v.15 no.1
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• pp.62-69
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• 2005

SEBS-clay hybrid membranes were prepared by melt intercalation method with internal mixer. In the hybrid, the amount of clay content was fixed to 5 phr. MMT was intercalated or exfoliated by the ionomer and it was confirmed by X-ray diffraction method. D-spacing of the characteristic peak from MMT plate in SAXD was moved and diminished. Gas permeability, mechanical properties and thermal properties of the SEBS-clay hybrid membranes were investigated. Gas permeability through the SEBS-clay hybrid membranes decreased due to increased tortuosity made by intercalation of clay in SEBS.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2000.08a
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• pp.190-191
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• 2000

종래의 자기광학 디바이스는 자성체막을 빛이 투과할 때 얻어지는 페러데이 회전각을 이용했기 때문에, 페러데이 회전각을 증가시켜서, 광학적 성능을 증가시키려면 자성체막의 두께를 증가시켜야만 했다. 그러나, 자성체막의 두께를 증가시키면, 화소를 자기적으로 분리하기 위하여 자성체 막을 물리적으로 제거 해야하여 깊이가 깊어지고 그 후에 도선막을 구조화하기 위하여 파낸 화소간 갭을 다시 평탄화해야 하는 등의 제조 공정이 기술적으로 매우 어려워진다는 문제점을 가지고 있었다. 또한, 자성체 막의 두께가 증가하면, 도선막에 전류를 흘려 발생하는 자장은 도선막으로부터의 거리의 제곱에 반비례하므로, 두꺼운 자성체 막 전체에 강한 자장을 인가하기 위해서는, 도선막에 흘리는 전류를 증가시켜야만 한다는 문제점을 안고 있었다. (중략)

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.18 no.5
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• pp.438-443
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• 2007

Titanium oxide films were deposited by the HCP (hollow cathode plasma) reactor at room temperature. With results of simulation about HCP reactor, the temperature profile is uniform on substrate regardless of the heat generation at cathode. The velocity profile on the surface of substrate is more uniform with increasing the gap between cathode and substrate, and surface roughness was decreased with increasing the gap between cathode and substrate. We could confirm that the composition of oxide increased with RF-power, and the ratio of O to Ti in the films was about 2 : 1 at RF-power of 240 watt and distance between cathode and substrate of 3 cm.