• 제목/요약/키워드: 마이크로 전자기계 시스템

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마이크로 가공기술의 현황과 미래의 마이크로 시스템 (Progress in Micromachining and Future Micro System)

  • 최준림
    • 기계저널
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    • 제33권6호
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    • pp.523-528
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    • 1993
  • 과거 10년 동안 마이크로 전자 공학의 극소형화는 실리콘 기판상에서 평면구조를 제작하는 기 술의 발전을 가져왔으며 정보처리 분야에 일대 혁명을 가져왔다. 그런데 지금은 이 기술의 발 전으로 기계공학에서도 이에 상응하는 연구개발이 진행되고 있으니 이를 총칭하여 마이크로 가 공기술(micromachining)이라 부른다. 기계, 광학, 전자 부품의 마이크로 집적화는 하나의 마이 크로 시스템으로 구현되어 기술혁신의 새로운 영역을 개척할 것으로 예상되고 있다. 이 새로운 기술은 마이크론 단위의3차원 초정밀 가공을 가능케 함으로써 미래 메카트로닉스 (mechatronics)의 새로운 영역으로 자리잡게 될 것으로 전망한다. 이 글에서는 마이크로 시스템에 대해서 기술하고자 한다.

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진공 척을 이용한 마이크로 LED 대량 전사 공정 개발 (Micro-LED Mass Transfer using a Vacuum Chuck)

  • 김인주;김용화;조영학;김성동
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.121-127
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    • 2022
  • 마이크로 LED는 크기가 100 ㎛ 이하인 LED 소자로 기존 LED에 비해 해상도, 밝기 등 여러 면에서 우수한 성능을 보일 뿐 아니라 유연 디스플레이, VR/AR 등 다양한 분야에 적용이 가능하다. 마이크로 LED 디스플레이를 제작하기 위해선 LED 웨이퍼로부터 최종기판으로 마이크로 LED를 옮기는 전사 공정이 필수적이며, 본 연구에서는 진공 척을 이용하여 마이크로 LED를 고속 대량 전사하는 방식을 제안하고 이를 검증하였다. MEMS 기술을 이용한 PDMS 마이크로 몰딩 공정을 통해 진공 척을 제작하였으며, PDMS 몰딩 공정을 제어하기 위해 댐 구조를 이용한 스핀 코팅 공정을 성공적으로 적용하였다. 솔더볼을 이용한 진공 척 구동 실험을 통해 진공 척을 이용한 마이크로 LED의 대량 전사 가능성을 확인하였다.

全 電子 私設 自動 交換機 OPEX-50/100 시스템

  • 여재흥;이성제
    • 전자공학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.46-52
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    • 1978
  • 마이크로 프로세서 (micro-pocessor)와 LSI(Large scale integrated circuit) 등 반도체 기술의 발달은 교환시스템의 발전에 중요한 영향을 주었고 특히 마이크로 프로세서는 소용양(500회선 미만)의 사설교환기와 각종 교환시스템의 부분적 기능장치나 부대장치등에 광범위하게 응용되고 있다. 본문은 이들 반도체 부품을 이용하므로서 기계식 사설교환기(PABX)나 키-폰을 대체할 수 있고 가격, 크기, 및 성능 상으로볼때 매우 시장성이 높은 소용량 사설자동교환기인 OPEX-50/100에 대하여 기술하였다.

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뇌 삽입형 신경 접속 마이크로 시스템의 구현상 이슈 (Implementation Issues in Brain Implantable Neural Interface Microsystem)

  • 송윤규
    • 전자공학회논문지
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    • 제50권4호
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    • pp.229-235
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    • 2013
  • 본 논문은 최근 활발하게 연구되고 있는 뇌-기계 접속을 위한 완전 삽입형 마이크로 시스템의 구현에 있어서 중요한 이슈들을 고찰한다. 현재까지의 과학 기술적 연구는 신경 신호 증폭기, 무선 신호 전송 등 주로 고성능 저전력 전자기기 및 시스템을 구현하는데 집중되어 왔으나, 마이크로 시스템의 실제적인 응용은 전자 기기의 특성뿐만 아니라 밀봉 구조의 디자인에서 뇌의 생리 해부학적 특성에 이르기까지 여러 가지 요인에 의해 영향을 받게 된다. 본 논문은 특히 뇌 삽입형 마이크로 시스템의 실질적인 구현에 결정적인 영향을 주는 시스템 발열의 영향, 신경 프로브의 감지 부피, 무선 데이터 전송 및 전력 전달, 그리고 뇌의 생리 해부학적인 고려 요인에 대해 논의한다.

RP에 의한 마이크로 채널 제작과 채널내 혼합에 대한 성능평가 (Study on Microchannel Fabrication using RP and Experiment on Stirring Characteristics in it)

  • 허형석;서용권
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2003년도 추계학술대회
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    • pp.1016-1020
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    • 2003
  • In this paper, we present a technology of producing anew chaotic micromixer, named Micromixer with Arranged Blocks(MAB), and the experimental result of the mixing performance. Chaotic mixing was successfully achieved by introducing periodic perturbation in the field of the channel flow by means of slanted blocks. The MAB was made by an RP(Rapid Prototyping) technology. We performed flow visualization experiments for the quantification of the mixing performance with the MAB. Lyapunov exponent was measured to be 0.3557 and 0.1305 for the block height 0.8 and 0.2 times the channel width.

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전자기 구동 시스템을 이용한 마이크로로봇의 3차원 이동 및 드릴링 (Three-dimensional Locomotion and Drilling Microrobot Using Electromagnetic Actuation System)

  • 이걸;최현철;차경래;정세미;박종오;박석호
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제35권12호
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    • pp.1573-1578
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    • 2011
  • 이 논문에서는 전자기구동시스템을 기반으로 이동 및 드릴링 기능을 수행하는 의료용 마이크로로봇 시스템을 제작하고 평가하였다. 마이크로로봇은 너무 작아 내부에 배터리나 제어장치를 삽입 할수 없다. 이 결점을 극복하기 위하여 외부에서 전자기 코일 시스템을 이용하여 전자기장의 힘으로 마이크로로봇을 구동 시킨다. 전자기 구동 코일 시스템은 x, y, z 각축에 사각형 타입의 헬름홀쯔 코일 3 쌍과 z축에 솔레노이드형 맥스웰 코일 1 쌍이 배치 되어 있고, 각 코일에 인가되는 전류값의 조절에 따라 구동에 필요한 자기장을 발생 시킨다. 다양한 실험을 통하여 우리는 제안된 시스템을 이용하여 마이크로로봇이 3 차원 공간에서 이동 가능하며 드릴링 기능을 수행할 수 있다는 것을 보였다.

마이크로채널 내 블록의 정렬과 구조변경에 따른 교반특성 (A Numerical Study on Stirring Characteristics in a Microchannel with Various Arrangement of Blocks)

  • 서용권;허형석
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제27권7호
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    • pp.901-908
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    • 2003
  • Numerical study on stirring characteristics in a microchannel with blocks arranged periodically has been performed. Viscous flows through the microchannel is simulated three-dimensionally using a commercial code, FLUENT 6.0. Focus is given to the effect on the stirring characteristics of the geometric factors including the pitch, height and angle of the block arrangement. The numerical results at low Reynolds numbers show that the particles' trajectories in the microchannel heavily depend on the block arrangement. A nonlinear dynamical tool, i.e. Lyapunov exponent, was used in analysing the mixing effect. It was found that the mixing is the most effective at a certain combination of parameter values.

로봇에 의한 착유컵 착탈 시스템 개발을 위한 기초연구 (Basic Study for the Development of Teat Cup Handling System Operated by a Robot)

  • 이영진;장동일
    • 한국농업기계학회:학술대회논문집
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    • 한국농업기계학회 1999년도 하계 학술대회 논문집
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    • pp.159-164
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    • 1999
  • 현재 우리나라 낙농업은 사양관리, 축사관리, 기록관리 등에서 많은 변화가 일어나고 있다. 이들 변화의 대부분은 낙농에 마이크로 컴퓨터 기술을 응용함과 최근에 사양관리를 위한 전자장비의 개발에 의하여 이루어지고 있다. 특히 우리는 가축당의 노동력과 축산에서의 중노동의 절감, 가축의 생산성의 향상, 그리고 보다 나은 작업환경과 의사결정을 위한 시스템의 개발이 절실히 필요하다. 또한 가축의 사료급여, 급수, 건강관리 번식, 축사의 환기 및 열 관리 등을 자동으로 관리 할 수 있는 계측 시스템과 관리 컴퓨터와 온라인(on-line)화 할 수 있는 시스템의 개발도 필요하다. (중략)

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자동차 능동형 샤시시스템 개발동향

  • 허승진
    • 기계저널
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    • 제32권10호
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    • pp.847-857
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    • 1992
  • 일반적으로 자동차의 샤시(chassis)라 하면 총체적인 개념에서 자동차로부터 차체(body)를 제외한 부분을 일컫는데, 구동 및 제동장치, 바퀴 현가장치, 조향장치, 타이어 및 휠 등이 이에 속한다. 1970년대 마이크로 컴퓨터의 응용기술이 도입되면서 엔진분야에서 시작한 자동차 전자화기술은 구동 및 제동분야에서의 전자제어식 제동잠김 및 구동 미끄럼방지 시스템(ABS/TCS)의 응용기 술을 거쳐 1980년 중반부터 차량의 현가 및 조향분야에서 능동형의 시스템이 개발되기 시작하 였다. 그 대표적인 예로서 자동차용 적응식 및 반 능동식 가변댐퍼(variable damper), 능동식 현가시스템(active suspension system) 그리고 4륜조향 시스템(four wheel steering system)을 들 수 있다. 1990년대에 들어서는 이러한 각종 능동형 시스템이 종합적으로 고려되어 설계되는 이 른바 자동차의 샤시 통합제어 시스템(chassis integrated control system)또는 능동형 샤시 시스템 (active chassis system)으로 발전되어 가고 있는 추세에 있다. 이 글에서는 최근에 가장 대표 적인 능동형 샤시시스템으로서 각종 능동식 현가시스템 및 4륜조향 시스템의 개발동향 및 기 술적, 경제적인 측면에서의 종합적인 검토를 하고자 한다.

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세라믹 재료를 이용한 MEMS 센서

  • 양상식
    • 세라미스트
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    • 제7권3호
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    • pp.21-27
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    • 2004
  • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 초소형 구조물의 제작 기술인 마이크로머시닝 기술을 이용하여 제작되는 초소형 전자기계 시스템을 말한다. 최근 10여 년간 MEMS 기술이 상당히 진척되었고 다양한 마이크로머시닝 기술이 개발되었다. 이에 따라 이를 이용하여 다양한 MEMS 소자의 개발이 이루어지고 있다. 그 중에서도 MEMS 센서는 비교적 간단한 제작 공정과 작은 크기, 그리고 저비용으로 인하여 상품화가 쉽게 이루어지고 있다. (중략)

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