• Title/Summary/Keyword: 마이크로파법

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Fabrication and Characterization of Metal Layer Fabricated by Aerosol Deposition

  • Kim, Yun-Hyeon;Kim, Hyeong-Jun;Nam, Song-Min
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.113-113
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    • 2010
  • 유비쿼터스 시대를 맞이하여 현재의 전자제품은 초고주파 환경에서의 소형화된 마이크로파 소자를 요구하고 있다. 마이크로파 대역에서 세라믹 소재는 대부분의 폴리머 소재에 비해 낮은 유전손실 값을 보이고 있어 향후 확대되는 고주파화에 적합한 소재로 평가되고 있다. 하지만 세라믹 재료는 깨지기 쉬운 특성을 가지고 있어 공정 및 취급이 어려우며 높은 소결온도를 가지고 있어 융점이 낮은 재료와의 집적화에 있어서 난점을 가지고 있다. 이를 위해 본 연구실에서는 실온에서 세라믹을 비롯한 금속 및 폴리머 재료의 치밀한 코팅막의 성막 및 이종 접합이 가능한 Aerosol Deposition (AD 법)에 주목하였고 마이크로파 소자 제작 공정으로서 AD 법의 응용 가능성을 연구하였다. 마이크로파 소자의 기판으로서는 AD 법을 이용하여 유전손실이 낮고 플렉서블한 $Al_2O_3$-PTFE 혼합 기판을 제작하고 적용하였다. 금속 선로 패터닝 제작 공정으로는 도금법이 대표적이지만 고비용 및 복잡한 공정 절차, 폐화학용액으로 인한 환경문제 등의 단점을 지니고 있어 이를 대체하는 금속 선로 패터닝 공정이 절실히 요구되고 있다. 이를 위해 본 연구에서는 AD 법을 이용하여 금속 필름을 제작하고 대체 공정으로서의 가능성을 확인하였다. 하지만 AD 법을 이용한 세라믹 필름 제작에 관한 연구는 크게 활성화되어 있는 반면에 금속 필름의 제작, 특성 측정 및 개선에 관한 연구는 그에 비해 미비한 수준이다. 이를 위해 이번 연구에서는 AD 법을 이용하여 금속 필름을 성막 시에 영향을 미치는 요인을 고찰하였으며 또한 마이크로파 소자의 도체 손실에 크게 관계되는 금속 필름의 비저항 특성의 측정 및 개선에 관한 연구를 수행하였다. 이를 위해 본 연구에서는 정전장 시뮬레이션을 활용하여 AD 법으로 성막된 금속 필름의 정밀한 비저항 측정에 관한 연구방법을 마련하고 후열처리를 통한 비저항 특성을 개선시키는 연구를 진행하였다.

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마이크로파에 의한 생체물질 고정효과

  • 손태호
    • The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.5 no.3
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    • pp.78-87
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    • 1994
  • 생물학 및 의학등의 생명과학에서는 현미경을 이용하여 생체물질 즉, 생체조직을 관찰하고 이에 대한 조직의 검사 결과를 판정하고 발표한다. 이때 필히 고정과정(fixation process)을 거쳐야 한 다. 즉, 생체조직중 조직의 구조, 특정 세포나 바이러스 및 효소등을 관찰할 때 고정과정을 거쳐 조직을 절편하고 이를 염색하여 현미경으로 검사하게 된다. 고정과정이란 생체물질을 안정화시키고 자기분해 혹은 부패를 방지하여 보존이 가능하도록 변화시키 는 과정으로, 조직내의 용해성 물질을 불용성 물질로 변형시키는 과정이다. 고정과정을 거친 생체조직 은 구조를 보존하고 있기 때문에 조직의 훼손이 없는 상태에서 절편이 가능하고 또한 염색상태를 좋게 하며 관찰시 contrast를 증진시킨다. 만약 고정과정을 거치지 않으면 물질의 세포막이 파괴되고 단백질 등의 물질이 용해되어 조직의 변형을 일으켜 제대로 조직을 관찰할 수 없게 된다. 고정과정에는 크게 화학적 고정법과 물리적 고정법이 있다. 화학적 고정법은 생체조직을 화학용액에 처리하는 방법이며, 물리적 고정법은 직접적인 열 혹은 초음파등으로 물질을 고정시키는 방법이다. 표 면과 내부의 열전도가 달라져 고정이 균일하게 되지 않는 단점을 가지고 있기 때문에 보통 2~6일의 고 정시간을 요하는 화학적 고정법을 사용하고 있다. 따라서 조직에 대한 총 검사시간이 최소 6일에서 최 대 12일이 요구된다. 병원등에서 조직검사의 결과가 늦게 발표되는 사유는 바로 화학적 고정법을 사용 하여 생체조직을 관찰하고 그 결과를 판정하기 때문이다. 본 고에서는 마이크로파를 이용하여 약 3시간만에 조직의 상태를 관찰할 수 있는 고정법을 소개한다. 마이크로파를 이용하여 조직을 고정하는 고정방법을 기존의 고정법과 비교하여 이들의 장단점을 나타 낸다. 본 연구자에 의해 개발된 마이크로파 고정기를 소개하고, 이를 이용하여 생체물질을 고정한뒤 절 편, 염색하여 현미경 관찰결과를 발표하여 본 연구의 방법이 기존 방법보다 우수함을 나타낸다.

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Phenol Hydroxylation over TS-1 Synthesized by Hydrothermal and Microwave Heating Method: Solvent Dependence (수열 합성법과 마이크로파 가열법으로 제조한 TS-1 촉매에 의한 페놀 수산화 반응: 용매의 영향)

  • Kwon, Song-Yi;Yoon, Song-Hun;Lee, Jong-Min;Chang, Jong-San;Lee, Chul-Wee
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.49 no.2
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    • pp.151-154
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    • 2011
  • Catalytic activity such as conversion and selectivity on the phenol hydroxylation over TS-1 prepared by hydrothermal method and microwave heating method, respectively, was compared and discussed for understanding the dependence of solvent such as water, methanol, acetone, respectively, during phenol hydroxylation, with hydrogen peroxide. Basic physical properties such as XRD, EDS, SEM and $N_{2}$ adsorption/desorption were determined and compared. The relationship between catalytic activity and physical properties of TS-1 was explained.

The Synthesis and Characterization of Beta Alumina Powder by Microwave Extraction and Calcination Method (마이크로파 추출 및 하소법에 의한 베타 알루미나 분말 합성 및 특성)

  • 박희찬;박성수;정기석;김병우;이상은
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.38 no.8
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    • pp.749-754
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    • 2001
  • 마이크로파 추출 및 하소 공정을 통하여 카올린으로부터 베타 알루미나 전구체 및 베타 알루미나 분말을 합성하였다. 황산 알루미늄 및 가성소다의 혼합 용액을 교반되는 에탄올 용액 중에 적하시켜서 $Al_2$(SO$_4$)$_3$.17$H_2O$$Na_2$SO$_4$.10$H_2O$의 균일한 침전물을 얻었다. $\beta$- 및 $\beta$\"-Al$_2$O$_3$상으로 구성된 베타 알루미나를 얻기 위하여 재래식 및 마이크로파 하소법으로 주어진 온도에서 약 2h 동안 침전물 시료를 하소하였다. 재래식 하소된 시료에 비하여 마이크로파 하소된 시료는 $\beta$\"-Al$_2$O$_3$상이 상대적으로 많이 존재하였다. 또한, 재래식 하소된 시료와 마이크로파 하소된 시료의 미세구조는 매우 상이하였다. 매우 상이하였다.

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The Synthesis of Crystalline-Size Controlled Organic Pigment by Microwave Energy (마이크로파 에너지에 의해 결정 크기가 조절된 유기 안료의 합성)

  • 정기석;고진필;박상보;박찬영;민성기;권종호;오인환;박성수
    • Polymer(Korea)
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    • v.25 no.5
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    • pp.609-616
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    • 2001
  • The application of microwave technology to synthesis of polymer in solvent media has been shown by the synthesis of copper phthalocyanine (CUPc). The increase of synthetic yield-was demonstrated successfully in this study. A power variable microwave synthetic system has been developed with modifying cavity of domestic microwave oven and attaching microwave power controller. The properties of the specimen synthesized at various condition under the conventional thermal processing and microwave processing has been characterized by the means of chemical analysis, X-ray diffractometry (XRD), scanning electron microscopy (SEM), and particle size analysis (PSA).

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마이크로파 대기압 플라즈마 공진기 제작 및 플라즈마 진단

  • Eom, In-Seop;Gwon, Yang-Won;Jeong, Tae-Hun;Choe, Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.193.1-193.1
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    • 2016
  • 본 연구에서 개발된 새로운 유형의 마이크로파 대기압 플라즈마 공진기는 전송선로 이론을 기반으로 하여 임피던스 값을 $50{\varphi}$으로 설계함으로써 장비 자체에 구조적인 매칭이 이루어지도록 구성하였다. 안정적인 마이크로파 대기압 플라즈마 발생을 위해 컴퓨터 시뮬레이션(HFSS, High Frequency Structural Simulator)을 이용하여 공진기의 반사계수, 공명주파수, 급전점 그리고 전기장을 계산하였다. 전송선로의 이론에서 구한 급전점과 실제 제작한 마이크로파 대기압 플라즈마 공진기의 급전점 값이 큰 차이가 없음을 확인하였다. 이를 바탕으로 제작한 공진기는 급전점 5.6 mm에서 공명주파수는 0.89 GHz, 반사계수는 -37.5 dB임을 측정하였고 신호가 입사되는 정도는 90 % 이상인 것을 확인하였다. 공진기에서 발생된 플라즈마는 6 W의 정도의 저 전력으로 발생되었으며 기체유량과 인가전력에 따른 플라즈마의 기체온도를 측정하고 광 방출 특성을 고찰하였다. 실제 제작한 마이크로파 대기압 플라즈마 발생장치는 생의학적 응용을 포함한 여러 넓은 분야에서 활용될 전망이다.

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The Fixation Effects of Biological specimen Using Microwave Oven Equipped With Infrared-Temperature Sensor (적외선 온도감응기를 장착한 마이크로파 오븐의 생체물질 고정효과)

  • 신길상
    • The Korean Journal of Zoology
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    • v.37 no.2
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    • pp.144-155
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    • 1994
  • 마이크로파 에너지로서 현미경 관찰을 위한 생체물질을 고정할 때, 고정효과는 화학 고정액을 사용할 때와 비교하여 보다 우수한 또는 적어도 동일한 고정효과를 볼 수 있다는 것은 알려진 사실이다. 그러나 기존의 마이크로파 오븐을 사용하여 생체물질을 고정하면 고정 정도에 일정성이 없는데, 이는 마이크로파가 균일하게 조사되지 않고 고정에 적절하도록 마이크로팍의 강도를 조절하기 어려우며, 이로 인하여 정확한 고정온도의 측정이 불가능하기 때문으로 생각된다. 이 연구에서는 마이크로파가 조사되는 동안 시료의 온도를 측정할 수 없는 기존의 마이크연.파 오븐의 단점을 보완하기 위하여 비접촉식 적외선 온도 감응기를 장착한 마이크로파 오븐을 개발하였으며 고정효과를 관찰하기 위하여는 포유류의 기준 조직으로 알려진 생쥐의 신장을 고정하였다 고정효과는 전체적인 구조와 세부 구조의 보존이 모두 우수하였고 최적의 고정온도는 28$\pm$1$^{\circ}C$(완충용액 20 ml, 10초) 이었다. 이와같이 고정된 재료는 고정효과 뿐만 아니라 염색성이 좋아서 조직화학 반응이 우수하고, 냉동절편법과 연계했을 때 전체 절편제작 과정이 2~4시간 내에 완료될 수 있었다 이때 절편의 질(질)은 화학 고정액이나 냉동절편 법에 의하여 제작된 것 보다 우수하였다.

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Sintering of Ni-Zn Ferrites by Microwave Hybrid Heating (마이크로파 가열을 이용한 Ni-Zn 페라이트의 소결)

  • 김진웅;최승철;이재춘;오재희
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.39 no.7
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    • pp.669-674
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    • 2002
  • Ni-Zn ferrite was sintered by microwave hybrid sintering method using microwave energy of 2.45 GHz, 700 W in the temperature range of 900$^{\circ}C$ ∼ 1070$^{\circ}C$. A high density (98%TD) Ni-Zn ferrite, added Bi$_2$O$_3$ and CuO, with a single phase was obtained by microwave sintering at 970$^{\circ}C$ for 15 min. All the sintered samples showed sintered density over 90% of TD. These results indicate that the processing time and energy consumption can be reduced significantly by microwave hybrid sintering method.

Pasteurization Efficiency of a Continuous Microwave HTST (연속식 마이크로파 고온단시간 살균시스템에서 우유의 살균효과)

  • Kim, Suk-Shin;Lee, Joo-Hee;Kim, Sang-Yong
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.31 no.5
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    • pp.1392-1396
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    • 1999
  • This work was to apply the microwave energy to HTST pasteurization of milk in order to prevent undesirable quality changes due to the fouling and overheating on the surface of heat exchanger. A continuous tubulartype microwave pasteurization system was designed using a domestic microwave oven(800w and 2,450MHz). Raw milk was HTST pasteurized$(at\;72^{circ}C\;for\;15\;sec)$ by three methods; by heating in a stainless steel tube immersed in a hot water bath(MP0), by heating in a microwave cavity to a desired temperature and then holding in a hot water bath(MP1) and by both heating and holding in a microwave cavity(MP2). The microbial quality based on the total plate count and Psychotrophic bacterial count was in the order MP0, MP2 and MP1 ; however, the quality difference was not significant(p<0.05) when the initial microbial numbers were involved in the statistical analysis. In addition, the three samples pasteurized by different methods showed the similar microbial quality based on the coliform count and phosphatase activity. The similar microbial quality of the three samples supports the potential use of microwave energy for the pasteurization of milk and other fluid food products.

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The Study on the Fabrication Process and the Microwave Characteristics of YIG ferrites by Using Wet Processing (습식합성법을 이용한 YIG-ferrites의 제조공정과 마이크로파 특성 연구)

  • 양승진;윤종남;김정식
    • Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.181-184
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    • 2002
  • 본 연구에서는 아이솔레이터(Isolator)의 핵심소재로 사용되는 YIG-ferrites를 수열합성법에 의해 초미세 분말로 합성하고, 합성된 분말을 원료로 사용하여 제조 공정된 YIG-ferrites 소결체의 미세구조와 전자기적 특성에 관하여 고찰하였다. 수열합성법(Hydrothermal synthesis method)으로 YIG[ $Y_3$F $e_{5}$ $O_{12}$]분말을 먼저 합성하고 Ca, V, In, Al 등을 첨가시킴으로서 $Y_{2.1}$C $a_{0.9}$ $Y_{4.4}$ $V_{0.5}$I $n_{0.05}$ $O_{12}$의 조성을 지닌 시편을 제조하였다. 초기열처리는 30$0^{\circ}C$에서 90$0^{\circ}C$의 온도 범위에서 15$0^{\circ}C$간격으로 진행하였다.. 그 결과 75$0^{\circ}C$로 초기열처리 하였을 경우 단일 YIG peak가 나타남을 알 수 있었다. 수열합성법으로 제조된 YIG 소결시편의 전자기적 특성은 일반 시약급원료를 사용하여 제조된 소결시편과 비교하여 마이크로파 특성을 평가하였다. 그밖에 YIG-ferrites의 결정성, 미세구조, 자기적 특성, 마이크로파 특성을 XRD, SEM, VSM, Network Analyzer를 이용하여 고찰하였다.여 고찰하였다.다.다.다.다.

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