증착 조건이 $(AI, SI)_{1-x}O_x$ 박막과 Pt 박막의 물성 및 응력 변화에 미치는 영향
(Effects of deposition conditions on physical properties and stresses of $(AI, SI)_{1-x}O_x$ and Pt thin films)
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- 한국재료학회지
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- 제6권9호
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- pp.937-942
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- 1996