• 제목/요약/키워드: 마이크로기전시스템

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실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS (Silicon Micromachining Technology and Industrial MEMS Applications)

  • 조영호
    • 한국정밀공학회지
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    • 제17권7호
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    • pp.52-58
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    • 2000
  • 최근 첨단 미세가공기술로 주목을 받고 있는 실리콘 마이크로머시닝 기술과 이를 기반으로 한 산업용 MEMS 개발현황을 소개한다. 전반부에서는 마이크로머시닝 기술의 종류를 소개하고 각각의 기술에 대해 기술근원, 미세가공원리와 기본 가공공정을 간략히 요약한 후 기전 집적형태의 마이크로머신과의 연계성을 고려한 시스템적인 측면에서의 기술특성을 상호 비교한다. 또한 가공의 양산성, 재현성, 조립성 측면에서 마이크로머시닝의 가공성을 조명함과 동시에 향후 발전방향을 전망한다.(중략)

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초소형 동력 장치 (MEMS Power Device)

  • 권세진
    • 한국추진공학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.64-70
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    • 2008
  • 마이크로 가공기술의 눈부신 발달에 힘입어 다양한 항공우주 시스템을 초소형화 하려는 시도가 있어 왔다. 마이크로 비행체, 나노 위성, 마이크로 로봇 등의 개념들이 등장하였다. 이들 독립 이동식 마이크로 시스템을 구동하는 데에는 기존의 배터리 보다 훨씬 에너지 밀도가 높은 동력원이 필요하다. 그러나 이와 같은 고에너지 동력원이 아직 존재하지 않는다. 이 논문에서는 초소형 동력원 연구의 과거와 현재를 살펴보고, 미래 발전 방향에 대한 제안을 시도하였다.

미소기전집적시스템에서의 미소기계공학 (Micro Mechanical Engineering in Micro Electro Mechanical Systems)

  • 조영호
    • 기계저널
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    • 제33권6호
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    • pp.552-570
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    • 1993
  • 이 글에서는 마이크로머신 특성을 응용한 제품들과 이에 내포된 기반기술 및 관련 연구분야를 소개하고자 한다. 먼저 세부기술과 연구과제를 언급하기에 앞서, 마이크로머신 기술의 배경과특 성을 소개하고, 기존 기술들과의 비교 . 연계를 통해 기술 공간상에서의 마이크로머신 기술의 좌표를 제시하고자 한다. 그 이후 본론에 들어가서, 마이크로머신 관련기술 및 연구분야를 다음과 같이 크게 두 가지 관점에서 정리하여 소개한다. 먼저 산업분야별 응용제품 및 기술적용 예를 통하여 '제품기술' 관점에서 마이크로머신 기술을 조명한 후, 이러한 제품기술의 근간이 되는 연구 분야별 관련기술의 소개를 통하여 '기반기술' 측면에서 마이크로머신기술을 정리하고자 한다. 특히 후반부 마이크로머신 기반 기술부분에서는 마이크로머신의 설계, 해석, 제작과 관련된 기술과제 중 비교적 기계공학분야와 연관이 있는 부분을 중점적으로 다루었다. 끝으로, 제품 기 술로서의 마이크로머신기술의 현황 기술로서의 당면 과제 등을 조명하고, 관련기술의 성숙요건을 제시해본다.

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친수성 및 소수성 마이크로 노즐 내 유동 ${\mu}-PIV$ 연구 (${\mu}-PIV$ Visualization of Flow in Hydrophilic and Hydrophobic Micro-nozzle)

  • 변도영;김지훈
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2006년도 제27회 추계학술대회논문집
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    • pp.15-18
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    • 2006
  • 최근 미소기전시스템(MEMS)를 개발함에 있어 마이크로 크기의 유동가시화는 중요한 문제이다. 특히 유체와 고체표면의 상호작용에 있어 표면의 친수성과 소수성의 성질은 미소유체를 조절 가능케 하는 핵심적인 역할이다. 본 연구에서는 마이크로 채널 내 표면을 개질하여 친수성 및 소수성의 벽면 경계조건 습윤도를 측정하였고, 또한 micro-PIV를 이용하여 벽면 근처에서의 속도 분포를 분석하였다.

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KAIST의 마이크로 열기관 요소 기술 개발 (Development of Component of Micro Thermal Device in KAIST)

  • 이대훈;박대은;윤의식;권세진
    • 유체기계공업학회:학술대회논문집
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    • 유체기계공업학회 2002년도 유체기계 연구개발 발표회 논문집
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    • pp.482-485
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    • 2002
  • Development projects in KAIST rotted to the micro thermal device is introduced. Multi disciplinary research team is composed by combustion group and semiconductor group in KAIST and catalyst research center in KRICT to develop micro thermal/fluidic device and various items are on development. Among the projects, various kind of componenst that is required by the micro thermal devicesystem is introduced. Technology related to development of micro combustor, Micro igniter, micro fabrication of 3D structure, micro reactor and micro catalyst preparation is introduced.

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나노입자를 이용한 마이크로 바이오칩의 전기적 신호검출 (An Electrical Signal Detection System Using Nanoparticle for a Microbiochip)

  • 라광열;박재준;이성환;안유민;조남규;황승용
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제30권1호
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    • pp.1-7
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    • 2006
  • A system for the electrical bio signal detection for a microchip is proposed. Gold nanoparticles were selected for the system for their bio-compatibility and potential for higher sensitivity with large surface areas. For the estimation of the conductivity of gold nanoparticles, microchips with interdigitated microelectrodes of 3,5,7 and $9\;{\mu}m$ spacing were fabricated. In addition, a simulation program was developed to estimate the electrical resistance of the fabricated microchip. The results of conduction simulation for the nanoparticles show good agreements with experimental data, which validate the proposed system.

미세바늘제작 및 배열을 이용한 반 능동형 가진 약물주입기구 설계 (Semi-active Vibration Drug Delivery Device Design using a Micro-needle Fabrication and Array)

  • 성연욱;박진호;이혜진
    • 융복합기술연구소 논문집
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    • 제1권1호
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    • pp.48-51
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    • 2011
  • Transdermal drug delivery device is a method of drug delivery through the skin. Skin has a very large area, so it is attractive route to drug delivery. When drug delivery through the skin, microneedle has a advantage that painless, constant drug deliver and penetration efficient; nevertheless the cost is expensive because fabrication process need a particular equipment and not suitable in mass production. This study shows microneedle fabrication process using convergence of general MEMS process and dicing process that can make 3-D sharp microneedle tip and this fabrication process suitable for mass production.

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전자기력을 이용한 마이크로 유체구동기의 설계 (Design of a micro fluid actuator driven by electromagnetic force)

  • 김동환;김권희
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.1988-1991
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    • 2005
  • A micro fluid actuator driven by electromagnetic force at MEMS(Micro Electro Mechanical System) level has been designed. The operation of the actuator was simulated in three steps. First, fluid flow analysis has been performed to determine the actuator load. With the load, dynamic behavior of the actuator structure has been analysed. Finally, fluid-structure interaction analysis has been performed to predict the performance of the actuator. To avoid excessive amount of computation, axisymmetric and plane strain 2-D models were used.

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