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고밀도 플라즈마 응용 고효율 스퍼터링 증착 공정 개발

  • 김종국;이승훈;김창수;강재욱;김도근
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
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    • pp.56.1-56.1
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    • 2011
  • 본 연구에서는 90% 이상의 스퍼터링 전극 사용이 가능한 새로운 방식의 스퍼터링 증착 기술을 개발하였다. 본 장치는 기존의 마그네트론 스퍼터링법과 달리 플라즈마 발생부와 스퍼터링 전극이 따로 존재하며, 플라즈마 발생부에서 생성된 이온을 통해 전극 스퍼터링을 일으킨다. 플라즈마 발생부에서 생성된 $10^{13}cm^{-3}$ 이상의 고밀도 Ar 플라즈마는 전자석 코일을 통해 형성된 자기장을 따라 스퍼터링 전극으로 균일하게 수송되며, 스퍼터링 전극 전압에 의해 가속된 이온은 전극 대부분 영역에서 스퍼터링을 발생시킨다. 스퍼터링 전류는 플라즈마 발생부의 전력에만 비례하며 직경 100 mm 스퍼터링 전극 사용시 최대 3.8 A의 이온 전류 값을 나타냈다. 따라서 스퍼터링 전압과 전류의 독립적인 제어가 가능하며 일정한 스퍼터링 전류 조건에서 300 V 이하의 저전압 스퍼터링 공정 및 1 kV 이상의 고전압 스퍼터링 공정이 가능하였다. 이를 통해 스퍼터링된 이온 및 중성입자의 에너지 조절이 가능하며, 다양한 증착공정 분야에 응용 가능하다.

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지역 주민에 의한 하천 모니터링의 현지 적용 (Application of River Monitoring Methodology by a Local Resident)

  • 김진홍
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2008년도 학술발표회 논문집
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    • pp.1995-1999
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    • 2008
  • 현재 지역적으로 일반 주민들이 실시하는 하천 모니터링 결과들이 지역별, 유역별로 일부 존재하나 모니터링 방법이 달라 일관되고 정확한 통계를 얻을 수 없다. 특히 사용하고 있는 모니터링 기법이 전문가 중심의 내용으로 되어 있고 오래전에 도입된 매뉴얼들로써 실질적 모니터링의 효과를 보기 어렵다. 본 연구에서는 일반 시민들이 알기 쉽게 하천 모니터링을 실시할 수 있는, 시민참여형 하천 모니터링 인자(항목) 개발하고, 개발된 모니터링 인자들을 이용하여 일반 시민들이 손쉽게 판단할 수 있도록 모니터링 방법론을 정립하였으며, 이를 바탕으로 현지 하천을 대상으로 직접 모니터링을 실시하여 그 결과를 검토하고 미비점을 보완하였다. 일반적으로 조사 구간은 1000m를 기본으로 하며, 이 경우 조사 구간에는 하천환경 상태가 일정할 수 없다. 따라서 조사 구간 내의 지배적인 현황을 고려하여 모니터링을 실시하며, 조사표에 모니터링의 지배적인 현황 결과를 기입하는 것이 요구된다. 본 연구에서 도출된 모니터링 기법은 일반 시민들이 쉽게 대상 하천의 하천환경 상태를 판단할 수 있는 것으로서, 앞으로 활용도가 높을 것으로 판단된다. 추후 많은 시민들의 모니터링 결과를 바탕으로 본 매뉴얼이 수정, 보완되는 것이 바람직할 것이다.

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공중모니터링 발전방향에 관한 연구 (A Study for spaceborne monitoring development plan)

  • 신동빈;안종욱
    • 한국GIS학회:학술대회논문집
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    • 한국GIS학회 2008년도 공동춘계학술대회
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    • pp.10-18
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    • 2008
  • 국토를 효율적으로 관리하고 이용하기 위한 다양한 방안들이 모색되고 있으며, 공중모니터링체계 구축방안에 관한 논의도 이러한 맥락에서 추진되고 있다. 본 연구는 국토모니터링체계 구축이라는 큰 틀에서 공중플랫폼을 이용한 모니터링체계인 공중모니터링체계를 구축하기 위해 고려되어야 할 요인들을 도출하는 것이다. 관련 기술의 개발과 활용 그리고 이를 적용한 공중모니터링체계의 구축 및 운영이 효율적으로 추진될 수 있도록 제반사항을 마련한다는 측면에서 본 연구에서 선행연구검토와 기술동향 및 적용사례, 그리고 관련 기관의 요구사항조사를 실시하였다. 이를 통해 도출된 연구결과는 지상, 지하, 공중부문이 상호 연계되는 통합적인 공중모니터링체계 구축, 공중모니터링분야의 전문 인력양성, 공중모니터링자료(위성영상, 항공사진 등)의 공유 및 유통체계 마련, 공중모니터링체계를 구축하고 관리 운영 할 전담기구 설립, 실시간 공중모니터링체계의 구축, 공중모니터링체계의 구축 및 관리 운영을 지원할 수 있는 관련 법제도의 개선, 지속적인 관련기술의 연구개발 지원 등이 필요하다.

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플라즈마를 이용한 고효율 스퍼터링 공정 연구

  • 김종국;이승훈;강재욱;김도근
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.102-102
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    • 2012
  • 본 연구는 산업계 및 학계에서 많은 연구와 응용이 이루어지고 있는 스퍼터링 기술에 관한 것으로, 타겟의 사용효율 및 스퍼터링된 입자의 이온화, 에너지 증대의 관점에서 새로운 방식으로 접근한 스퍼터링 기술에 관한 것이다. 본 공정 연구는 기존의 마그네트론 스퍼터링과는 달리, 독립적인 플라즈마를 생성하고 이를 (-)전압이 인가된 스퍼터링 타겟으로 유도하여 2차 방전을 일으킴과 동시에 생성 입자의 이온화 및 에너지 가능하도록 한 것이다. 플라즈마 발생부에서는 $10^{13}cm^{-3}$ 이상의 고밀도 Ar 플라즈마를 생성하고, 이를 자장을 통하여 스퍼터링 타겟으로 균일하게 수송하며, 스퍼터링 전극에 인가된 (-)전압에 의하여 이온들이 스퍼터링을 발생시킨다. 스퍼터링 전류는 생성된 플라즈마 발생부의 방전전류에만 비례하며, 스퍼터링에 인가되는 전압과는 독립적으로 작용 가능하다. 그리고 기판의 박막 증착률은 스퍼터링 전류에 보다는, 스퍼터링 타겟에 인가한 전압에 따라 변화하며, 기판에 도달하는 이온의 전류 및 입자의 량은 플라즈마 발생부의 플라즈마 전류량과 인가 스퍼터링 전압에 관계하여 변한다. 이 방식으로 이용할 경우, 스퍼터링된 입자의 양과 이온화률을 독립적으로 제어할 수 있어, 기존의 마그네트론 스퍼터링 공정 대비하여 더 넓은 공정 윈도우를 확보하는 것이 가능하며, 또한 기존 마그네트론 스퍼터링에서 문제가 되고 있는 타겟 사용 효율을 높일 수 있는 가능성을 볼 수 있었다.

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고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정 개발

  • 김도근;이승훈;김종국
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.508-508
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    • 2011
  • 스퍼터링을 이용한 박막 증착기술은 다양한 분야에 걸쳐 적용되어 왔으며, 스퍼터링 타겟 사용효율을 향상시키기 위해 마그네트론 구조 최적화 및 이온 소스 적용 스퍼터링 등의 기술이 연구되어 왔다. 또한 인듐과 같은 희토류 금속의 가격이 최근 상승함에 따라 고효율 스퍼터링기술의 필요성은 더욱 증대되었다. 본 연구에서는 고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 공정을 개발하였다. 동공 음극방전에서 생성된 고밀도 플라즈마는 전자석 코일을 통해 형성된 자기장을 따라 스퍼터링 타겟 표면까지 수송되며, 음전위로 대전된 스퍼터링 타겟 표면에서는 가속되어 입사하는 이온에 의한 스퍼터링이 발생한다. 본 스퍼터링 공정 기술의 경우, 기존 마그네트론 스퍼터링 소스에서 나타나는 약 30%의 타겟 사용 효율을 뛰어넘는 약 80% 이상의 타겟 사용률을 보였다. 또한 고밀도 플라즈마 소스에서 공급되는 이온에 의한 스퍼터링 공정을 개발 함에 따라 스퍼터링 방전전압의 독립적 조절이 가능하다. 이에 따라 200 V 이하의 저전압 스퍼터링 공정을 통해 유연성 폴리머 기판 및 유기소자 상 저에너지 이온 증착이 가능하며, 1 kV 이상의 고전압 스퍼터링을 통해 추가적인 기판 전압 인가 없이 박막 치밀화 구현이 가능하다.

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Esper 기반 실시간 필터링 시스템 (Esper-based Real-time Filtering System)

  • 박세빈;이상훈;문양세
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2016년도 추계학술발표대회
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    • pp.552-555
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    • 2016
  • 본 논문에서는 데이터 스트림 대상의 필터링 문제를 다룬다. 데이터 스트림은 지속적으로 생성되며, 크기 또한 거대해서 이를 실시간 처리하기 위해서는 분석에 불필요한 데이터를 충분히 필터링해야 한다. 하지만, 기존 필터링 알고리즘은 하나의 데이터 형식에만 사용이 가능하여 다양하고 복잡한 스트림 환경에서는 사용하기가 어렵다. 따라서, 본 논문에서는 이 같은 문제를 해결하기 위해 스트림 형식에 따라 필터링 알고리즘을 다양하게 선택할 수 있는 필터링 시스템을 제안한다. 그리고 실시간 필터링을 위해 대표적인 오픈소스 DSMS(data stream management system)인 에스퍼 기반으로 구현한다. 또한 웹 기반 클라이언트-서버 모델로 확장 구현하여 사용자가 언제 어디에서든 필터링 시스템을 사용할 수 있게 한다. 제안하는 에스퍼 기반 실시간 필터링 시스템은 데이터 스트림으로 실시간 데이터 스트림과 벌크 데이터 스트림을 지원한다. 그리고 필터링 알고리즘으로 질의 필터링, 블룸 필터링, 베이지안 필터링을 제공한다. 제안하는 필터링 시스템 구현 결과, 데이터 스트림 특성에 적합한 필터링 알고리즘을 선택적으로 제공함으로써, 사용자가 보다 정확하고 효율적으로 의미있는 데이터를 추출 가능하게 하였다.

국토관리를 위한 공중모니터링 방안수립에 관한 연구 (Spaceborne Monitoring Plan for Land Management)

  • 신동빈;안종욱
    • 한국측량학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.367-378
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    • 2008
  • 국토를 효율적으로 이용하고 관리하기 위해서는 국토변화에 대한 지속적인 모니터링이 필요하며, 모니터링의 가장 효과적인 방법 중에 하나가 인공위성과 항공기 등을 이용하는 공중모니터링이다. 이에 본 연구에서는 공중모니터링체계 구축방안을 제시하였으며, 이를 위하여 국내외 선행연구 및 사례검토, 관련기술동향 파악, 국토분야별 관계기관에 대한 요구사항 조사를 수행하였다. 국토관리를 위한 공중모니터링체계 구축방안으로 첫째, 국토모니터링체계와 중장기계획을 수립 둘째, 공중모니터링 전담기관을 지정 셋째, 공중모니터링분야의 전문인력을 양성 넷째, 자료공유 및 유통체계를 마련 다섯째, 실시간 공중모니터링체계를 구축 여섯째, 관련 법제도를 개선 일곱째, 지속적인 관련기술의 연구개발 등에 대한 지원 등을 제시하였다.

실행 코드 영역 프로파일링을 통한 MFU 기반 페이지 컬러링 기법 (MFU-based Page Coloring Scheme through Application Code Profiles)

  • 김정훈;김인혁;엄영익
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2011년도 춘계학술발표대회
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    • pp.246-249
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    • 2011
  • 페이징을 이용한 가상 메모리 환경에서는 프로세스가 사용하는 가상 페이지가 임의의 물리 페이지로 매핑이 되므로 캐시 인덱스 충돌로 인한 캐시 미스율이 증가한다. 이를 하드웨어의 지원 없이 해결하기 위해 페이지 컬러링 기술은 처음 연구되기 시작하였고, 지금까지도 꾸준히 연구되고 있다. 이러한 페이지 컬러링 기술은 컬러링 정책을 먼저 정해놓고 컬러링을 하는 정적 페이지 컬러링, 그리고 동적프로파일링을 통해 프로세스의 데이터 영역 접근 패턴을 파악하고 이를 통해 실시간 컬러링을 하는 동적 페이지 컬러링으로 나눌 수 있다. 하지만 두 가지 방법 모두 다음과 같은 단점이 존재한다. 먼저 정적 페이지 컬러링은 프로세스의 동작을 프로파일링 할 수 없기 때문에 컬러링으로 인한 효율을 극대화시킬 수 없고, 동적 페이지 컬러링은 동적 프로파일링을 하고 이를 통해 재컬러링(recoloring) 하는 오버헤드가 존재한다. 이러한 문제를 해결하기 위해서, 본 논문에서는 실행 코드 영역 프로파일링을 통한 MFU(Most Frequently Used) 기반 페이지 컬러링 기법을 제안한다. 이 기법은 동적으로 프로세스 코드 영역을 프로파일링 하여 실행 점유율이 높은 영역을 알아낸 뒤, 이를 기반으로 정적 페이지 컬러링을 하는 방식이다. 따라서 본 논문에서 제안한 기법은 기존의 기법들이 가진 단점을 해결하고, 캐시 성능을 향상시킬 것으로 기대된다.

안전하고 효율적인 이진 필드상의 페어링 알고리즘 (Efficient and Secure Pairing Algorithm over Binary Fields)

  • 최두호;한동국;김호원
    • 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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    • 한국방송공학회 2008년도 동계학술대회
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    • pp.69-72
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    • 2008
  • 최근 PKI-less 공개키 암호 시스템에 대한 연구가 진척되면서, 페어링(Pairing) 기반의 암호 시스템이 주목을 받고 있다. 페어링 기반의 암호 시스템은 두 개의 타원 곡선 상의 점을 유한체의 값으로 보내는 양방향 선형성(Bilinearity)을 가지는 페어링 함수를 기반으로 구성되는 암호 시스템이다. 페어링 기반의 암호 시스템 구현을 위해서는 페어링 연산 알고리즘이 필수적이며, 효율적인 페어링 연산을 위한 많은 연구가 진행되고 있다. 이러한 페어링 알고리즘에도 기존의 타원곡선 스칼라곱 알고리즘에서 야기되었던 부채널 공격이 동일하게 적용되기 때문에, 안전한 페어링 알고리즘을 위해서는 부채널 공격에 대한 저항성을 갖는 알고리즘이 필요하다. 이에 본 논문에서는 부채널 공격에도 안전하면서 비교적 효율적인 이진 필드 상의 페어링 알고리즘을 제시한다. 본 페어링 알고리즘은 기존의 부체널 공격 저항성을 갖는 페어링 알고리즘 중 가장 효율적인 알고리즘에 비해 효율성이 17% 정도 향상되었다.

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창업 인재 양성을 위한 미국 SCORE 제도의 한국적 적용과 신 멘토 제도 연구

  • 유병준;전성민
    • 한국벤처창업학회:학술대회논문집
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    • 한국벤처창업학회 2017년도 추계학술대회
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    • pp.163-166
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    • 2017
  • 본 연구에서는 해외의 대표적 성공적 멘토링 제도인 미국의 SCORE 제도를 벤치마킹하고, 한국의 멘토링 제도를 조사하여 한국의 실정에 맞고 인재 양성에 도움이 되는 새로운 멘토링 제도를 제시한다. 이를 통해 1. 훌륭한 멘토의 조건, 2. 성공적인 운영 방식, 3. 적절한 멘토링 운영 기관 형태, 4. 사회적 기업 창업 멘토링과 일반 영리 기업 창업 멘토링의 비교 및 발전 방향 등을 알아본다. 멘토링 제도의 연구를 통해 제안된 새로운 멘토링 방안과 구조를 토대로 기존의 멘토링 실시 기관의 운영체제, 방안이 개선되는 효과가 있을 것으로 기대된다. 이와 함께 새로운 멘토링 기관의 운영체제와 운영 방안을 국가 정책과 관련 기관들에 제시하는 의의가 있다. 특히 한국의 정부 중심 멘토링 제도 및 기관과 비교해서, 미국의 SCORE 제도가 민간 주도적 성격과 함께 대학교 중심으로 SCORE Center를 운영하고 기술 창업을 주도하는 것에 대한 비교를 통하여 한국 멘토링 거버넌스의 새로운 방향을 정책적으로도 제시한다.

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