In this paper a multiple channel EPD controller is developed which enables us to detect endpoints simultaneously in the plasma etching process operated in multiple etching chambers and its performance characteristic are investigated. for the accurate detectiion of endpoint the developed EDP controller was able to implement endpoint detectiions by integrating the existing EPD controllers with the techiques of artificial intellignet, to enhance its performance. The performance of the developed EPD controller was carried out by repeated experiments of endpoint detection in the acrual production line of semiconductor manufacturing. It's utility for endpoint detectiion was accurately evaluated in various etching process. The control capability of multiple etching chambers enhances its application compared with the existing one, and also increases the user utility os that the efficiency of operation was improved.
The White Beamline of the Pohang Accelerator Laboratory(PAL) consists of main and second slits, a microprobe system, two ion chambers, a video-microscope, and a Si(Li) detector. These machine components must be controlled remotely through computer system to make user experiments precise and speedy. A real-time computer control system was developed to control and monitor these machine components. A VNIEbus computer with OS-9 real-time operating system was used for low-level data acquisition and control. VME I/O modules were used for step motor control and scaler control. The software has modular structure for maximum performance and easy maintenance. We developed database, I/O driver, and control software. We used PC/Window95 for data logging and operator interface. Visual C++ was used graphical user interface programming. RS232C was used for communication between VME and PC.
Principles and mechanism of energy transduction of dielectric polymer materials are well known from the various smart material related publications. However their introduction to industrial actuator applications is limited mainly due to difficulties guarantee controllability and reliability. Most of the previous publications have elaborates energy transduction physics of chunk of polymer while development of construction methods for feasible actuators made of the material is rarely proposed. In the present article, a conceptual design of multi-DOF linear polymer actuator construction that is to be controllable with moderate level of control work os introduced. In addition, numerical models that are developed with a unified energy based approach are presented not only for basic working mechanism analysis of the polymetric soft actuator but for providing analytical foundation to expend the concept toward design of multi-DOF actuator controls.
Hand carried computing machinery and tools have been developed into an embedded system which the small footprint operating system is contained internally. Windows CE which is one of imbedded operating system is a lightweight, multithreaded operating system with an optional graphical user interface. Its strength lies in its small size, its Win32 subset API, and its multiplatform support. Therefore we choose to port this OS on Arm based board that is provided high performance, low cost, and low power consumption. In this paper, we describe the architecture of ARM based board, the feature of Windows CE, techniques and steps involved in this porting process.
While Ethernet and TCP/IP are the most widely used protocol, for Real-time system, it is not applicable because it doesn't guarantee the deterministic transmission time. Furthermore, the TCP acknowledgement scheme and sliding window algorithm enforce to collide packets. Although various Collision-Free CSMA protocol was presented, it is very difficult to implement in well known OS(UNIX, WilidowsNT) because we have to modify network kernel. This paper presents another transmission protocol based on modified UDP. The colliding probability can be minimized by avoiding successive packet transmission and decreasing competition duration. The proposed algorithm can be used for the soft real-time industrial automation network.
In this paper, we develop the system which inspects the metal mask using area scan camera and belu type xy-table and introduce its inspection algorithm. Thes whole area of the metal mask is divides into several inspection block and the sixe of a inspection block is decided by FOV(Field of View). To compare with the camera image of each block, the reference image is made by gerber file. The ratation angle of the metal mask is calculated through the linear equation that is substituted two end points of horizontal boundary of a specific hole in a camera image for. To calculate the position error caused by belt type xy-table, hough-transform using the distances among the holes in two images os used. The center of the reference image is moved as much as the calculated position error to be coincide with the camera image ...
This paper presents the duplex controller operated as master slave for Self Excited Static Type excitation system and the results of operation for duplex digital excitation system. Software is made up duplex multi-tasking control algorithm which is based on VxWorks(real-time OS), preprocessing algorithm for input-output signal, BSP & Device Driver for interfacing hardware and software, and OIS(Operator Interface Station) program, HMI S/W. Master controller and slave controller intercommunicate dominant data to minimize bump when controller switchover from master to slave occurs. Communication between master controller and slave controller is duplicated and communication between OIS and controller is duplicated. Hardware is made up VMEBUS based controller which is designed with PPC & I/O board ...
In recent years, as the battery-powered portable systems such as cellular phone, personal digital assistant (PDA) are widely used, power consumption comes to be a top-priority design concerns. Because those embedded systems become more and more complex than ever and they are operated under severe power and energy constrains, long battery lifetime with a limited energy is very critical. Even though there are various levels of energy optimization techniques, system level techniques are mainly focused on, for their stronger impact on power consumption of the overall system than traditional techniques : circuit level, switch level, architecture level, etc. In this technique, operating system (OS) plays the most important role in the system because it controls ...
Park, P. H.;Cheong, S. H.;Ro, S. H.;Choi, S. D.;Choi, H.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2000.11a
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pp.678-682
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2000
The purpose of this study is to develop a powerful 6-axes general welding robot utilizing a low cost vision system. The developed vision system is composed of a CCD camera, a PC with windows 98 OS, and a PC-Robot communication program using Visual C++. A test was carried out to investigate whether the welding torch can precisely follow up the welding path. It shows that the result of this study can readily be applied to practical welding operations.
An intelligent robot control system is developed, which is based on extensible hardwares and softwares. The system could be used to test advanced and complex real time application programs to avoid constraints on present robot control system in executing a complex or precise algorithms, due to the limitation of hardware and software. In this paper we used the RCCL(Robot Control C Library) on SUN4 as a supervisory system that plays the path planning and man-machine interface. And we used VxWORKS as a real time OS on a VME bus CPU equiped with some interface boards. Two systems were connected through the Ethernet network. We used the 4 axis manipulator, FARA, developed by Samsung Electronics Co.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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