• 한국광학회지
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• 제4권1호
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• pp.15-21
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• 1993

본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
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• 제19권4호
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• pp.305-318
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• 2002

한반도 상공의 중간 자외선 대기광을 측정하기 위해 3단형 과학로켓(KSR-III)에 탑재될 대기광도계(Airglow Photometer, AGP)가 제작되었다. 대기광도계 비행 모형(FM)은 4-channel로 이루어져 100km~300km 구간의 중간 자외선 영역의 OI 2972${\AA}$, $N_2$ VK(0,6) 2780${\AA}$, $N_2$ 2PG 3150${\AA}$ 대기광과 배경으로 3070${\AA}$을 지평선 방향으로 측정하게 된다. 대기광도계는 광도계 본체, 차폐경(Baffle), 전자제어부, 전원공급기로 구성되어 있다. 광도계 본체는 협대역 간섭 필터를 통해 선택된 파장의 대기광을 직경 2.5cm 렌즈로 초점면에 설치된 실틈(slit)을 통해 자외선 감지용 광전증배관으로 진입시키는 구조로 되어있다. 비행중 영점 측정을 위해 초점면 실틈 뒤편의 회전판에 영점광원을 설치하였다. 차폐경은 저충대기로부터 산란되는 태양광이 광도계로 진입하지 못하도록 성능을 최적화하여 설계 제작되었다. 대기광도계 비행모형의 지상 테스트로서 각광도계의 성능 테스트 및 감응도, 영점 측정 등을 실시하였다. 대기광도개가 미약한 빛을 감응하도록 제작되었기 때문에 국내에서 신뢰도를 갖고 절대 감응도를 결정할 수 없었다. 그러나 대기광도계 각 channel 간 상대 감응도 측정값은 안정되게 측정되었기 때문에, 추후 로켓 비행시 측정한 자료를 신뢰성있게 분석할 수 있을 것으로 기대된다.

• 벤처창업연구
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• 제14권1호
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• pp.33-46
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• 2019

스타트업 생태계 활성화를 위한 액셀러레이터의 역할에 대한 큰 잠재력을 인정한 대한민국 정부는 2016년 일명 액셀러레이터법을 도입하였으며, 이에 힘입어 최근 등록된 액셀러레이터는 136개 수준으로 활성화 되었다. 액셀러레이터는 발원지인 미국뿐 아니라 유럽에서도 부흥하고 있는 등 세계적으로 주목받고 있지만 현재까지 액셀러레이터에 대한 선행 연구는 많지 않은 것이 사실이다. 국내에서는 액셀러레이터 법제화 이후에도 액셀러레이터의 연구는 극소수에 불과해 액셀러레이터에 대한 다양하고 심도 있는 학문적 연구가 필요한 상황이다. 스타트업과 액셀러레이터 간의 관계에 대한 객관적인 정보는 액셀러레이터를 통한 성공적인 스타트업 지원에 필수적이다. 아직 국내 액셀러레이터는 초기단계이므로 관련 연구나 사회적인 합의가 매우 부족한 실정이다. 특히, 스타트업이 액셀러레이터의 프로그램을 통해서 얻고자 하는 부분에 대한 명확한 정보는 보다 정교한 액셀러레이팅 프로그램 설계를 가능하게 하여, 지원받는 초기 스타트업들의 발전에도 도움이 될 것이다. 이에 따라, 본 연구에서는 판단분석기법을 활용하여 액셀러레이터의 지원이 필요한 단계에 있는 스타트업이 액셀러레이터를 선택 할 때 어떤 부분을 고려하는지에 대해서 알아보았다. 본 연구를 통해 스타트업이 액셀러레이터 선택 시 의사결정에 대한 합의와 액셀러레이터의 발전 방안을 제시하고자 하였다. 실증 분석 결과 스타트업이 액셀러레이터를 선택 시 의사결정요인에 가장 큰 영향을 미치는 요인은 후속 투자유치로 나타났다. 이는 초기 단계의 스타트업이 성장을 위해 가장 중시하는 요인을 투자라고 생각하며, 이를 액셀러레이터에 원한다는 것으로 해설할 수 있다. 이러한 연구결과가 국내 스타트업의 액셀러레이터 정책 수립과 관련 산업 활성화를 위한 방향 설정에 도움을 줄 수 있을 것으로 기대하며 본 연구와 함께 액셀러레이터와 관련한 후속 연구가 지속되길 기대한다.

• 미래기술융합논문지
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• 제2권4호
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• pp.13-19
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• 2023

파리기후변화협약(UNFCCC, 2015) 체결에 따라 선진국뿐만 아니라 개발도상국을 포함하는 포괄적 참여를 통해 전 세계가 온실가스 감축 활동을 확대하고 있다. 세계 주요국은 탄소배출권 시장을 통한 탄소배출 총량규제의 효과에 많은 기대를 걸고 있다. 그러나 탄소배출권을 얻기 위해서는 정량적인 탄소저감량 데이터를 바탕으로 제3자 검증이 필요하다. 이에 본 논문에서는 탄소배출권용 AIoT 고효율 가로등을 개발하여 등기구의 광효율을 측정하는 성능분석 연구를 진행했다. 탄소배출권을 얻기 위해 고효율 LED PKG를 사용하며 고전압용 PFC를 자체 개발하고 통신이 가능한 고효율의 등기구를 개발했다. 통신을 위해 등기구와 Gateway간 2.4GHz LoRa 방식을 채택했다. 한국 도로공사 표준 가로등 Type A, B, C 시뮬레이션을 통하여 렌즈 설계를 진행했다. 가로등의 성능은 공인 성적기관의 광효율 측정을 통하여 기존 타제품 대비 고효율의 성능을 검증하였으며, 이를 통한 전기에너지 절감으로 탄소배출권을 획득할 것으로 기대된다.