• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1991년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.77-86
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• 1991

레이저 빔이갖고있는 spatial coherence 특성에 의해서 렌즈를 이용하여 집광시키면 집광부에서 고출력 밀도를 얻을 수 있다. 이와같이 집광된 레이저 빔을 재료의 표면에 조사하면 재료로 부터 미세량을 용융, 증발시키므로 일반적인 방법으로는 가공이 어려운 단단한 재료의 절단과 미세 구멍가공이 가능하게된다. 본 논문에서는 출력, 펄스 수, defoucsing, pulse on-time, 보조가스 압력등을 변화 시키면서 드릴링 실험을 수행하고, 각 실험 조건에서의 구멍 형상과 깊이를 측정함으로써 가공 변수들의 process sensitivity를 평가하였다.

• 한국레이저가공학회:학술대회논문집
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• 한국레이저가공학회 2005년도 춘계학술발표대회 논문집
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• pp.97-101
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• 2005

• 한국레이저가공학회:학술대회논문집
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• 한국레이저가공학회 2001년도 춘계학술발표대회 논문개요집
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• pp.100-104
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• 2001

• 한국레이저가공학회:학술대회논문집
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• 한국레이저가공학회 1999년도 춘계학술발표대회 논문개요집
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• pp.43-46
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• 1999

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2007년도 제29회 추계학술대회논문집
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• pp.285-288
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• 2007

레이저가공에서 나타나는 가공부위의 용융된 물질을 밀어내는 가스의 역할을 모사하기 위하여, 구멍이 있는 평판 상부에 충돌하는 마이크로 초음속 제트유동의 경계층 효과가 수치해석적으로 연구되었다. 충돌유동과 충격파의 구조 및 구멍통과 질량유량이 관찰되어 경계층 영향이 고려되지 않은 과거 연구와 비교되었다. 노즐내부 유동의 경계층 효과로 인하여 가공부위 상부에서 보다 강한 마하디스크가 생성되고, 아울러 구멍통과 질량유량도 줄어드는 것이 관찰되었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2001년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1056-1059
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• 2001

These days, as dynamic function and special properties to compare traditional material, $Al_20_3$ ceramic use all over the industry. But it is very difficult to process because of high hardness and brittleness. Therefore, in this paper, it was investigated that laser process parameter which can produce appropriate quality of $Al_20_3$ ceramic microhole machining.

• 한국정밀공학회지
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• 제31권1호
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• pp.75-81
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• 2014

Laser beam machining has been known as efficient for glass micromachining. It is usually used the ultra-short pulsed laser which is time-consuming and uneconomic process. In order to use economic and powerful long pulsed laser, indirect processing called laser-induced backside wet etching (LIBWE) is good alternative method. In this paper, micromachining of glass using Nd:YAG laser with nanosecond pulsed beam has been attempted. In order to improve shape accuracy, combined processing with magnetic stirrer has been widely used. Magnetic stirrer acts to circulate the solution and remove the bubble but it is not suitable for deep hole machining. To get better effect, ultrasonic vibration was applied for improving shape accuracy.

• 한국레이저가공학회지
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• 제18권3호
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• pp.9-13
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• 2015

The development of a reliable, high-power source of mind-IR laser light gives process develop important tool with unique characteristics that will significantly impact a diverse range of applications.

• 한국기계가공학회지
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• 제11권5호
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• pp.99-103
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• 2012

Presently, A glass is widely used in telecommunication system, optoelectronic devices and micro electro mechanical systems. Micro drilling of glass using the laser can save processing cost and improve the accuracy. This paper experiments micro drilling using KrF excimer laser on the pyrex glass of $500{\mu}m$ thickness. We have experiment to find out optimum laser machining conditions of micro drilling of glass and ablation depth and influence by processing parameter suc'h pulse repetition rate, energy density and number of pulses. Pulse repetition rate don't influence ablation depth at the micro drilling of pyrex glass. Energy density influence micro drilling of parallelism and maximum thickness that can be drilled. Ablation depth is most influenced by number of pulses.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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• pp.353-354
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• 2012