Fabrication of micro grooves and holes using laser-assisted etching

레이저 에칭을 이용한 미세 홈 및 구멍 가공

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  • 오광환 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 이민규 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과)
  • Published : 2005.06.10