• Progress in Medical Physics
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• v.6 no.2
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• pp.61-70
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• 1995

The picosecond time resolved fluorescence spectra of Hematoporphyrin Derivative (HPD) in both solutions and cancer cell are measured by a time correlated single photon counting system with a synchronously mode locked dye laser. Two exoponential decay components in the fluorescence spectra were observed. The slow decay(6.3 ㎱)and the fast one(350 ㎰)are attributed to be originated from monomers and dimers, respectively. The absorption and fluorescence measurements in steady state also showed the presence of a monomeric and dimeric forms of HPD molecules. The monomer lifetime in the cancer cell was measured to be longer than that in solution, which was expected from the blue shift and narrowing of the absorption spectra for HPD-treated in vitro. The relative amplitude of the fast component was found to be enhanced in cancer cell, strongly indicating the higher affinity of the dimer for the cancer cell.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.33 no.2
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• pp.385-390
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• 2016

In our study, ceramics coatings by additives of nano alumina and magnesia have cured on 304 stainless steel at $170^{\circ}C$ 2h. We designed and experimented the coated specimens that were characterized by laser induced fluorescence spectroscopy using the charge coupled device and scanning electronic microscopy(SEM). The result was revealed the ceramic coatings added fillers has more excellent on adhesive property and scratch resistance, and less weight loss in acid solution than ceramic coatings non-added fillers. Therefore, this study has designed and manufactured the electromagnetic spectrometry with CCD and then analyzed the coatings on 304 stainless steel using the High Resolution Charge Coupled Device in improving the corrosion resistance of 304 stainless steel. Nowadays, coatings of stainless steel have increased by industrial demand in hygienes, aviation, instrumentations and robotics as the industry special application develops.

• Journal of ILASS-Korea
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• v.3 no.1
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• pp.10-18
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• 1998

To investigate the in-cylinder phenomena in a SI engine with 3 valves and pent-roof type combustion chamber, flow fields, fuel distributions, and flame propagations were measured in a single c!'tinder visualized engine. Flow fields were visualized by PTV system during the intake and compression process. Fuel distributions were measured by PLIF at the various engine conditions including the cold and hot engine conditions and the effect of air-shrouded injector on the fuel distribution was investigated also. In addition, flame propagation patterns were characterized.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.81-81
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• 2013

반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

• Analytical Science and Technology
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• v.23 no.1
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• pp.1-14
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• 2010

It is of importance that all countries in worldwide, including EU and China, have adopted the Restrictions on the use of certain Hazardous Substances (RoHS) for all electronics. IEC62321 document, which was published by the International Electronics Committee (IEC) can have conflicts with the standards in the market. On the contrary Publicly Accessible Specification (PAS) for sampling published by IEC TC111 can be adopted for complementary application. In this work, we tried to find a route to disassemble and disjoint cellular phone sample, based on PAS and compare the screening methods available in the market. For this work, the cellular phone produced in 2001, before the regulation was born, was chosen for better detection. Although X-ray Fluorescence (XRF) showed excellent performance for screening, fast and easy handling, it can give information on the surface, not the bulk, and have some limitations due to significant matrix interference and lack of variety of standards for quantification. It means that screening with XRF sometimes requires supplementary tool. There are several techniques available in the market of analytical instruments. Laser ablation (LA) ICP-MS, energy dispersive (ED) XRF and scanning electron microscope (SEM)-energy dispersive X-ray (EDX) were demonstrated for screening a cellular phone. For quantitative determination, graphite furnace atomic absorption spectrometry (GF-AAS) was employed. Experimental results for Pb in a battery showed large difference in analytical results in between XRF and GF-AAS, i.e., 0.92% and 5.67%, respectively. In addition, the standard deviation of XRF was extremely large in the range of 23-168%, compared with that in the range of 1.9-92.3% for LA-ICP-MS. In conclusion, GF-AAS was required for quantitative analysis although EDX was used for screening. In this work, it was proved that LA-ICP-MS can be used as a screening method for fast analysis to determine hazardous elements in electrical products.