• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.287.1-287.1
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• 2014

본 연구에서는 현재 디스플레이에서 가장 널리 이용되는 저온 polycrystalline silicon (poly-Si)의 결정화 방법에 따른 thin-film transistor (TFT)의 전기적 특성을 분석하였다. 분석에 이용된 결정화 방식은 Excimer Laser Annealing (ELA)와 Metal Induced Crystallization (MIC)이다. ELA와 MIC TFTs의 전기적 특성 측정을 통한 분석결과 ELA와 MIC poly-Si TFTs의 전기적 특성 [field-effect mobility (${\mu}_{FE}$), on/off current ratio ($I_{ON}/I_{OFF}$), sub-threshold swing (SS)]은 큰 차이는 없지만, ELA를 이용한 poly-Si TFT의 전기적 특성이 조금 우수하다. 하지만, MIC poly-Si TFT의 경우 threshold voltage ($V_{TH}$)가 0V에 보다 가까울 뿐만 아니라, 전기적 스트레스를 통한 신뢰성 확인 시 ELA poly-Si TFT보다 조금 더 안정적이다. 이는 ELA의 경우 좁은 면에 선형 레이저 빔으로 조사하면서 생기는 hill-lock의 영향으로 표면이 거칠고 균일하지 못하여 바이어스 인가시 생기는 문제이다. 또한 MIC는 금속 촉매를 이용해 결정립 경계를 확장하고 결정 크기를 키워 대면적화에 유리하다. Thermal Stress에서는 (from 293K to 373K) TFT에 점차 높은 온도를 가하자 MIC poly-Si TFT의 경우 off 상태에서 누설 전류 값이 증가하며 열에 민감한 반응을 보이는 것을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.350.1-350.1
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• 2014

분포 브래그 반사기(distributed Bragg reflector; DBR)는 광센서, 도파로, 태양전지, 반도체 레이저 다이오드, 광검출기와 같은 고성능 광 및 광전소자 응용분야에 널리 사용되고 있다. 일반적으로, DBR은 박막의 두께를 4분의 1 파장(${\lambda}/4$)으로 가지는 서로 다른 저굴절율 물질과 고굴절율 물질을 교대로 적층 (pair)한 다중 pair로 제작되어지며, DBR의 반사 특성과 반사대역폭은 두 물질의 굴절율 차이와 pair의 수에 영향을 받는다. 그러나, 서로 다른 굴절율을 갖는 두 물질을 이용하는 DBR의 경우, 두 물질간 열팽창계수의 불일치, 접착력 문제, 높은 굴절율 차이를 갖는 물질 선택의 어려움 등 많은 문제점을 지니고 있다. 최근, 경사입사각증착법을 이용한 동일 재료(예, 인듐 주석 산화물, 게르마늄, 실리콘)기반의 DBR 제작 및 특성에 대한 연구가 보고되고 있다. 높은 입사각을 갖고 박막이 증착될 경우, 저율을 갖는 다공박막 제작이 가능하여 경사입사각증착법으로 homogeneous 물질 기반의 고반사 특성을 갖는 다중 pair의 DBR을 제작할 수 있다. 본 실험은, 갈륨비소 기판 위에 경사입사각증착법 및 전자빔증착법을 이용하여 중심파장 960 nm가 되는 이산화 티타늄 기반의 DBR을 제작하였고, 제작된 샘플의 증착된 박막의 표면 및 단면의 프로파일은 주사전자현미경을 사용하여 관찰하였으며, UV-Vis-NIR 스펙트로미터를 이용하여 반사율 특성을 조사하였다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.4 no.3
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• pp.249-258
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• 1991

He-Ne레이저(.lambda.=0.6328[.mu.m])를 광원으로 사용하는 y-cut LiNbO$_{3}$기판의 광 도파로 형성 과정을 빔 전송방식 메카니즘을 이용하여 광 도파로에서 광파의 전계 변화 및 전계 분포에 대하여 시뮬레이션 하였다. 그리고 Xl(55[.mu.m])* Zl(5000[.mu.m])인 LiNbO$_{3}$기판의 광 도파로 폭을 4[.mu.m], 버퍼층을 0.02[.mu.m]로 하였을때 도파로 층의 깊이가 0.2[.mu.m]인 지점에서 인가전압에 대한 x방향의 전계(E$_{x}$)와 y방향의 전계(E$_{y}$ )분포를 관찰하였다. 또한 단일 도파로의 파라미터 조건을 적용하여 X-스위치를 구성하였을때 전계를 인가하지 않은 상태에서 굴절율 변화(dn) 0.002, 도파로 폭(w) 3[.mu.m]로 하여 도파로의 교차각(.alpha.)을 0.4.deg.~0.6.deg.로 변화시킨 경우, .alpha.=0.5.deg.와 0.6.deg.일 때는 광빔이 bar측으로 출력되었고 .alpha.=0.4에서는 광빔이 cross측으로 출력 됨을 확인하였다. 따라서 위에서 확인된 도파로의 교차각 .alpha.=0.4.deg.인 경우, 전극간격(gap)이 2[.mu.m]인 조건에서 스위칭 전압을 인가하였을 때 25[V]에서 전기광학 효과에 의하여 광빔이 cross측에서 bar측으로 변조됨을 확인함으로써 X-스위치 광변조기의 기본적인 설계조건을 구현하였다.

• Journal of Welding and Joining
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• v.23 no.2
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• pp.81-89
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• 2005

A numerical model for multiple reflection effects of a polarized beam on laser grooving has been developed. The surface of the treated material is assumed to reflect laser irradiation in a fully specular fashion. Combining electromagnetic wave theory with Fresnel's relation, the reflective behavior of a groove surface can be obtained as well as the change of the polarization status in the reflected wave field. The material surface is divided into a number of rectangular patches using a bicubic surface representation method. The net radiative flux far these patch elements is obtained by standard ray tracing methods. The changing state of polarization of the electric field after reflection was included in the ray tracing method. The resulting radiative flux is combined with a set of three-dimensional conduction equations governing conduction losses into the medium, and the resulting groove shape and depth are found through iterative procedures. It is observed that reflections of a polarized beam play an important role not only in increasing the material removal rate but also in forming different final groove shapes. Comparison with available experimental results for silicon nitride shows good agreement for the qualitative trends of the dependence of groove shapes on the electric field vector orientation.

• Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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• 1995.03a
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• pp.1-8
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• 1995

This paper proposed a simple method for measuring surface roughness of ground surface. utilizing non-contact in-process measuring system using the diode laser. The measurement system is consisted of a laser unit with a diode laser and a cylindrical lens a detecting unit with polygon mirror and CCD array sensor. and a signal processing unit with a computer and device. During operation, this measuring system can provide information on surface roughness in the measuring distance with a single sampling and simultanilusly monitor the state of the grind wheel. The experimental results, showed that the increase of the feed rate and the dressing speed an caused increase in the surface roughness and when the surface roughness is 4Rmax-10Rmax, the cutting speed is 1653m/min-1665m/min. the feed rate is 0.2m/min-0.9m/min, the dressing speed is 0.2mm/rev-0.4mm/rev, the stylus method and the in-process method can be obtained the same results. thus under limited working conditions. using the proposed system. the surface roughness of the ground surface during cylindrical grinding can be obtained through the in-process measurement method using the diode laser.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.8 no.2
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• pp.229-236
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• 1995

Multimedia has created a system environment that needs a combination of diverse peripherals, faster I/O, and easier configuration. The sheer volume of data one can expect with multimedia hardware and applications storage systems of higher capacity and faster data transfer rate. Unlike the magneto-optical(MO)disk technology which uses bias magnetic field in writing, both the reading and the writing in the phase change (PC) technology are performed only by laser light. In PC optical media, an active layer is reversibly converted between amorphous state and crystalline state by changing irradiation conditions of focused laser beam. Thus, as compared with MO disk, the PC disk has such great advantages that signals can be reproduced by change of reflectance of laser beams in the same manner as the compact disc. The reflectivity of a phase-change spot can be altered in a single pass under the head only through modulation of laser power. The principles and the current status of phase-change optical recording media combined with possible applications are discussed in the present article.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.4 no.4
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• pp.464-473
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• 1993

The dynamics of phase grating formation with visible light in an optical fiber is investigated. Adopting a simple two-photon local bleaching model, it is shown that the grating self-organize into an ideal grating, where the writing frequency is always in the center of the local band gap, as it evolves. The evolution at each point in the fiber is described in terms of a universal parameter that reduces the coupled partial differential equations describing the system to ordinary differential equatior~s. These equations are used to prove that there exists a fixed point of the grating growth process that corresponds to a perfectly phase-mached grating.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.11 no.9
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• pp.792-796
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• 2001

For electron beam lithography and SEM(scanning electron microscopy) applications, miniaturized electrostatic lenses called a microcolumn have been fabricated. In this paper, we report the fabrication technique for 20~30$\mu\textrm{m}$ apertures of electron lenses based on silicon and Mo membrane using an active Q-switched Nd:YAG laser. Experimental conditions of laser micromachining for silicon and Mo membrane are improved. The geometrical structures, such as the diameter and the preciseness of the micron-size aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.20 no.6
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• pp.328-333
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• 2009

We proposed a three-dimensional holographic display technique without twin image noise by converting a complex hologram to an off-axis hologram. To implement the proposed technique we record the complex hologram of a three dimensional object that is composed of two slides located with different depth locations. We added spatial carrier to the complex hologram and after that, extract the real part of the spatial-carrier-added hologram. This converts the complex hologram to an off-axis hologram. We also reconstruct the off-axis hologram using a spatial light modulator for three dimensional display.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.8 no.10
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• pp.950-955
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• 1998

Ar 이온 식각법을 이용하여 (001) SrTiO3(STO) 단결정 기판 위에 200nm 높이의 계단형 모서리를 제작하였다. 계단식은 입사하는 Ar 이온 빔에 대한 Ar 이온 입사각과 마스크 회전각을 조절함으로써 38$^{\circ}$-70$^{\circ}$의 넓은 범위로 제어할 수 있었다. 초전도 YBa2Cu3O7-$\delta$박막은 계단이 있는 STO 기판 위에 펄스레이저 증착법을 이용하여 증착하였으며, 박막의 두께는 계단 높이에 대한 박막의 두께비가 0.5-1.2가 되도록 하였다. 계단형 모서리 조셉슨 접합의 임계전류밀도와 IcRn값은 77K에서 각각 104A/$\textrm{cm}^2$, 70-200$\mu$V이었다.